一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置的制作方法

文档序号:15754259发布日期:2018-10-26 18:28阅读:132来源:国知局

本发明涉及单晶硅片加工设备的技术领域,尤其涉及一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置。



背景技术:

近年来,中国单晶硅产量明显稳步增长,增长的原因是一方面来自国际上对低档和廉价硅材料需求的增加。另一方面是近年来中国装备制造发展迅速,各类信息家电和通信产品需求旺盛,因此半导体器件和硅材料的市场需求量都很大。单晶硅片用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。现有的单晶硅片打磨装置打磨效率低,打磨质量差,且打磨过程中很容易造成对单晶硅片损坏,无法满足实际生产过程的需求。



技术实现要素:

为解决背景技术中存在的技术问题,本发明提出一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置,能够有效提高单晶硅片的打磨和切割效率,有效提高了单晶硅片的质量。

本发明提出的一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置,包括底座,所述底座上端安装有第一活塞,所述第一活塞远离底座的一侧安装有第一活塞轴,所述第一活塞轴远离第一活塞的一端安装有第二活塞,所述第二活塞远离第一活塞轴的一侧安装有第一安装板,所述第一活塞的一侧安装有第二电机,所述第一安装板上端安装有第一电机,所述第一安装板上设有第一滑槽,所述第一滑槽内设有可滑道的第四活塞,所述第四活塞远离第一滑槽的一侧安装有第四活塞轴,所述第四活塞轴远离第四活塞的一侧安装有第五活塞,所述第五活塞远离第四活塞轴的一侧安装有第五活塞轴,所述第五活塞轴远离第五活塞的一侧安装有第一限位板,所述第一限位板远离第五活塞轴的一侧安装有打磨轮安装座,所述打磨轮安装座上通过转轴安装有打磨轮,所述第二安装板的下端安装有第六活塞,所述第六活塞远离第二安装板的一侧安装有第六活塞轴,所述第六活塞轴远离第二安装板的一侧安装有第二限位板,所述第二限位板远离第六活塞轴的一侧通过打磨球安装座安装有打磨球。

进一步的,所述第一活塞和第二活塞之间且在第一活塞轴的外周套接有第一弹簧。

进一步的,所述第三活塞和限位机构之间且在第三活塞轴的外周套接有第二弹簧。

进一步的,所述第五活塞和第一限位板之间且在第五活塞轴的外周套接有第三弹簧。

进一步的,所述第六活塞和第二限位板之间且在第六活塞轴的外周套接有第四弹簧。

进一步的,所述限位机构包括第三安装板、第二滑槽、滑轮、第四安装板、第七活塞、第七活塞轴、限位板安装座、限位板和第四电机,所述第三安装板安装在第三活塞轴上,所述第二滑槽设于第三安装板内,所述滑轮设于第二滑槽内,所述第四安装板安装在滑轮上,所述第七活塞安装在第四安装板上,所述第七活塞轴安装在第七活塞远离第四安装板的一侧,所述限位板安装座安装在第七活塞轴远离第七活塞的一侧,所述限位板安装在限位板安装座上。

进一步的,所述第七活塞和限位板安装座之间且在第七活塞轴的外周套接有第五弹簧。

与现有技术相比,本发明的技术方案具有以下有益效果:

1、由第三电机驱动第二活塞轴在第二活塞上伸缩运动,实现了限位机构在水平方向的调节,并由限位机构实现对单晶硅片的限位,以调节单晶硅片在水平方向的适宜位置,即位于打磨轮的正下方,然后通过第一电机驱动第四活塞在第一滑槽上滑动,以调节打磨轮在水平方向位置,实现打磨轮的正下方对准限位机构,然后通过第二电机驱动第一活塞轴在第一活塞上伸缩运动,实现了第一安装板在竖直方向运动,以实现打磨轮和打磨球能够实现对单晶硅片进行打磨,且打磨轮实现了对单晶硅片的周向进行打磨,而打磨球实现了单晶硅片周向与横截面向相交的外沿进行了打磨,有效提高了单晶硅片的打磨效率和质量,且打磨的过程保证了单晶硅片不受损伤。

