本发明涉及半导体芯片加工技术领域，尤其是涉及一种溅射机环件。
背景技术：
在半导体芯片的生产过程中，靶材溅射中无论是8寸生产线，12寸生产线都会用到环件，环件在其中也参与溅射。环件在溅射机台上安装后，通过电流通电作用，使周围产生磁场，让溅射靶材上面的原子通过磁场能够均匀的附着在单晶硅载体上，环件安装在机台上，开口位置通电时，其他区域与机台不能有接触，不能有导电。
而现有的环件在溅射机台上工作时，由于高温高压，环件端口容易变形(热胀冷缩)，导致环件触碰到机台腔体上出现漏电。
技术实现要素：
本发明的目的在于提供一种溅射机环件，能够有效减小第一导电凸起和第二导电凸起接触到机台的概率。
为实现上述目的，本发明提供以下技术方案：
本发明提供一种溅射机环件，包括环件本体，所述环件本体具有形成环件端口的第一端部和第二端部，其中：
所述第一端部上设有第一导电凸起，所述第一导电凸起上与所述第一端部连接的一端为第一内端，所述第一导电凸起末端的周向尺寸小于所述第一内端的周向尺寸；
所述第二端部上设有第二导电凸起，所述第二导电凸起上与所述第二端部连接的一端为第二内端，所述第二导电凸起末端的周向尺寸小于所述第二内端的周向尺寸。
进一步地，所述第一导电凸起的纵截面呈凸字形结构；
所述第二导电凸起的纵截面呈凸字形结构。
进一步地，所述第一导电凸起的轴线沿着所述环件本体的径向延伸；
所述第二导电凸起的轴线沿着所述环件本体的径向延伸。
进一步地，所述环件本体上还设有多个第三导电凸起，所述第三导电凸起呈圆柱状。
进一步地，任意相邻的两个所述第三导电凸起之间的间隔距离相同。
进一步地，所述第三导电凸起为五个。
进一步地，还包括第一距离传感器和第一微处理器，其中：
所述第一距离传感器设于所述第一端部上，用于采集所述第一导电凸起与机台之间的第一距离信息，所述第一距离传感器与所述第一微处理器连接，用于将所述第一距离信息发送至所述第一微处理器；
所述第一微处理器用于与电源连接，还用于接收所述第一距离信息并控制所述电源是否为所述第一导电凸起和所述第一导电凸起提供电力。
进一步地，还包括与所述第一微处理器连接的第一报警器。
进一步地，还包括第二距离传感器和第二微处理器，其中：
所述第二距离传感器设于所述第二端部上，用于采集所述第二导电凸起与机台之间的第二距离信息，所述第二距离传感器与所述第二微处理器连接，用于将所述第二距离信息发送至所述第二微处理器；
所述第二微处理器用于与电源连接，还用于接收所述第二距离信息并控制所述电源是否为所述第一导电凸起和所述第二导电凸起提供电力。
进一步地，还包括与所述第二微处理器连接的第二报警器。
本发明提供的溅射机环件能产生如下有益效果：
在上述溅射机环件工作时，将溅射机环件安装至溅射机上，随后对通过第一导电凸起和第二导电凸起对溅射机环件进行通电，使得溅射机环件的周围产生磁场。在此过程中溅射机环件会受热变形，其上第一端部和第二端部之间的距离会变大，由于第一导电凸起末端的周向尺寸小于第一内端的周向尺寸、第二导电凸起末端的周向尺寸小于第二内端的周向尺寸，第一导电凸起和第二导电凸起的末端尺寸减小，减小了溅射机环件变形后第一导电凸起和第二导电凸起接触到机台的概率。
相对于现有技术来说，本发明提供的溅射机环件中第一导电凸起和第二导电凸起的末端尺寸变小，增加了第一导电凸起和第二导电凸起末端与机台之间的距离，使得溅射机环件变形后，第一导电凸起和第二导电凸起仍然会与机台之间具有一定的距离，有效减小第一导电凸起和第二导电凸起接触到机台的概率，并且环件在二次装夹前所产生的变形也不用刻意去校正，提高了装夹效率，安全性更高。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的溅射机环件的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的溅射机环件的工作原理框图。
图标：1－环件本体；11－第一端部；111－第一导电凸起；12－第二端部；121－第二导电凸起；13－第三导电凸起；2－第一距离传感器；3－第一微处理器；4－电源；5－第一报警器；6－第二距离传感器；7－第二微处理器；8－第二报警器。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
图1为本发明实施例提供的溅射机环件的结构示意图；图2为本发明实施例提供的溅射机环件的工作原理框图。
