一种燃气退火炉的气体加热装置的制作方法

本实用新型涉及燃气退火炉技术领域，尤其是涉及一种燃气退火炉的气体加热装置。

背景技术：

退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到一定温度，保持足够时间，然后以适宜速度冷却。目的是降低硬度，改善切削加工性；消除残余应力，稳定尺寸，减少变形与裂纹倾向；细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷。准确的说，退火是一种对材料的热处理工艺，包括金属材料、非金属材料。而且新材料的退火目的也与传统金属退火存在异同。

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构。

传统退火炉的废气管道和保护气管道是两条独立的管道。退火炉产生的废气温度高达几百摄氏度，没有得到有效的利用。而相对低温的保护气氛注入炉中会造成炉内温度降低，为保持炉内的高温状态，会燃烧更多的燃气，导致燃气消耗增加。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种燃气退火炉的气体加热装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种燃气退火炉的气体加热装置，包括气室、加热层、加压口、氧气瓶和燃气瓶，所述加热层设置在所述气室外部，所述加热层右端上方设置有尾气管，所述尾气管与退火炉排气管连接在一起，所述加热层内部设置有往复管道，所述往复管道缠绕在所述气室外部，所述气室右端设置有风扇，所述气室左端设置有所述加压口，所述加压口内部设置有加热器，所述加压口左端设置有喷头，所述喷头下方设置有温度监测仪，所述加热器下方连接有气体管，所述气体管下端连接有所述氧气瓶和所述燃气瓶，所述气体管与所述氧气瓶和所述燃气瓶连接处分别设置有气体流量阀。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述加热器设置有两个，分别设置在所述加压口内部上下两侧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述气体流量阀与所述温度监测仪电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述加热层外侧壁里侧设置有保温镀层。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述温度监测仪采用红外温度检测装置集成制作。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述喷头左侧设置有电磁阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本气体加热装置结构简单，操作方便，使用安全，能够自动控制内部气体的温度，通过利用尾气中的热量来减少燃料的浪费，起到节能环保的作用，极大的节约了生产成本，提高了产品质量，特别使用应用在燃气退火炉的气体加热工作中。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型所述一种燃气退火炉的气体加热装置结构图。

图中：1、加压口；2、加热器；3、喷头；4、温度检测仪；5、气体管；6、气体流量阀；7、风扇；8、尾气管；9、往复管道；10、加热层；11、气室；12、氧气瓶；13、燃气瓶。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案：一种燃气退火炉的气体加热装置，包括气室11、加热层10、加压口1、氧气瓶12和燃气瓶13，加热层10设置在气室11外部，加热层10右端上方设置有尾气管8，尾气管8与退火炉排气管连接在一起，加热层10内部设置有往复管道9，往复管道9缠绕在气室11外部，气室11右端设置有风扇7，气室11左端设置有加压口1，加压口1内部设置有加热器2，加压口1左端设置有喷头1，喷头3下方设置有温度监测仪4，加热器2下方连接有气体管5，气体管5下端连接有氧气瓶12和燃气瓶13，气体管5与氧气瓶12和燃气瓶13连接处分别设置有气体流量阀6，加热器2设置有两个，分别设置在加压口1内部上下两侧，气体流量阀6与温度监测仪4电性连接，加热层10外侧壁里侧设置有保温镀层，温度监测仪4采用红外温度检测装置集成制作，喷头3左侧设置有电磁阀。

具体原理：使用时，在开始工作时，首先应用燃气燃烧对气室11内部的空气进行加热，当温度检测仪4测定温度适宜后，通过风扇7将适宜温度的气体吹入燃气退火炉中进行退火工作，当退火工作进行一段时间之后产生的尾气从退火炉的排气管中排出，将排出的尾气从尾气管8接入加热层10，加热层10中的往复管道9缠绕在气室11上，能够合理利用气体中的热量，当温度检测仪4检测出炉中温度过高时，控制气体流量阀6减少气体的使用，从而降低气室中的温度，将热量应用在对气室11内部气体的加热中，能够减少燃气的使用率，降低燃料的成本投入。

本气体加热装置结构简单，操作方便，使用安全，能够自动控制内部气体的温度，通过利用尾气中的热量来减少燃料的浪费，起到节能环保的作用，极大的节约了生产成本，提高了产品质量，特别使用应用在燃气退火炉的气体加热工作中。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。