掩膜板、显示器件、显示面板及显示终端的制作方法

本实用新型涉及显示器件制备技术领域，特别是涉及掩膜板、显示器件、显示面板及显示终端。

背景技术：

目前OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)采用真空蒸镀技术制备有机发光层。在器件制备过程中，有机材料通过高温蒸镀淀积在位于蒸发源上方的基板上，为使有机材料按照设计蒸镀到特定的位置上，需要使用高精度金属掩膜板，掩膜板(即高精度金属掩膜板)上留有预先设计好的有效开口区域，通过该有效开口区域，有机材料沉积到背板上面，形成预设图形。其中，有效开口区域内分布有多个蒸镀开口，以允许蒸镀材料通过。

在实际生产中，发明人发现，采用现有技术中的掩膜板，蒸镀的有机材料与背板上设计的像素位置出现偏差，影响产品的性能。

技术实现要素：

基于此，本实用新型提供了一种掩膜板，解决了蒸镀的有机材料与背板上设计的像素位置出现偏差的问题，提高了产品性能。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种掩膜板。

一种掩膜板，包括蒸镀面和背向所述蒸镀面的玻璃面，所述掩膜板上阵列分布有多个蒸镀开口，所述蒸镀开口贯穿所述蒸镀面和所述玻璃面，且所述蒸镀开口包括在所述蒸镀面上的第一开口和在所述玻璃面上的第二开口，所述第一开口在所述玻璃面上的正投影为第一投影开口，所述第一投影开口覆盖所述第二开口；

其中，在拉伸掩膜板的第一方向上所述第一投影开口与第二开口之间的间距为第一间距，在与所述第一方向垂直的第二方向上所述第一投影开口与所述第二开口之间的间距为第二间距，所述第二间距小于所述第一间距。

上述掩膜板中，蒸镀开口用于蒸镀材料，并且蒸镀开口在蒸镀面和玻璃面上分别包括第一开口和第二开口，第一开口在玻璃面上的第一投影开口覆盖第二开口，即第一开口大于第二开口。并且，第二间距小于第一间距，也就是第一开口和第二开口在第二方向上的间距，小于第一开口和第二开口在第一方向上的间距，所以第一开口在第二方向上的开口范围小于其自身在第一方向上的开口范围，如此掩膜板在第二方向上相邻两个第一开口之间的间距宽于在第一方向上相邻两个第一开口之间的间距，拉力沿第一方向传递的传输通道变宽，使掩膜板上承受拉力的受力面积变大，拉力的传输更加顺畅，掩膜板不容易在拉力作用下产生褶皱，防止像素开口与背板上设计的像素位置异位，避免蒸镀的有机材料混色，提高产品性能。

在其中一个实施例中，所述蒸镀开口包括第一刻蚀孔和第二刻蚀孔，所述第一刻蚀孔具有所述第一开口，所述第二刻蚀孔具有所述第二开口；所述第一刻蚀孔在所述第一开口指向所述第二开口的方向上逐渐收拢，所述第二刻蚀孔在所述第二开口指向所述第一开口的方向上逐渐收拢至与所述第一刻蚀孔连通。

在其中一个实施例中，沿平行所述蒸镀面的平面，所述第一刻蚀孔和所述第二刻蚀孔的横截面均为矩形。

在其中一个实施例中，所述第一开口包括两条第一边和两条第二边，两条所述第一边沿所述第一方向相对间隔设置，两条所述第二边沿所述第二方向相对间隔设置且连接于两条所述第一边之间；所述第二开口包括两条第三边和两条第四边，两条所述第三边沿所述第一方向相对间隔设置，两条所述第四边沿所述第二方向相对间隔设置且连接于两条所述第三边之间；所述第一边与所述第三边之间在所述第一方向上的垂直间距为所述第一间距，所述第二边与所述第四边之间在所述第二方向的垂直间距为所述第二间距。

在其中一个实施例中，所述蒸镀开口还包括连接于所述第一边与所述第三边之间的第一倾斜壁以及连接于所述第二边与所述第四边之间的第二倾斜壁，所述第一倾斜壁相对所述掩膜板厚度方向的倾斜角为第一倾斜角，所述第二倾斜壁相对所述掩膜板厚度方向的倾斜角为第二倾斜角，所述第一倾斜角大于所述第二倾斜角。

在其中一个实施例中，每个所述第二开口均包括与所述第一方向平行的中心线，多个所述第二开口分布为多排，其中奇数排的所述第二开口的所述中心线重合，偶数排的所述蒸镀开口的所述中心线重合，奇数排的所述蒸镀开口的所述中心线与偶数排的所述蒸镀开口的中心线，在所述第二方向上相互错开。

一种掩膜板，包括蒸镀面和背向所述蒸镀面的玻璃面，所述掩膜板上阵列分布有多个蒸镀开口，所述蒸镀开口贯穿所述蒸镀面和所述玻璃面，且所述蒸镀开口包括在所述蒸镀面上的第一开口和在所述玻璃面上的第二开口，所述第一开口在所述玻璃面上的正投影为第一投影开口，所述第一投影开口覆盖所述第二开口；

