MO源中央供应系统的制作方法

本实用新型涉及LED技术领域，尤其涉及一种MO源中央供应系统。

背景技术：

目前，LED产业处于快速发展阶段，外延芯片需求量成倍数增长。外延工厂在用MOCVD进行外延生长时，由于设备及工艺条件，会有大量MO(metalorganic source)源转变为黑色固体颗粒(黑粉)。MO源为高纯金属有机化合物，或叫化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。因此，如何保证MO源的集中供应，对于LED的产业发展具有重要的意义。因此，针对上述问题，有必要提出进一步地解决方案。

技术实现要素：

本实用新型旨在提供一种MO源中央供应系统，以克服现有技术中存在的不足。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：

一种MO源中央供应系统，其包括：储液罐、中转罐、第一钢瓶、第二钢瓶、冷肼、真空泵、尾气液封罐；

所述储液罐通过管路与下游的中转罐相连接，所述储液罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，所述中转罐通过管路与下游的第一钢瓶，所述中转罐同时与排空管路、氮气管路和真空管路相连接，所述第一钢瓶通过管路与下游的第二钢瓶相连接，所述第二钢瓶同时与排空管路、特气管路、氮气管路和真空管路相连接，所述冷肼与真空管路相连接，且所述冷肼通过管路与下游的真空泵相连接，所述真空泵同时与设备排气管路相连接，所述尾气液封罐位于所述真空泵的下游，所述尾气液封罐同时与进淋洗塔管路和排空管路相连接。

作为本实用新型的MO源中央供应系统的改进，所述储液罐置于一工业电子秤上。

作为本实用新型的MO源中央供应系统的改进，所述储液罐的容积为100～2000L。

作为本实用新型的MO源中央供应系统的改进，所述中转罐置于一工业电子秤上。

作为本实用新型的MO源中央供应系统的改进，所述第一钢瓶为温度平衡钢瓶。

作为本实用新型的MO源中央供应系统的改进，所述真空泵为750W旋片式真空泵。

作为本实用新型的MO源中央供应系统的改进，所述进淋洗塔管路、排空管路、特气管路、设备排气管路、氮气管路和真空管路上均设置有压力表。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的MO源中央供应系统通过设置储液罐、中转罐、第一钢瓶、第二钢瓶、冷肼、真空泵、尾气液封罐等，实现了MO的集中供应，其有利于满足MOCVD进行外延生长时工艺需求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的MO源中央供应系统的平面示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型提供一种MO源中央供应系统，其包括：储液罐1、中转罐2、第一钢瓶3、第二钢瓶4、冷肼5、真空泵6、尾气液封罐7。需要说明的是，上述储液罐1、中转罐2、第一钢瓶3、第二钢瓶4、冷肼5、真空泵6、尾气液封罐7均为现有的产品，本领域技术人员可进行灵活选择，并结合应用到本实用新型的技术方案中。

所述储液罐1其用于接收来自补液罐(未图示)的MO源，并通过管路与下游的中转罐2相连接。优选地，所述储液罐1的容积为100～2000L。所述储液罐1置于一工业电子秤13上，如此以方便测量其内部MO源的重量。

此外，所述MO源中央供应系统还包括：进淋洗塔管路8、排空管路9、特气管路10、设备排气管路11、氮气管路12和真空管路13。上述各管路上均设置有压力表。所述储液罐1同时与排空管路9、氮气管路12和真空管路13相连接。

所述中转罐2用于MO源集中供应时的中转。所述中转罐2通过管路与下游的第一钢瓶3，所述中转罐2同时与排空管路9、氮气管路12和真空管路13相连接。所述中转罐2置于一工业电子秤14上，如此以方便测量其内部MO源的重量。

所述第一钢瓶3通过管路与下游的第二钢瓶4相连接，所述第二钢瓶4同时与排空管路9、特气管路10、氮气管路12和真空管路13相连接。优选地，所述第一钢瓶3为温度平衡钢瓶。

所述冷肼5与真空管路13相连接，且所述冷肼5通过管路与下游的真空泵6相连接。通过设置所述冷肼5，可在补液罐/储液罐1/中转罐2等需要下线时，用于抽充管道，从而冷肼5用于收集抽充过程中管道中的微量产品。

所述真空泵6同时与设备排气管路11相连接，在一个实施方式中，所述真空泵6为750W旋片式真空泵6。所述尾气液封罐7位于所述真空泵6的下游，所述尾气液封罐7同时与进淋洗塔管路8和排空管路9相连接。

综上所述，本实用新型的MO源中央供应系统通过设置储液罐、中转罐、第一钢瓶、第二钢瓶、冷肼、真空泵、尾气液封罐等，实现了MO的集中供应，其有利于满足MOCVD进行外延生长时工艺需求。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。