一种叶窗式气道节流装置的制作方法

本申请涉及一种节流装置，具体涉及一种叶窗式气道节流装置。

背景技术：

节流装置设置在真空镀膜设备获得真空的抽气系统主通道口，用于节流部分气体，为保证主腔体中有一个相对稳定压力及相对均匀的气体环境，必须设置节流装置。在磁控溅射镀膜过程中，磁控靶启动溅射电源时，先在真空腔体中充入氩气或其他反应气体，但为保证真空腔体内有一个相对稳定且均匀的混合气体空间，使磁控溅射工作稳定的进行，为产生的膜层保证良好的均匀性，就必须在抽气通道安装节流装置。在其他通风系统中为了节流部分气体，使主腔体保留一个相对稳定的流速，也会安装节流装置。

目前，在一些真空镀膜设备中应用的节流装置，通过简单的反转，完成截流工作。也有利用阵列小孔完成截流工作。现有的节流装置都相对简洁，相对简洁的节流装置存在以下缺陷：

1、在关闭状态下，由于气体流速和设备加热过程中，容易产生较大幅度的弯曲变形，从而导致节流装置卡死等现象的出现；

2、在打开状态下，前后距离所占空间较大，这样就必须增加容积体的体积，导致抽气时间的延长，工作效率的降低；

3、对抽气阻力相对较大，容易延长抽气时间；

4、节流气体流量相对固定，不可调节。

技术实现要素：

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种能够调节气体流量大小，提高工作效率的叶窗式气道节流装置。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是：

一种叶窗式气道节流装置，包括：

传动装置；

主叶片，通过主动轴连接所述传动装置；

多个从叶片，依次设置在主叶片的一侧或两侧；

拉杆，依次活动连接所述主叶片和多个从叶片，通过主叶片的角度改变带动多个从叶片改变角度。

进一步地，还包括销钉和间隔距离设置的一对销钉座；

所述主叶片和每个所述从叶片上分别固定连接一对销钉座；

所述拉杆上间隔距离设有通孔；

所述销钉的末端设有销孔，所述销钉依次穿过对应一销钉座上的孔、相应拉杆上的通孔和对应另一销钉座上的孔后，在所述销孔内插入开口销。

进一步地，还包括固定套；

所述主叶片、从叶片和拉杆均设置在固定套内，所述主叶片和从叶片的两端通过轴座连接从动轴一端，所述从动轴另一端连接轴套，所述轴套固定连接所述固定套的内壁。

所述固定套的外围形状与安装管道的内壁形状相一致，所述主叶片和从叶片所围设的外围形状与安装管道的内壁形状相一致。

所述固定套为圆圈，所述主叶片和从叶片所围设的外围形状为圆。

所述主叶片设置在所述固定套的中间位置，所述多个从叶片对称设置在所述主叶片的两侧。

所述传动装置为伺服电机。

所述传动装置为旋转气缸或与曲柄连杆连接的往复式气缸。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型根据输出转动角度，调节主叶片和从叶片的开合大小角度，来达到调节气体流速大小，最终实现真空腔体内的压力及气体的密度的可调节，从而更容易掌控镀膜膜层的成形工艺；采用本实用新型的百叶窗式节流装置，通道在打开时，各个叶片相互平行，相比现有的单板节流后的简单反转，缩短了主抽气通道的距离，减少真空墙体容积，缩短获得真空时间，从而提高工作效率。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型实施例提供的叶窗式气道节流装置闭合状态的结构示意图；

图2为图1的侧视图；

图3为图1的a处放大图；

图4为本实用新型实施例提供的叶窗式气道节流装置打开状态的结构示意图；

图5为图4的侧视图；

图6为图4的b处放大图；

图7为本实用新型实施例提供的固定套的结构示意图；

图8为图7的侧视图；

图9为本实用新型实施例提供的主叶片和从叶片组合的结构示意图；

图10为本实用新型实施例提供的轴座的结构示意图；

图11为本实用新型实施例提供的轴套的结构示意图；

图12为本实用新型实施例提供的销钉座的结构示意图；

图13为图12的侧视图；

图14为本实用新型实施例提供的拉杆的结构示意图；

图15为本实用新型实施例提供的销钉的结构示意图。

图中：1安装管道、2固定套、3从叶片、4轴座、5从动轴、6轴套、7传动装置、8主动轴、9销钉座、10拉杆、11销钉、12主叶片，13开口销。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关实用新型，而非对该实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与实用新型相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