其中，在拉伸掩膜板的第一方向上所述第一投影开口与第二开口之间的间距为第一间距，在与所述第一方向垂直的第二方向上所述第一投影开口与所述第二开口之间的间距为第二间距；

并且，多个所述蒸镀开口分布为多排，其中偶数排的所述蒸镀开口的第二间距小于所述第一间距，奇数排的所述蒸镀开口的所述第二间距等于所述第一间距；或者偶数排的所述蒸镀开口的第二间距等于所述第一间距，奇数排的所述蒸镀开口的第二间距小于所述第一间距。

本实用新型还提供了一种显示器件，通过上述掩膜板蒸镀制成。

本实用新型还提供了一种显示面板，包括基板、上述显示器件及封装层，所述显示器件设于所述基板上，所述封装层封装于所述显示器件外。

本实用新型还提供了一种显示终端，包括上述显示面板。

附图说明

图1为本实用新型一实施例中掩膜板的结构示意图；

图2为图1所示掩膜板中蒸镀开口的示意图；

图3为图1所示掩膜板中第二开口的排布示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

正如背景技术所述，采用现有技术中的掩膜板，会出现蒸镀的有机材料与背板上设计的像素位置出现偏差的问题，发明人研究发现，出现这种问题的根本原因在于，掩膜板上开设有多个开口较大的蒸镀开口时，力的传输不够顺畅，掩膜板容易褶皱，从而导致掩膜板上的各个像素开口的伸展程度不同，出现掩膜板上的蒸镀开口与背板玻璃上设计的像素位置异位、在蒸镀工艺中使蒸镀的有机材料偏位的现象。

如图1-2所示，基于以上原因，本实用新型一实施例中公开了一种掩膜板100，包括蒸镀面10和背向蒸镀面10的玻璃面30，掩膜板100上阵列分布有多个蒸镀开口20，蒸镀开口20贯穿蒸镀面10和玻璃面30，且蒸镀开口20包括在蒸镀面10上的第一开口21和在玻璃面30上的第二开口23，第一开口21在玻璃面30上的正投影为第一投影开口(图未示)，第一投影开口覆盖第二开口23；其中，在拉伸掩膜板100的第一方向上第一投影开口与第二开口23之间的间距为第一间距X，在与第一方向垂直的第二方向上第一投影开口与第二开口23之间的间距为第二间距Y，第二间距Y小于第一间距X。

上述掩膜板100中，蒸镀开口20用于蒸镀材料，并且蒸镀开口20在蒸镀面10和玻璃面30上分别包括第一开口21和第二开口23，第一开口21在玻璃面30上的第一投影开口覆盖第二开口23，即第一开口21大于第二开口23。并且，第二间距Y小于第一间距X，也就是第一开口21和第二开口23在第二方向上的间距，小于第一开口21和第二开口23在第一方向上的间距，所以第一开口21在第二方向上的开口范围小于其自身在第一方向上的开口范围，如此掩膜板100在第二方向上相邻两个第一开口21之间的间距宽于在第一方向上相邻两个第一开口21之间的间距，拉力沿第一方向传递的传输通道变宽，使掩膜板100上承受拉力的受力面积变大，拉力的传输更加顺畅，掩膜板100不容易在拉力作用下产生褶皱，防止像素开口与背板上设计的像素位置异位，避免蒸镀的有机材料混色，提高产品性能。

在一个实施例中，蒸镀开口20包括第一刻蚀孔22和第二刻蚀孔24，第一刻蚀孔22具有第一开口21，第二刻蚀孔24具有第二开口23；第一刻蚀孔22在第一开口21指向第二开口23的方向上逐渐收拢，第二刻蚀孔24在第二开口23指向第一开口21的方向上逐渐收拢至与第一刻蚀孔22连通。在实际生产过程中，在掩膜板100的蒸镀面10上刻蚀第一刻蚀孔22，在掩膜板100相背蒸镀面10的玻璃面30上刻蚀第二刻蚀孔24，并且第一刻蚀孔22的第一开口21，以及第二刻蚀孔24的第二开口23均按照预定尺寸进行刻蚀，最终从相背的两个面分别刻蚀第一刻蚀孔22和第二刻蚀孔24相通后，便可得到蒸镀开口20。

具体地，在刻蚀过程中，可以进而两次刻蚀，第一次刻蚀时，先刻蚀体积较小的第二刻蚀孔24，以及刻蚀第一刻蚀孔22的一部分，然后在第二刻蚀孔24内铺设垫布，最后进而第二次刻蚀。第二次刻蚀时，继续刻蚀第一刻蚀孔22至与第二刻蚀孔24连通，并且通过垫布使第一刻蚀孔22和第二刻蚀孔24的连接处更加光滑。

