一种高低真空气氛隔离装置的制作方法

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种高低真空气氛隔离装置。

背景技术：

在真空镀膜领域，镀膜基片需要从低真空到高真空、高真空到低真空的转换来完成镀膜进料与镀膜出料的过程，其中有效隔离高真空与低真空气氛的装置就是转板阀，传统的转板阀装置简单，通过电机正反转配合齿轮完成气氛隔离，但在镀膜工序如此反复循环的条件下，齿轮会有磨损，从而影响转板的到位角度，机械转动的部位较多，容易导致零部件松动，这些将会导致密封性能变差、漏气，从而影响真空度，并且，转板的运动时间、速度不可调，全由电机控制，齿轮的机械转动不具有线性化。

技术实现要素：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种结构简单，设计合理的高低真空气氛隔离装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种高低真空气氛隔离装置，包括带有气体节流阀并装配了连接轴的气缸与内部两个区域的镀膜箱体，所述气缸固定安装在镀膜箱体的一侧，所述连接轴穿过镀膜箱体的一侧侧壁，所述连接轴位于镀膜箱体内的一端固定安装有密封板，所述镀膜箱体的内部开设有使镀膜箱体内两个区域相通的密封口，所述气缸与镀膜箱体之间设置有密封法兰，所述密封法兰固定在镀膜箱体的侧壁上。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述密封法兰的上端开设有孔，孔内插有气管，所述气管的上端固定连接有前级抽气管道。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述前级抽气管道的中部下端开设有螺纹孔，所述气管的上端外表面设置有连接螺纹，所述气管的上端外表面设有的螺纹与前级抽气管道的中部下端开设的螺纹孔配合连接。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述前级抽气管道的左右端密封。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述前级抽气管道的一端连接有吸气机构。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述密封板的一侧外表面远离连接轴的一侧固定安装有橡胶软垫。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述密封法兰为插板阀密封法兰。

作为本实用新型的进一步优化方案，所述镀膜箱体的一侧外表面固定安装有气缸安装板，所述镀膜箱体与气缸安装板通过螺栓固定连接，所述气缸固定安装在气缸安装板的表面。

本实用新型的有益效果在于：

1)本实用新型利用气缸控制高低真空气氛的转变，结构稳定，较之前的电机齿轮传动更为方便可靠，不易磨损降低设备的故障率；

2)本实用新型可以通过调节气缸的压缩气体节流阀控制气缸的进出气的大小，从而控制其拉伸收缩的速度，满足生产条件的需要；

3)本实用新型可以通过密封法兰来保证设备的密封性，并且通过前级抽气管道与气管来加强设备的气密性，启用吸气机构抽气降低了漏气的概率，提高了产品的质量，保证了稳定的生产节奏。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型图1中A的放大图；

图3是本实用新型密封前级抽气管道后动作的结构示意图；

图4是本实用新型安装抽气机构后动作的结构示意图。

图中：1、前级抽气管道；2、气管；3、气缸；4、密封法兰；5、连接轴；6、密封板；7、密封口；8、镀膜箱体；9、橡胶软垫。

具体实施方式

下面结合附图对本申请作进一步详细描述，有必要在此指出的是，以下具体实施方式只用于对本申请进行进一步的说明，不能理解为对本申请保护范围的限制，该领域的技术人员可以根据上述申请内容对本申请作出一些非本质的改进和调整。

实施例1

如图1与图2所示，该高低真空气氛隔离装置，包括带有气体节流阀并装配了连接轴5的气缸3与内部两个区域的镀膜箱体8，气缸3固定安装在镀膜箱体8的一侧，现提供一种气缸的固定方式：在镀膜箱体8的一侧外表面固定安装一气缸安装板，镀膜箱体8与气缸安装板通过螺栓固定连接，将气缸3固定安装在气缸安装板的表面，同样，气缸3与气缸安装板可以通过简单常见的螺栓连接的方式来固定两者，连接轴5穿过镀膜箱体8的一侧侧壁，连接轴5位于镀膜箱体8内的一端固定安装有密封板6，镀膜箱体8的内部开设有使镀膜箱体8内两个区域相通的密封口7，气缸3与镀膜箱体8之间设置有密封法兰4，密封法兰4固定在镀膜箱体8的侧壁上。密封法兰4的上端开设有孔，孔内插有气管2，气管2的上端固定连接有前级抽气管道1，前级抽气管道1的左右端密封(如图3所示)，可以很好的保证装置的气密性，同样，使用者还可以将前级抽气管道1的一端连接有吸气机构(如图4所示)，该吸气机构仅需抽气即可，可以为结构简单的小型家用抽气机，气缸3可以为M27系列的单杆气缸。

现提供两种前级抽气管道与气管固定连接的方法：一是将前级抽气管道的中部下端开设螺纹孔，在气管的上端外表面设置一定长度的连接螺纹，气管的上端外表面设有的螺纹与前级抽气管道的中部下端开设的螺纹孔配合连接，通过螺纹的这种紧密的连接方式，同样可以保证两管之间不会出现气体泄露；二是直接一体塑造制作“T”型的玻璃管，比较第一种方式会有更强的密封效果，但制造成本更会加大，适合批量加工；密封板6的一侧外表面远离连接轴5的一侧固定安装有橡胶软垫9，橡胶软垫9具有一定的弹性，可以在橡胶软垫9卡在密封口7时提供更高的契合度，保证使密封板6运作后的气密性，该连接方式可以利用螺钉直接将橡胶软垫9钉在密封板6的表面，同样可以利用工业胶水将橡胶软垫9直接粘贴在密封板6的表面，两种连接方式均具有很强的稳定性；密封法兰4为插板阀密封法兰，插板阀密封法兰更容易安装，易于配合使用。

需要说明的是：该高低真空气氛隔离装置，在使用时，可以封闭前级抽气管道1的两端或者在前级抽气管道1的一端安装吸气机构，开启吸气机构，启动气缸3，通过气缸3的连接轴5拉升密封板6到达镀膜箱体8的密封口7处完成气氛隔离关门动作，相反，气缸3的连接轴5的收缩状态可完成开门的动作，气缸3的连接轴5的拉升收缩的速度可有气缸3上自带的压缩气体节流阀来控制进气大小，较为方便使用。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。