参见图1-图6，图12-图15，一种叶窗式气道节流装置，包括：

传动装置7；

主叶片12，通过主动轴8连接传动装置7；

多个从叶片3，依次设置在主叶片12的一侧或两侧；

拉杆10，依次活动连接主叶片12和多个从叶片3，通过主叶片12的角度改变带动多个从叶片3改变角度。

本实用新型将整体流速产生的受力点分散到各个从叶片，减少节流装置本身因流速产生的变形、卡死现象；防止工作过程中断，造成工作效率降低的问题发生，使生产过程更稳定，更可靠。本实用新型减少气体流速阻力，快速获得较高真空环境，缩短工作时间，提高生产效率；气体流量大小可控制，可保证腔体内压力及镀膜气体密度可调，可更好的掌握镀膜成形工艺的调整。减少气道空间，从而提高抽气效率。

参见图3，图6和图10-图15，本实施例在上述实施例的基础上，还包括销钉11和间隔距离设置的一对销钉座9；

主叶片12和每个从叶片3上分别固定连接一对销钉座9；

拉杆10上间隔距离设有通孔；

销钉11的末端设有销孔，销钉11依次穿过对应一销钉座9上的孔、拉杆10上的对应通孔和对应另一销钉座9上的孔后，在销孔内插入开口销13。

本实用新型由主动轴带动主叶片旋转，主叶片旋转后接触到拉杆，带动拉杆旋转，拉杆旋转后带动从叶片上的销钉旋转，从而带动从叶片旋转后开合一定的角度。

带动主叶片旋转，再由主叶片通过销钉，拉杆，将动力传递到各个从动叶片，从而实现整体的开合动作，完成节流开合的全过程，伺服电机可控制旋转角度，从而实现叶片的开合偏转角度，以实现调节气体流量的目的。

参见图1、图7、图8、图10和图11，本实施例在上述实施例的基础上，还包括固定套2；

主叶片12、从叶片3和拉杆10均设置在固定套2内，主叶片12和从叶片3的两端连接通过轴座4连接从动轴5一端，从动轴5另一端连接轴套6，轴套6固定连接固定套2的内壁。

设置固定套，使得主叶片和各从叶片两侧能得到很好的固定安装。主叶片也可以设置在固定套的最下方，从叶片分别设置在主叶片上方的同一侧。

参见图1、图7和图9，固定套2的外围形状与安装管道1的内壁形状相一致，主叶片12和从叶片3所围设的外围形状与安装管道1的内壁形状相一致。

优选地，本实用新型适用于圆形管道时，固定套2为圆圈，主叶片12和从叶片3所围设的外围形状为圆。

本实用新型的气道节流装置也可以用于方形及其他管道通风节流，其原理和安装方式均可不变，只改变固定套外形及叶片的形状即可。

参见图1和图4，为了实现力平衡的传动，主叶片12设置在固定套2的中间位置，多个从叶片3对称设置在主叶片12的两侧。

优选地，传动装置7为伺服电机。

主程序控制伺服电机传递动力，气体流速的调节更加可控，具有气体流量控制相对精确的优点。

进一步地，为了达到叶片旋转的功能，传动装置7也可以为旋转气缸或与曲柄连杆连接的往复式气缸。

本实用新型的工作原理：

将安装完成的叶窗式节流装置固定在需要节流的管道内壁上，将主动轴及伺服电机固定在管道的管壁外，调整伺服电机成90度回转叶窗开关所需位置。

由主程序控制伺服电机传递动力。动力由主动轴输入，带动主叶片旋转，再由主叶片通过销钉，拉杆，将动力传递到各个从动叶片，从而实现整体的开合动作，完成节流开合的全过程，伺服电机可控制旋转角度，从而实现叶片的开合偏转角度，以实现调节气体流量的目的。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的实用新型范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述实用新型构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。