2、通过在第一活塞和第二活塞之间且在第一活塞轴的外周套接第一弹簧,实现了在进行打磨的过程中,在打磨球和打磨轮接触到单晶硅片时,能够有效缓冲打磨时的撞击力,提高打磨的稳定性,进一步提高了打磨的效率和质量。

3、通过在第三活塞和限位机构之间且在第三活塞轴的外周套接第二弹簧,在限位机构对单晶硅片进行限位固定时,能够通过第二弹簧提高限位机构对单晶硅片限位的稳定性,进一步提高了打磨的效率和质量。

4、通过在第五活塞和第一限位板之间且在第五活塞轴的外周套接第三弹簧,实现了打磨球和打磨轮对单晶硅片进行打磨时,能够有效缓冲打磨时的撞击力,有效提高了打磨的效率和质量。

5、通过在第六活塞和第二限位板之间且在第六活塞轴的外周套接第四弹簧,实现了打磨球在对单晶硅片的上沿进行打磨时,打磨过程的挤压力,能够被第四弹簧进行吸收,有效提高了打磨的效率和质量。

6、通过第四电机驱动滑轮在第二滑槽上滑动,并驱动第四安装板在水平方向上移动,实现限位板挤压单晶硅片,并通过第七活塞轴和第七活塞实现在限位板接触单晶硅片进行限位挤压时,能够有效缓冲挤压力,在对单晶硅片进行限位固定时,有效保护了单晶硅片不受损害。

7、通过在第七活塞和限位板安装座之间且在第七活塞轴的外周套接第五弹簧,通过第五弹簧实现在限位板接触到单晶硅片时,能够有效缓冲限位板对单晶硅片的撞击力,有效保护了单晶硅片,避免单晶硅片受损。

附图说明

图1为本发明实施例一提出的一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置的主视结构示意图;

图2为图1中a处的局部放大示意图;

图3为图1中b处的局部放大示意图;

图4为本发明实施例一提出的一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置中限位机构的俯视图。

图中所标各部件名称如下:

1-底座,2-滚轮支架,3-滚轮,4-第一活塞,5-第一弹簧,6-第一活塞轴,7-第二活塞,8-第一安装板,9-第一电机,10-第二电机,11-第三电机,12-第二活塞,13-第二活塞轴,14-第三活塞,15-第三活塞轴,16-第二弹簧,

17-限位机构,1701-第三安装板,1702-第二滑槽,1703-滑轮,1704-第四安装板,1705-第七活塞,1706-第七活塞轴,1707-第五弹簧,1708-限位板安装座,1709-限位板,

18-第一滑槽,19-第四活塞,20-第四活塞轴,21-第五活塞,22-第五活塞轴,23-第三弹簧,24-第一限位板,25-第二安装板,26-第六活塞,27-第四弹簧,28-打磨球,29-第六活塞轴,30-第二限位板,31-打磨球安装座,32-打磨轮安装座,33-打磨轮,33-转轴。

具体实施方式

以下结合附图及具体实施例,对本发明作进一步的详细说明。

实施例一

如图1-4所示,本发明提供一种太阳能电池晶体硅的高效打磨装置,包括底座1,底座上端安装有第一活塞4,第一活塞4远离底座1的一侧安装有第一活塞轴6,第一活塞轴6远离第一活塞4的一端安装有第二活塞7,第二活塞7远离第一活塞轴6的一侧安装有第一安装板8,第一活塞4的一侧安装有第二电机10,第一安装板8上端安装有第一电机9,第一安装板8上设有第一滑槽18,第一滑槽18内设有可滑道的第四活塞19,第四活塞19远离第一滑槽18的一侧安装有第四活塞轴20,第四活塞轴20远离第四活塞19的一侧安装有第五活塞21,第五活塞21远离第四活塞轴20的一侧安装有第五活塞轴22,第五活塞轴22远离第五活塞21的一侧安装有第一限位板24,第一限位板24远离第五活塞轴22的一侧安装有打磨轮安装座32,打磨轮安装座32上通过转轴33安装有打磨轮34,第二安装板25的下端安装有第六活塞26,第六活塞26远离第二安装板25的一侧安装有第六活塞轴29,第六活塞轴29远离第二安装板25的一侧安装有第二限位板30,第二限位板30远离第六活塞轴29的一侧通过打磨球安装座31安装有打磨球28。由第三电机11驱动第二活塞轴13在第二活塞12上伸缩运动,实现了限位机构17在水平方向的调节,并由限位机构17实现对单晶硅片的限位,以调节单晶硅片在水平方向的适宜位置,即位于打磨轮34的正下方,然后通过第一电机9驱动第四活塞19在第一滑槽18上滑动,以调节打磨轮34在水平方向位置,实现打磨轮34的正下方对准限位机构17,然后通过第二电机10驱动第一活塞轴6在第一活塞4上伸缩运动,实现了第一安装板8在竖直方向运动,以实现打磨轮34和打磨球28能够实现对单晶硅片进行打磨,且打磨轮34实现了对单晶硅片的周向进行打磨,而打磨球28实现了单晶硅片周向与横截面向相交的外沿进行了打磨,有效提高了单晶硅片的打磨效率和质量,且打磨的过程保证了单晶硅片不受损伤。

