一种大幅面真空吸盘平面度加工方法及系统与流程

本发明涉及零件加工技术领域、精密定位控制领域、直写光刻领域以及fpd平板显示领域等技术领域，特别涉及一种大幅面真空吸盘平面度加工方法及系统。

背景技术：

大幅面真空吸盘平面度是衡量直写光刻曝光系统特性的一个重要指标，其主要取决于几个因素：真空吸盘的加工工艺、真空吸盘的材料、真空吸盘的加工方法等。

精密定位运动平台动态平面度和真空吸盘本身的平面度会影响曝光过程中焦面的变化，如果平面度较差，会导致在曝光过程中出现离焦，进而出现图形解析不良等缺陷。

传统的真空吸盘平面度测量和加工，主要是利用机床或磨床加工，千分表测量，边测量边加工，操作效率和加工效率较低，且成本高。尤其是大幅面真空吸盘的平面度加工难度较大，传统的加工方法很难保证其加工精度。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种大幅面真空吸盘平面度加工方法，以提高真空吸盘平面度的加工精度。

为实现以上目的，本发明采用一种大幅面真空吸盘平面度加工方法，包括：

将待加工大幅面真空吸盘安装在精密定位运动平台上，精密定位运动平台上安装测距仪和用于进行平面度加工的加工系统，方法包括如下步骤：

移动精密定位运动平台，利用测距仪测得所述大幅面真空吸盘各坐标点距离数据；

利用所述距离数据拟合出所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线；

以所述二维平面度曲线中平面度最低的坐标点为基准点，平面度高于基准点平面的坐标点为待加工点；

利用加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值。

优选地，所述大幅面真空吸盘安装在所述定位平台底座上，底座所在平面为x轴和y轴所组成的平面，所述测距仪和所述加工系统均安装在所述精密定位运动平台的z轴上；所述距离数据包括第一距离数据和第二距离数据，其测量过程包括：

以所述大幅面真空吸盘的起始位置坐标点为原点，保持所述精密定位运动平台y轴在各坐标点不变，全程移动所述精密定位运动平台x轴，在移动路径过程中利用所述测距仪测得各个坐标点的距离数据作为第一距离数据；

以所述大幅面真空吸盘的起始位置坐标点为原点，保持所述精密定位运动平台x轴在各坐标点不变，全程移动所述精密定位运动平台y轴，在移动路径过程中利用所述测距仪测得各个坐标点的距离数据作为第二距离数据。

优选地，所述利用加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值，包括：

移动所述精密定位运动平台，使所述测距仪到达所述大幅面真空吸盘的平面度最高点；

将所述加工系统对准所述最高点，移动所述精密定位运动平台z轴以利用加工系统磨削该最高点的厚度值至基准点的平面度值；

继续移动所述精密定位运动平台，使所述测距仪到达所述大幅面真空吸盘下一个平面度最高点，直至遍历所有待加工点。

优选地，在所述利用加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值之后，还包括：

将所述大幅面真空吸盘空气冷却设定时间，利用测距仪测得加工后所述大幅面真空吸盘各坐标点距离数据作为第三距离数据；

利用所述第三距离数据拟合出加工后所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线；

利用加工后所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线，判断加工后所述大幅面真空吸盘平面度是否达到设定目标值。

优选地，所述判断加工后所述大幅面真空吸盘平面度是否达到设定目标值，包括：

将加工后所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线中的平面度最大值与平面度最小值做差；

判断差值是否在设定的目标值范围内；

若是，则所述大幅面真空吸盘平面度加工结束；

如否，则利用所述加工系统对所述大幅面真空吸盘平面度进行再次加工。

优选地，所述加工系统包括吸尘管、磨削液输入管和磨削砂轮；所述移动所述精密定位运动平台z轴以利用加工系统磨削该最高点的厚度值至基准点的平面度值，包括：

利用所述磨削砂轮对所述大幅面真空吸盘最高点进行打磨；

利用所述吸尘管将打磨产生的碎屑吸走；

利用所述磨削液输入管将磨削液输送至所述磨削砂轮。

另一方面，提供一种大幅面真空吸盘平面度加工系统，包括控制设备和精密定位运动平台，精密定位运动平台的底座上安装有待加工的大幅面真空吸盘，精密定位运动平台上安装有测距仪和加工系统，精密定位运动平台、测距仪以及加工系统均与控制设备连接；

