一种真空镀膜装置的制作方法

本实用新型涉及蒸发镀膜装置技术领域，具体为一种真空镀膜装置。

背景技术：

镀膜技术广泛应用于各种工件上，镀膜不仅能保护工件，防止工件磨损、氧化，而且使工件表面光滑，装饰性强；在薄膜制备过程中，需要很强的功率才能使金属原料从固体状态蒸发汽化，在真空镀膜工艺中，加热装置是一种重要的蒸发设备。加热装置使其中的物质蒸发，蒸发物质的原子或分子就会以冷凝方式沉积在基片表面。薄膜厚度可由数百埃至数微米。但是，在镀膜过程中，容易出现镀膜层不均匀，镀膜质量不高等缺点。

技术实现要素：

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种真空镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种真空镀膜装置，包括：蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件固定支架上设有柔性垫块，镀件放置在柔性垫块上，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，所述升降气缸的输出端通过放置板安装座安装在镀件放置板上，所述升降气缸的缸体通过升降气缸固定座安装在蒸镀釜底部。

所述蒸镀釜封头一侧通过固定轴安装在蒸镀釜上、另一侧通过固定卡扣安装在蒸镀釜上，所述固定卡扣上设有密封锁紧手柄。

所述镀膜喷管装置包括蒸镀源分配管，蒸镀源分配管通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述蒸镀源分配管上设有若干喷头接头，所述喷头接头上设有喷头，所述喷头通过连接软管安装在喷头接头上。

所述喷头尾端通过旋转销安装在固定板上，喷头在固定板上等距均匀设置，固定板安装在蒸镀釜封头上，所述喷头头端通过旋转销安装在角度调节板上，所述角度调节板一端设有伸缩气缸。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质，另外，将大部分蒸镀组件安装在蒸镀釜封头内，可以方便对设备的检修，降低使用成本。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的镀膜喷管装置结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。

实施例1

如图1所示，一种真空镀膜装置，包括：蒸镀釜1，所述蒸镀釜1上端设有蒸镀釜封头3，所述蒸镀釜封头3内设有镀膜喷管装置2，所述镀膜喷管装置2通过喷管装置固定支架4安装在蒸镀釜封头3内，所述镀膜喷管装置2连接于蒸镀源输送管8上，所述蒸镀釜封头3上设有抽真空管5，所述抽真空管5上设有抽真空泵6，所述抽真空泵6安装在真空泵固定座7上，所述蒸镀釜1内设有镀件放置板13，所述镀件放置板13上设有镀件固定支架14，所述镀件固定支架14上设有柔性垫块15，镀件12放置在柔性垫块15上，所述镀件放置板13下端安装在升降气缸17上，所述升降气缸17的输出端通过放置板安装座16安装在镀件放置板13上，所述升降气缸17的缸体通过升降气缸固定座18安装在蒸镀釜1底部。

实施例2

如图1所示，一种真空镀膜装置，包括：蒸镀釜1，所述蒸镀釜1上端设有蒸镀釜封头3，所述蒸镀釜封头3内设有镀膜喷管装置2，所述镀膜喷管装置2通过喷管装置固定支架4安装在蒸镀釜封头3内，所述镀膜喷管装置2连接于蒸镀源输送管8上，所述蒸镀釜封头3上设有抽真空管5，所述抽真空管5上设有抽真空泵6，所述抽真空泵6安装在真空泵固定座7上，所述蒸镀釜1内设有镀件放置板13，所述镀件放置板13上设有镀件固定支架14，所述镀件固定支架14上设有柔性垫块15，镀件12放置在柔性垫块15上，所述镀件放置板13下端安装在升降气缸17上，所述升降气缸17的输出端通过放置板安装座16安装在镀件放置板13上，所述升降气缸17的缸体通过升降气缸固定座18安装在蒸镀釜1底部。

所述蒸镀釜封头3一侧通过固定轴10安装在蒸镀釜1上、另一侧通过固定卡扣9安装在蒸镀釜1上，所述固定卡扣9上设有密封锁紧手柄11。

实施例3

如图1、图2所示，一种真空镀膜装置，包括：蒸镀釜1，所述蒸镀釜1上端设有蒸镀釜封头3，所述蒸镀釜封头3内设有镀膜喷管装置2，所述镀膜喷管装置2通过喷管装置固定支架4安装在蒸镀釜封头3内，所述镀膜喷管装置2连接于蒸镀源输送管8上，所述蒸镀釜封头3上设有抽真空管5，所述抽真空管5上设有抽真空泵6，所述抽真空泵6安装在真空泵固定座7上，所述蒸镀釜1内设有镀件放置板13，所述镀件放置板13上设有镀件固定支架14，所述镀件固定支架14上设有柔性垫块15，镀件12放置在柔性垫块15上，所述镀件放置板13下端安装在升降气缸17上，所述升降气缸17的输出端通过放置板安装座16安装在镀件放置板13上，所述升降气缸17的缸体通过升降气缸固定座18安装在蒸镀釜1底部。

所述镀膜喷管装置2包括蒸镀源分配管21，蒸镀源分配管21通过喷管装置固定支架4安装在蒸镀釜封头3内，所述蒸镀源分配管21上设有若干喷头接头22，所述喷头接头22上设有喷头24，所述喷头24通过连接软管23安装在喷头接头22上。

所述喷头24尾端通过旋转销27安装在固定板25上，喷头24在固定板25上等距均匀设置，固定板25安装在蒸镀釜封头3上，所述喷头24头端通过旋转销27安装在角度调节板26上，所述角度调节板26一端设有伸缩气缸28。

本实用新型将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质，另外，将大部分蒸镀组件安装在蒸镀釜封头3内，而且，蒸镀釜封头3一侧通过固定轴10安装在蒸镀釜1上、另一侧通过固定卡扣9安装在蒸镀釜1上，所述固定卡扣9上设有密封锁紧手柄11，可以方便对设备的检修，降低使用成本。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。