本实施例的目的在于提供一种溅射机环件，如图1所示，包括环件本体1，环件本体1具有形成环件端口的第一端部11和第二端部12，其中：
第一端部11上设有第一导电凸起111，第一导电凸起111上与第一端部11连接的一端为第一内端，第一导电凸起111末端的周向尺寸小于第一内端的周向尺寸；
第二端部12上设有第二导电凸起121，第二导电凸起121上与第二端部12连接的一端为第二内端，第二导电凸起121末端的周向尺寸小于第二内端的周向尺寸。
在上述溅射机环件工作时，将溅射机环件安装至溅射机上，随后对通过第一导电凸起和第二导电凸起对溅射机环件进行通电，使得溅射机环件的周围产生磁场。在此过程中溅射机环件会受热变形，其上第一端部和第二端部之间的距离会变大，由于第一导电凸起末端的周向尺寸小于第一内端的周向尺寸、第二导电凸起末端的周向尺寸小于第二内端的周向尺寸，第一导电凸起和第二导电凸起的末端尺寸减小，减小了溅射机环件变形后第一导电凸起和第二导电凸起接触到机台的概率。
相对于现有技术来说，本实施例提供的溅射机环件中第一导电凸起和第二导电凸起的末端尺寸变小，增加了第一导电凸起和第二导电凸起末端与机台之间的距离，使得溅射机环件变形后，第一导电凸起和第二导电凸起仍然会与机台之间具有一定的距离，有效减小第一导电凸起和第二导电凸起接触到机台的概率，并且环件在二次装夹前所产生的变形也不用刻意去校正，提高了装夹效率，安全性更高。
需要说明的是，第一导电凸起111和第二导电凸起121的具体结构可以为多种形式。例如：第一导电凸起111和第二导电凸起121的纵截面可以呈半椭圆形结构、第一导电凸起111和第二导电凸起121的纵截面可以呈凸字形结构、第一导电凸起111和第二导电凸起121的纵截面可以呈圆台形，等等。
在至少一个实施例中，如图1所示，为了方便第一导电凸起111和第二导电凸起121的加工，第一导电凸起111的纵截面呈凸字形结构，第二导电凸起121的纵截面也呈凸字形结构。在加工上述第一导电凸起111和第二导电凸起121前，第一导电凸起111和第二导电凸起121均呈圆柱形，加工时，可以通过车削去除第一导电凸起111和第二导电凸起121端部的材料，加工过程简单、方便。
在上述实施例的基础上，为了方便第一导电凸起111与第一端部11的连接、第二导电凸起121与第二端部12的连接，第一导电凸起111可以焊接于第一端部11上，第二导电凸起121可以焊接于第二端部12上。
具体地，为了使得上述溅射机环件通电后所产生的磁场更有序，环件本体1呈圆环形。
在一些实施例中，如图1所示，第一导电凸起111的轴线沿着环件本体1的径向延伸；第二导电凸起121的轴线沿着环件本体1的径向延伸。使得上述溅射机环件更加美观。
在一些实施例中，如图1所示，为了方便将环件本体1安装于机台上，环件本体1上还设有多个第三导电凸起13，第三导电凸起13呈圆柱状。机台上设有与多个第三导电凸起13一一对应配合的多个通孔，通孔上设有用于第三导电凸起13穿过的绝缘环。当需要将环件本体1安装于机台上时，每一个第三导电凸起13穿过一个通孔上的绝缘环，多个绝缘环对多个第三导电凸起13起到限位的作用，实现环件本体1与机台的装配。
在上述实施例的基础上，在至少一个实施例中，绝缘环的材料可以为陶瓷。在一些其他的实施例中，绝缘环的材料可以为橡胶。
在上述实施例的基础上，如图1所示，第三导电凸起13的轴线也沿着环件本体1的径向延伸，即多个第三导电凸起13围绕环件本体1的轴心呈散射状分布。
在一些实施例中，如图1所示，为了使得环件本体1装配至机台上后更加的稳定，任意相邻的两个第三导电凸起13之间的间隔距离相同，有效的保证了环件本体1的稳定性，且使得上述环件本体1更加的美观。
具体地，第三导电凸起13的个数可以为三个、四个、五个、六个，等等。
在至少一个实施例中，如图1所示，为了进一步使得环件本体1装配至机台上后更加的稳定，且避免环件本体1的加工过于复杂，第三导电凸起13为五个。
在一些实施例中，如图1和图2所示，为了使得上述溅射机环件使用时更加的安全，上述溅射机环件还包括第一距离传感器2和第一微处理器3，其中：第一距离传感器2设于第一端部11上，用于采集第一导电凸起111与机台之间的第一距离信息，第一距离传感器2与第一微处理器3连接，用于将第一距离信息发送至第一微处理器3；第一微处理器3用于与电源4连接，还用于接收第一距离信息并控制电源4是否为第一导电凸起111和第二导线凸起提供电力。第一距离传感器2可以与第一微处理器3电连接，第一微处理器3可以与电源4信号连接。