所述控制设备包括驱动模块、获取模块、拟合模块以及控制模块，其中：

驱动模块用于驱动精密定位运动平台移动，利用测距仪测得所述大幅面真空吸盘各坐标点距离数据；

获取模块用于获取测距仪测得的距离数据；

拟合模块用于对所述距离数据进行拟合，得到所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线；

控制模块用于以所述二维平面度曲线中平面度最低的坐标点为基准点，平面度高于基准点平面的坐标点为待加工点，控制加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值。

优选地，所述测距仪和加工系统安装在所述精密定位运动平台的z轴上，所述底座所在平面为x轴和y轴所组成的平面。

优选地，所述加工装置包括吸尘管、磨削液输入管和磨削砂轮，所述磨削液输入管用于将磨削液输送至磨削砂轮，所述吸尘管用于将磨削砂轮打磨吸盘所产生的碎屑吸走。

优选地，所述驱动模块包括第一驱动单元和第二驱动单元；

第一驱动单元用于以所述大幅面真空吸盘的起始位置坐标点为原点，保持所述精密定位运动平台y轴在各坐标点不变，全程移动所述精密定位运动平台x轴，在移动路径过程中利用所述测距仪测得各个坐标点的距离数据作为第一距离数据；

第二驱动单元用于以所述大幅面真空吸盘的起始位置坐标点为原点，保持所述精密定位运动平台x轴在各坐标点不变，全程移动所述精密定位运动平台y轴，在移动路径过程中利用所述测距仪测得各个坐标点的距离数据作为第二距离数据。

与现有技术相比，本发明存在以下技术效果：本发明通过将大幅面真空吸盘安装在精密定位运动平台底座上，在精密定位运动平台上集成测距仪和加工系统，随着精密定位运动平台的移动，利用测距仪测量出大幅面真空吸盘上各坐标点的距离数据，并利用距离数据拟合出大幅面真空吸盘上各坐标点的平面度，以平面度值最小的坐标点为基准点，然后利用加工系统对平面度值高的位置进行打磨，直至将平面度值打磨到基准点的平面度值。本发明使用精密定位运动平台进行测量和加工，与传统的测量加工技术相比，操作简单和高效，测量精度高，加工范围宽，成本低，可以有效加工出高精度的大幅面真空吸盘平面度。

附图说明

下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述：

图1是一种大幅面真空吸盘平面度加工方法的流程示意图；

图2是大幅面真空吸盘平面度加工系统结构示意图；

图3是大幅面真空吸盘平面度加工原理图；

图4是大幅面真空吸盘示意图；

图5是大幅面真空吸盘平面度加工系统结构示意图；

图6是大幅面真空吸盘平面度测量结果示意图。

具体实施方式

为了更进一步说明本发明的特征，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图。所附图仅供参考与说明之用，并非用来对本发明的保护范围加以限制。

如图1至图4所示，本实施例公开了一种大幅面真空吸盘平面度加工方法，将待加工大幅面真空吸盘安装在精密定位运动平台上，精密定位运动平台上安装测距仪和用于进行平面度加工的加工系统，方法包括如下步骤s1至s4：

s1、移动精密定位运动平台，利用测距仪测得所述大幅面真空吸盘各坐标点距离数据；

s2、利用所述距离数据拟合出所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线；

s3、以所述二维平面度曲线中平面度最低的坐标点为基准点，平面度高于基准点平面的坐标点为待加工点；

s4、利用加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值。

本实施例中，将精密定位运动平台的底座上安装有待加工的大幅面真空吸盘，在精密定位运动平台z轴上安装有测距仪和加工系统，精密定位运动平台底座所在平面为精密定位运动平台x轴和y轴所在的平面。其中：通过驱动精密定位运动平台移动，在移动过程中，利用精密定位运动平台上安装的测距仪测量大幅面真空吸盘面上各个坐标点到测距仪的距离数据，利用距离数据进行拟合，得到大幅面真空吸盘上各个坐标点的平面度，并绘制成二维曲线，记录每一个坐标点对应的平面度值；将各平面度中取值最小的坐标点作为基准点，将剩下的坐标点作为待加工点，然后利用加工系统对各待加工点的厚度进行打磨，直至将其平面度值打磨至基准点的平面度值。