本本实施例中,第一活塞4和第二活塞7之间且在第一活塞轴6的外周套接有第一弹簧5。通过在第一活塞4和第二活塞7之间且在第一活塞轴6的外周套接第一弹簧5,实现了在进行打磨的过程中,在打磨球28和打磨轮34接触到单晶硅片时,能够有效缓冲打磨时的撞击力,提高打磨的稳定性,进一步提高了打磨的效率和质量。

本本实施例中,第三活塞14和限位机构17之间且在第三活塞轴15的外周套接有第二弹簧16。通过在第三活塞14和限位机构17之间且在第三活塞轴15的外周套接第二弹簧16,在限位机构17对单晶硅片进行限位固定时,能够通过第二弹簧16提高限位机构17对单晶硅片限位的稳定性,进一步提高了打磨的效率和质量。

本本实施例中,第五活塞21和第一限位板24之间且在第五活塞轴22的外周套接有第三弹簧23。通过在第五活塞21和第一限位板24之间且在第五活塞轴22的外周套接第三弹簧23,实现了打磨球28和打磨轮34对单晶硅片进行打磨时,能够有效缓冲打磨时的撞击力,有效提高了打磨的效率和质量。

本本实施例中,第六活塞26和第二限位板30之间且在第六活塞轴29的外周套接有第四弹簧27。通过在第六活塞26和第二限位板30之间且在第六活塞轴29的外周套接第四弹簧27,实现了打磨球28在对单晶硅片的上沿进行打磨时,打磨过程的挤压力,能够被第四弹簧27进行吸收,有效提高了打磨的效率和质量。

本本实施例中,限位机构17包括第三安装板1701、第二滑槽1702、滑轮1703、第四安装板1704、第七活塞1705、第七活塞轴1706、限位板安装座1708、限位板1709和第四电机1710,第三安装板1701安装在第三活塞轴15上,所述第二滑槽1702设于第三安装板1701内,滑轮1703设于第二滑槽1702内,所述第四安装板1704安装在滑轮1703上,第七活塞1705安装在第四安装板1704上,第七活塞轴1706安装在第七活塞1705远离第四安装板1704的一侧,限位板安装座1708安装在第七活塞轴1706远离第七活塞1705的一侧,限位板1709安装在限位板安装座1708上。通过第四电机1710驱动滑轮1703在第二滑槽1702上滑动,并驱动第四安装板1704在水平方向上移动,实现限位板1709挤压单晶硅片,并通过第七活塞轴1706和第七活塞1705实现在限位板1709接触单晶硅片进行限位挤压时,能够有效缓冲挤压力,在对单晶硅片进行限位固定时,有效保护了单晶硅片不受损害。

本本实施例中,第七活塞1705和限位板安装座1708之间且在第七活塞轴1706的外周套接有第五弹簧1707。通过在第七活塞1705和限位板安装座1708之间且在第七活塞轴1706的外周套接第五弹簧1707,通过第五弹簧1707实现在限位板1709接触到单晶硅片时,能够有效缓冲限位板1709对单晶硅片的撞击力,有效保护了单晶硅片,避免单晶硅片受损。

在本发明中,术语“多个”则指两个或两个以上,除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解,例如,“连接”可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;“相连”可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中,术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且,描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

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