在本具体实施例中，沿平行蒸镀面10的平面，第一刻蚀孔22和第二刻蚀孔24的横截面均为矩形。可以理解地，在其他一些实施例中，沿平行蒸镀面10的平面，第一刻蚀孔22和第二刻蚀孔24的横截面也可以为菱形等其他形状，在此不做限定。

在一个实施例中，第一开口21包括两条第一边212和两条第二边214，两条第一边212沿第一方向相对间隔设置，两条第二边214沿第二方向相对间隔设置且连接于两条第一边212之间；第二开口23包括两条第三边232和两条第四边234，两条第三边232沿第一方向相对间隔设置，两条第四边234沿第二方向相对间隔设置且连接于两条第三边232之间；第一边212与第三边232沿在第一方向上的垂直间距为第一间距X，第二边214与第四边234沿第二方向上的垂直间距为第二间距Y。即，将第一开口21和第二开口23设置为矩形，在拉伸掩膜条100的第一方向上计算第一边212和第三边232之间的垂直间距便可得到第一间距X，在第二方向上计算第二边214和第四边234之间的垂直间距便可得到第二间距Y。其中，第一边212和第三边232在第一方向上的垂直间距，即为第一边212在玻璃面30上的投影与第三边232之间的距离，第二边214和第四边234之间的垂直间距，即为第二边214在玻璃面30上到的投影与第四边234之间的距离。

在一个实施例中，蒸镀开口20包括连接于第一边212与第三边232之间的第一倾斜壁以及连接于第二边214与第四边234之间的第二倾斜壁，第一倾斜壁相对掩膜板100厚度方向的倾斜角为第一倾斜角A，第二倾斜壁相对掩膜板100厚度方向的倾斜角为第二倾斜角B，第一倾斜角A大于第二倾斜角B，即第一开口21在第一方向上的开口范围较大，第二方向上第一开口21的开口范围较小，相邻两个第一开口21在第二方向上的间距较大，加宽了拉力沿第一方向传输的通道，使拉力的传输更加顺畅。

具体地，掩膜板通100过电铸工艺制备，其中蒸镀开口20的形状与电铸模芯的外形匹配，所以通过电铸工制备上述掩膜板100的过程中，电铸模芯包括在第一方向上设置的间隔设置的两个第一侧壁和在第二方向上间隔设置的两个第二侧壁，使第一侧壁相对高度方向的倾斜角的值与第一倾斜角A相等，第二侧壁相对高度方向的倾斜角的值与第二倾斜角B相等，因为第一倾斜角A大于第二倾斜角B，所以第一侧壁相对高度方向的倾斜角大于第二侧壁相对高度方向的倾斜角，电铸后便可得到具有上述第一倾斜壁和第二倾斜壁的蒸镀开口20。

如图3所示，在一个实施例中，每个第二开口23包括与第一方向平行的中心线a，多个第二开口23分布为多排，其中奇数排的第二开口23的中心线a重合，偶数排的第二开口23的中心线a重合，奇数排的第二开口23的中心线a与偶数排的第二开口23的中心线a，在第二方向上相互错开。如此，使多排第二开口23相互交错设置，平衡掩膜板100在第二方向上各个区域的强度。

本实用新型还提供另外一种掩膜板100，该掩膜板100包括蒸镀面10和背向蒸镀面10的玻璃面30，掩膜板100上阵列分布有多个蒸镀开口20，蒸镀开口20贯穿蒸镀面10和玻璃面30，且蒸镀开口20包括在蒸镀面10上的第一开口21和在玻璃面30上的第二开口23，第一开口21在玻璃面30上的正投影为第一投影开口(图未示)，第一投影开口覆盖第二开口23；其中，在拉伸掩膜板100的第一方向上第一投影开口与第二开口23之间的间距为第一间距X，在与第一方向垂直的第二方向上第一投影开口与第二开口23之间的间距为第二间距Y。

并且，多个蒸镀开口20分布为多排，其中偶数排的蒸镀开口20的第二间距Y小于第一间距X，奇数排的蒸镀开口20的第二间距Y小于第一间距X；或者数排的蒸镀开口20的第二间距Y等于第一间距X，奇数排的蒸镀开口20的第二间距Y小于第一间距X。也就是在多排蒸镀开口20中，间隔改变第二间距Y的大小，例如改变奇数排蒸镀开口20的第二间距，或者改变偶数排蒸镀开口20的第二间距，使第二间距Y小于第一间距X，进而减小第二方向上第一开口21的开口范围，增加第二方向上相邻两个第一开口21之间的间距，加宽拉力沿第一方向传递的传输通道，掩膜板100上承受拉力的受力面积变大，拉力的传输更加顺畅。

本实用新型还提供一种显示器件，通过上述掩膜板100制成。

本实用新型还提供一种显示面板，包括基板、上述显示器件及封装层，显示器件设于基板上，封装层封装于显示器件外，通过封装层保护显示器件，防止显示器件被水氧腐蚀。

本实用新型还提供一种显示终端，包括上述显示面板。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。