本发明使用的双驱结构精密定位运动平台可以测量高精度、大尺寸的大幅面真空吸盘平面度值；且测量系统测量的平面度包含精密定位运动平台的动态平面度和大幅面真空吸盘自身平面度，应用于精密定位控制领域时，可以真实有效的评估真空吸盘实际曝光系统的平面度。

优选地，所述距离数据包括第一距离数据和第二距离数据，其第一距离数据测量过程包括：以所述大幅面真空吸盘的起始位置坐标点为原点，保持所述精密定位运动平台y轴在各坐标点不变，全程移动所述精密定位运动平台x轴，在移动路径过程中利用所述测距仪测得各个坐标点的距离数据作为第一距离数据；

具体地，包括如下步骤：

（a1）驱动精密定位运动平台x轴和y轴，以大幅面真空吸盘左下角某处作为初始位置点，并就此刻测距仪的读数为h11，记录此时平台的坐标为（x1，y1）。

（a2）移动精密定位运动平台x轴，使精密定位运动平台移动距离a，记录此刻测距仪的读数为h21，记录此时精密定位运动平台的坐标为（x2，y1）。

（a3）保持y轴在坐标y1处不变，全行程移动x轴，移动距离为a或a的整数倍，记录y轴在坐标y1处不变时，测距仪所测得的数据（h11，h21，....，hm1），并记录在x轴不同位置时的平台坐标（x1，y1）、（x2，y1）、......、（xm，y1）。

（a4）控制y轴移动距离b或b的整数倍t后，保持y轴在坐标y1+b处或y1+tb处不变，重复执行上述步骤（a2）至（a3），记录测距仪所测得的数据，并记录在x轴不同位置时的平台坐标。利用测距仪测得各坐标点的距离数据，进行拟合可以得到大幅面真空吸盘x轴方向在y轴不同位置时的平面度。

第二距离数据测量过程包括：以所述大幅面真空吸盘的起始位置坐标点为原点，保持所述精密定位运动平台x轴在各坐标点不变，全程移动所述精密定位运动平台y轴，在移动路径过程中利用所述测距仪测得各个坐标点的距离数据作为第二距离数据。

具体包括如下步骤：

（b1）移动精密定位运动平台的x轴和y轴，回到初始位置点（x1，y1）。

（b2）移动精密定位运动平台的y轴，让精密定位运动平台移动距离b，记录此时测距仪的读数为h12，记录此时精密定位运动平台的坐标为（x1，y2）即对应大幅面真空吸盘所处坐标。

（b3）保持x轴在x1处保持不变，全行程移动y轴，移动距离为b或b的整数倍后，分别采集在x轴坐标为x1时，测距仪的读数为（h11，h12，....，h1n），并记录y轴在不同位置时的平台坐标（x1，y1）、（x1，y2）、......、（x1，yn）。

（b4）移动x轴，移动距离为a或a的整数倍v，x轴在坐标x1+a处或x1+va处不变，重复执行上述步骤（b2）-（b3），并记录在y轴不同位置时的平台坐标；利用测距仪测得各坐标点的距离数据，进行拟合可以得到大幅面真空吸盘y轴方向在x轴不同位置时的平面度，如图6所示。

