技术特征：
技术总结
本发明提供了一种溅射机环件，涉及半导体芯片加工技术领域，本发明提供的溅射机环件包括环件本体，环件本体具有形成环件端口的第一端部和第二端部，其中：第一端部上设有第一导电凸起，第一导电凸起上与第一端部连接的一端为第一内端，第一导电凸起末端的周向尺寸小于第一内端的周向尺寸；第二端部上设有第二导电凸起，第二导电凸起上与第二端部连接的一端为第二内端，第二导电凸起末端的周向尺寸小于第二内端的周向尺寸。本发明提供的溅射机环件增加了第一导电凸起和第二导电凸起末端与机台之间的距离，能够有效减小第一导电凸起和第二导电凸起接触到机台的概率。
技术研发人员：姚力军;潘杰;王学泽;马松
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2018.06.01
技术公布日：2018.08.14