一种研磨片用腐蚀机的制作方法

文档序号:18449004发布日期:2019-08-16 22:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种研磨片用腐蚀机,包括腐蚀箱体,其特征在于:包括设于腐蚀箱体内部且将腐蚀箱体内部分为依次排列的微腐蚀模块、纯水清洗模块、超声波清洗模块以及甩干模块的隔离板,各隔离板的顶部均间隔设有用于实现研磨片转移的转移组件;所述微腐蚀模块包括微腐蚀腔、设于微腐蚀腔内部的腐蚀液以及流动组件,所述流动组件包括设于微腐蚀腔的腔口且与微腐蚀腔的腔壁固定连接的腐蚀液分盘以及设于腐蚀液分盘下方的转动轴,所述微腐蚀液分盘上设有若干个通孔,所述转动轴的外壁周向等距间隔固定连接有若干盘提升片;所述纯水清洗模块包括清洗腔以及多个分布于所述清洗腔的腔壁上的喷嘴,所述清洗腔的腔壁中空设置且通过分隔板分割形成有上腔室以及下腔室,各喷嘴均与上腔室连通,所述下腔室通过溢流口与清洗腔连通;所述超声波清洗模块包括超声波清洗腔、设于该超声波清洗腔内的清洗液以及设于该超声波清洗腔的腔底的超声波发射器;所述甩干模块包括回收腔、与回收腔间隙设置且通过电机驱动其轴向转动的甩干筒以及与所述甩干筒的底部中心固定连接的离心轴,所述甩干筒的外壁设有若干回流口。

2.根据权利要求1所述的一种研磨片用腐蚀机,其特征在于:所述转移组件包括设于各隔离板顶部且通过电机驱动且中空设置的转移轴,所述转移轴内间隙设有可轴向滑动的滑动轴,所述转移轴的外壁间隔固定连接有若干个第一夹持杆以及与转移轴外壁轴向滑动连接的第二夹持杆,设于转移轴外壁且与各第二加持杆一一对应滑槽,所述滑动轴的外壁固定连接有若干个分别活动于各滑槽内且与第二加持杆固定连接的滑动块。

3.根据权利要求2所述的一种研磨片用腐蚀机,其特征在于:还包括用于固定研磨片且供第一夹持杆和第二夹持杆夹持的固定组件;所述固定组件包括用于相互卡接的定位套以及分别设于各定位套外壁的限位环,且各定位套的外壁均周向等距间隔固定连接有限位块。

4.根据权利要求3所述的一种研磨片用腐蚀机,其特征在于:所述离心轴的顶部凹陷设有卡腔,且在卡腔的腔壁上周向间隔设有若干条供各限位块活动的卡槽,所述卡槽包括自离心轴顶部贯穿的竖直部、与竖直部连通的倾斜部以及与倾斜部远离竖直部一端连通的水平部。

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