一种快速的加热装置的制作方法

本实用新型涉及蒸发镀膜装置技术领域，具体为一种快速的加热装置。

背景技术：

镀膜技术广泛应用于各种工件上，镀膜不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化，而且使工件表面光滑，装饰性强；在薄膜制备过程中，需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发汽化，在真空镀膜工艺中，加热装置是一种重要的蒸发设备。加热装置使其中的物质蒸发，蒸发物质的原子或分子就会以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。目前镀膜设备的舟内材料在加热过程中加热不均匀，有时会溅出到加热装置外，而且气化效率较低。

技术实现要素：

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种快速的加热装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种快速的加热装置，包括：蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，所述加热盘一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置、调节气缸，所述加热盘一侧安装在调节气缸的输出端上，滑动调节装置安装在加热盘下侧，所述滑动调节装置安装在调节装置支架上，所述调节气缸通过调节气缸安装座安装在调节装置支架上，所述蒸发坩埚上端设有坩埚盖，所述坩埚盖上端设有蒸镀输送管，所述预热坩埚上端设有加料斗，加料斗的加料口上设有密封盖板。

所述预热坩埚与蒸发坩埚之间设有过度段，预热坩埚倾斜设置，预热坩埚的倾斜角度为10-40°，所述加热盘的三分之二在蒸发坩埚下侧，加热盘的三分之一在预热坩埚下侧。

所述滑动调节装置包括调节滑槽，所述调节滑槽安装在电梯本体上，调节滑槽内设有移动滑块，加热盘安装在移动滑块上，调节滑槽一侧设有锁紧装置通槽，锁紧装置穿过锁紧装置通槽安装在移动滑块上。

所述调节滑槽下端设有支撑滚轮固定槽，支撑滚轮固定槽内设有支撑滚轮，支撑滚轮通过支撑滚轮安装轴安装在支撑滚轮固定槽内，移动滑块放置在支撑滚轮上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型可以在加料的同时进行预热，提高加热均匀度，防止飞溅，而且，可以根据需求调节加热、预热的热量比例，提高设备适用范围。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的滑动调节装置结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

实施例1

如图1所示，一种快速的加热装置，包括：蒸发坩埚1，所述蒸发坩埚1一侧设有预热坩埚2，所述蒸发坩埚1下端设有加热盘4，所述加热盘4上设有若干加热头3，所述加热盘4下端安装在加热盘固定座5上，所述加热盘4一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置6、调节气缸9，所述加热盘4一侧安装在调节气缸9的输出端上，滑动调节装置6安装在加热盘4下侧，所述滑动调节装置6安装在调节装置支架7上，所述调节气缸9通过调节气缸安装座8安装在调节装置支架7上，所述蒸发坩埚1上端设有坩埚盖10，所述坩埚盖10上端设有蒸镀输送管11，所述预热坩埚2上端设有加料斗12，加料斗12的加料口上设有密封盖板13。

实施例2

如图1所示，一种快速的加热装置，包括：蒸发坩埚1，所述蒸发坩埚1一侧设有预热坩埚2，所述蒸发坩埚1下端设有加热盘4，所述加热盘4上设有若干加热头3，所述加热盘4下端安装在加热盘固定座5上，所述加热盘4一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置6、调节气缸9，所述加热盘4一侧安装在调节气缸9的输出端上，滑动调节装置6安装在加热盘4下侧，所述滑动调节装置6安装在调节装置支架7上，所述调节气缸9通过调节气缸安装座8安装在调节装置支架7上，所述蒸发坩埚1上端设有坩埚盖10，所述坩埚盖10上端设有蒸镀输送管11，所述预热坩埚2上端设有加料斗12，加料斗12的加料口上设有密封盖板13。

所述预热坩埚2与蒸发坩埚1之间设有过度段，预热坩埚2倾斜设置，预热坩埚2的倾斜角度为10-40°，所述加热盘4的三分之二在蒸发坩埚1下侧，加热盘4的三分之一在预热坩埚2下侧。

实施例3

如图1、图2所示，一种快速的加热装置，包括：蒸发坩埚1，所述蒸发坩埚1一侧设有预热坩埚2，所述蒸发坩埚1下端设有加热盘4，所述加热盘4上设有若干加热头3，所述加热盘4下端安装在加热盘固定座5上，所述加热盘4一侧设有加热盘移动调节装置，所述加热盘移动调节装置包括滑动调节装置6、调节气缸9，所述加热盘4一侧安装在调节气缸9的输出端上，滑动调节装置6安装在加热盘4下侧，所述滑动调节装置6安装在调节装置支架7上，所述调节气缸9通过调节气缸安装座8安装在调节装置支架7上，所述蒸发坩埚1上端设有坩埚盖10，所述坩埚盖10上端设有蒸镀输送管11，所述预热坩埚2上端设有加料斗12，加料斗12的加料口上设有密封盖板13。

所述滑动调节装置6包括调节滑槽61，所述调节滑槽61安装在电梯本体上，调节滑槽61内设有移动滑块62，加热盘4安装在移动滑块62上，调节滑槽61一侧设有锁紧装置通槽63，锁紧装置64穿过锁紧装置通槽63安装在移动滑块62上。

所述调节滑槽61下端设有支撑滚轮固定槽65，支撑滚轮固定槽65内设有支撑滚轮66，支撑滚轮66通过支撑滚轮安装轴67安装在支撑滚轮固定槽65内，移动滑块62放置在支撑滚轮66上。

本实用新型在蒸发坩埚1一侧设有预热坩埚2，加热盘4的三分之二在蒸发坩埚1下侧，加热盘4的三分之一在预热坩埚2下侧，可以在加料的同时进行预热，提高加热均匀度，防止飞溅，而且，加热盘4一侧设有加热盘移动调节装置，可以根据需求调节加热、预热的热量比例，提高设备适用范围。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。