一种多晶硅块研磨机磨头校正装置的制作方法

本实用新型涉及一种校正装置技术领域，具体为一种多晶硅块研磨机磨头校正装置。

背景技术：

研磨机经长时间使用后磨轮电机座会产生微量角度偏移，导致角度偏移，磨削效果不良；调整磨头角度时发现，磨头直径200MM，校正工装是156*156*250mm的标准块，可调整前后角度，上下角度因磨头直径大于工装宽度无法测得实际数据，多次试磨后才能最终达到预期效果。

目前，现有的多晶硅块研磨机磨头校正装置还存在着一些不足的地方，例如；现有的多晶硅块研磨机磨头校正装置调整磨头角度时使用千分表及塞尺来检测数据，操作繁琐费时费力，且需大量报废棒试磨，在无报废棒试磨时无法实施调整，如使用正常棒试磨则有磨削不良导致晶棒报废的风险。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅块研磨机磨头校正装置，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅块研磨机磨头校正装置，包括机体，所述机体上设有转轴箱、驱动电机、皮带、夹具、工作台面板、固定机构、标准块、工装、凹面、磨头和通孔，所述转轴箱固定连接在所述机体的上方，所述驱动电机固定连接在所述转轴箱的上方，所述皮带固定连接在所述驱动电机的外侧，所述夹具固定连接在所述转轴箱的内侧，所述工作台面板固定连接在所述机体的上表面，所述固定机构固定连接在所述标准块的上方，所述标准块固定连接在所述工作台面板的上方，所述工装固定连接在所述标准块的左右两侧，所述凹面位于所述工装和标准块之间的上下两侧，所述磨头固定连接在所述工装的外侧，所述通孔位于所述标准块的中间处。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述工装的尺寸大于所述磨头的尺寸，所述磨头的直径为200mm。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述凹面的与所述标准块之间的深度为0-50mm，所述凹面的宽度为0-80mm。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述工装的外表面和内表面之间尺寸必须相差0-1mm，所述工装的外表面和内表面之间尺寸均为0-500mm。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述工装的长度为0-600mm，所述工装的高度为0-500mm，所述工装的厚度为0-80mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型一种多晶硅块研磨机磨头校正装置，该校正装置能有效的直接检测调整磨头的上下角度，不使用千分表及塞尺等工具，能快速调整出标准的角度，减少调整时间，降低劳动强度，避免无报废棒时无法调整和使用正常棒磨削时的风险。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种多晶硅块研磨机磨头校正装置的主视图；

图2为本实用新型工装与磨头结合的示意图；

图3为本实用新型标准块与磨头的结合示意图；

图4为本实用新型标准块与工装的结合示意图。

图中：机体1、转轴箱2、驱动电机3、皮带4、夹具5、工作台面板6、固定机构7、标准块8、工装9、凹面10、磨头11、通孔12。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅块研磨机磨头校正装置，包括机体1，所述机体1上设有转轴箱2、驱动电机3、皮带4、夹具5、工作台面板6、固定机构7、标准块8、工装9、凹面10、磨头11和通孔12，所述转轴箱2固定连接在所述机体1的上方，所述驱动电机3固定连接在所述转轴箱2的上方，所述皮带4固定连接在所述驱动电机3的外侧，所述夹具5固定连接在所述转轴箱2的内侧，所述工作台面板6固定连接在所述机体1的上表面，所述固定机构7固定连接在所述标准块8的上方，所述标准块8固定连接在所述工作台面板6的上方，所述工装9固定连接在所述标准块8的左右两侧，所述凹面10位于所述工装9和标准块8之间的上下两侧，所述磨头11固定连接在所述工装9的外侧，所述通孔12位于所述标准块8的中间处。

请参阅图2，所述工装9的尺寸大于所述磨头11的尺寸，所述磨头11的直径为200mm，其作用在于能有效的增强了工装9与磨头11中间的牢固性。

请参阅图4，所述凹面10的与所述标准块8之间的深度为0-50mm，所述凹面10的宽度为0-80mm，其作用在于能有效的提高了标准块8固定时的稳定性。

请参阅图4，所述工装9的外表面和内表面之间尺寸必须相差0-1mm，所述工装9的外表面和内表面之间尺寸均为0-500mm，其作用在于能有效的提高了工装9使用时的精确度。

请参阅图4，所述工装9的长度为0-600mm，所述工装9的高度为0-500mm，所述工装9的厚度为0-80mm，其作用在于能有效的提高了工装9使用时的适合度。

在多晶硅块研磨机磨头校正装置使用的时候，首先将工装9和标准块8放置在研磨机的工作台面板6上，对中垂直于工作台并且夹紧，移至磨轮位置，调整磨头11角度螺丝使磨头11与工装9侧面上、下、左、右无缝隙贴合来校正标准角度。

本实用新型的机体1、转轴箱2、驱动电机3、皮带4、夹具5、工作台面板6、固定机构7、标准块8、工装9、凹面10、磨头11、通孔12等部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，该校正装置能有效的直接检测调整磨头11的上下角度，不使用千分表及塞尺等工具，能快速调整出标准的角度，减少调整时间，降低劳动强度，避免无报废棒时无法调整和使用正常棒磨削时的风险。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。