当第一导电凸起111与机台之间的距离过近时，即第一导电凸起111将要接触机台时，第一微处理器3控制电源4不为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力，避免出现漏电事故；当第一导电凸起111与机台之间的距离正常或较远时，即第一导电凸起111不具有接触机台的趋势时，第一微处理器3控制电源4正常为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力，保证环件本体1的正常工作。第一距离传感器2及第一微处理器3的设置能够根据第一导电凸起111与机台之间的距离来控制电源4是否为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力，有效的避免漏电事故，使得上述溅射机环件使用时更加的安全。
具体地，第一微处理器3包括预设的第一阈值，当第一微处理器3接收到第一距离信息后，第一微处理器3将该第一距离信息的数值与预设的第一阈值进行比较。当第一距离信息的数值大于第一阈值时，第一微处理器3控制电源4正常为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力；当第一距离信息的数值小于等于第一阈值时，第一微处理器3控制电源4不为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力。使得第一微处理器3能够通过第一距离信息及时的进行反馈控制。
在一些实施例中，还包括与第一微处理器3连接的第一报警器5。第一报警器5与第一微处理器3信号连接。当第一距离信息的数值小于等于第一阈值时，第一报警器5进行报警。
在一些实施例中，如图1和图2所示，为了使得上述溅射机环件使用时更加的安全，上述溅射机环件还包括第二距离传感器6和第二微处理器7，其中：第二距离传感器6设于第二端部12上，用于采集第二导电凸起121与机台之间的第二距离信息，第二距离传感器6与第二微处理器7连接，用于将第二距离信息发送至第二微处理器7；第二微处理器7用于与电源4连接，还用于接收第二距离信息并控制电源4是否为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力。第二距离传感器6可以与第二微处理器7电连接，第二微处理器7可以与电源4信号连接。
当第二导电凸起121与机台之间的距离过近时，即第二导电凸起121将要接触机台时，第二微处理器7控制电源4不为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力，避免出现漏电事故；第二导电凸起121与机台之间的距离正常或较远时，即第二导电凸起121不具有接触机台的趋势时，第二微处理器7控制电源4正常为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力，保证环件本体1的正常工作。第二距离传感器6及第二微处理器7的设置能够根据第二导电凸起121与机台之间的距离来控制电源4是否为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力，有效的避免漏电事故，使得上述溅射机环件使用时更加的安全。
具体地，第二微处理器7包括预设的第二阈值，当第二微处理器7接收到第一距离信息后，第二微处理器7将该第二距离信息的数值与预设的第二阈值进行比较。当第二距离信息的数值大于第二阈值时，第二微处理器7控制电源4正常为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力；当第二距离信息的数值小于等于第一阈值时，第二微处理器7控制电源4不为第一导电凸起111和第二导电凸起121提供电力。使得第二微处理器7能够通过第二距离信息及时的进行反馈控制。
在一些实施例中，还包括与第二微处理器7连接的第二报警器8。第二报警器8与第二微处理器7信号连接。当第二距离信息的数值小于等于第二阈值时，第二报警器8进行报警。
在至少一个实施例中，上述溅射机环件同时包括第一距离传感器2、第一微处理器3、第一报警器5、第二距离传感器6、第二微处理器7和第二报警器8。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。