优选地，上述步骤s4：利用加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值，具体包括如下步骤s41至s43：

s41、移动所述精密定位运动平台，使所述测距仪到达所述大幅面真空吸盘的平面度最高点。

该平面度最高的点即为所述待加工点中平面度最高的点，在最高点被打磨后，剩下的待加工点中的平面度最高点作为当前打磨最高点。

s42、将所述加工系统对准所述最高点，移动所述精密定位运动平台z轴以利用加工系统磨削该最高点的厚度值至基准点的平面度值；

s43、判断是否遍历所有待加工点，若否则执行步骤s44，若是则执行步骤s45；

s44、执行步骤s41~s42，对大幅面真空吸盘下一个平面度最高点进行打磨；

s45、加工结束。

优选地，在所述利用加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值之后，还包括：

将所述大幅面真空吸盘空气冷却设定时间，利用测距仪测得加工后所述大幅面真空吸盘各坐标点距离数据作为第三距离数据；

利用所述第三距离数据拟合出加工后所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线；

利用加工后所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线，判断加工后所述大幅面真空吸盘平面度是否达到设定目标值。

具体地，将加工后所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线中记录的平面度最大值和平面度最小值之差，若差值在设定的范围之内，则确定加工成功，若不在设定的范围内，则进行再次加工。

需要说明的是，本实施例中将大幅面真空吸盘前完全打磨完成后，空气冷却24小时，消除热变形影响后再利用测距仪复测真空吸盘的平面度是否达到目标值，提高了真空吸盘平面度加工的准确性。若复测结果未达到目标值，则对真空吸盘平面度进行再次加工，保证真空吸盘平面度加工的精度。

优选地，本实施例中加工系统包括吸尘管、磨削液输入管和磨削砂轮；移动所述精密定位运动平台z轴以利用加工系统磨削该最高点的厚度值至基准点的平面度值，包括：

利用所述磨削砂轮对所述大幅面真空吸盘最高点进行打磨；

利用所述吸尘管将打磨产生的碎屑吸走；

利用所述磨削液输入管将磨削液输送至所述磨削砂轮。

其中，利用吸尘管将加工的碎屑吸走，不仅保持加工环境的整洁，而且防止碎屑刮花加工面，同时使用磨削液输送到砂轮上，冷却和润滑砂轮，降低热变形带来的误差，提高加工精度。

本发明的加工系统使用砂轮内冷却方式，可以降低磨削区的温度，改善加工质量和提高加工效率，有效地达到良好的冷却效果。同时除尘装置可以持续吸走磨削屑，防止刮花大幅面真空吸盘加工面，影响加工质量。本发明结合测量系统、加工系统和除尘装置，操作简单、安全可靠、效率更高，成本较低。

如图3、图5所示，本实施例公开了一种大幅面真空吸盘平面度加工系统，包括：控制设备10和精密定位运动平台20，精密定位运动平台20的底座上安装有待加工的大幅面真空吸盘50，精密定位运动平台上安装有测距仪30和加工系统40，精密定位运动平台20、测距仪30以及加工系统40均与控制设备10连接；

所述控制设备10包括驱动模块11、获取模块12、拟合模块13以及控制模块14，其中：

驱动模块11用于驱动精密定位运动平台移动，利用测距仪测得所述大幅面真空吸盘各坐标点距离数据；

获取模块12用于获取测距仪测得的距离数据；

拟合模块13用于对所述距离数据进行拟合，得到所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线；

控制模块14用于以所述二维平面度曲线中平面度最低的坐标点为基准点，平面度高于基准点平面的坐标点为待加工点，控制加工系统将待加工点的平面度值加工至基准点的平面度值。

其中，测距仪30和加工系统40安装在所述精密定位运动平台20的z轴23上，所述底座所在平面为x轴21和y轴22所组成的平面，通过记录底座在移动路径中的各个坐标，即可得到大幅面真空吸盘面的各个坐标。

优选地，需要说明的是，精密定位运动平台z轴分辨率亚微米级，定位精度高，将磨削工具砂轮移动到测距仪所需的位置。测距仪采用激光位移传感器，重复精度在10微米，测量范围宽。精密定位运动平台使用龙门结构，可以大行程移动，精确定位真空吸盘的整个位置，加工范围宽，适用于不同尺寸的真空吸盘。

加工系统40包括吸尘管41、磨削液输入管42和磨削砂轮43，所述磨削液输入管43用于将磨削液输送至磨削砂轮42，冷却和润滑砂轮，降低热变形带来的误差，提高加工精度。所述吸尘管41用于将磨削砂轮打磨吸盘所产生的碎屑吸走，不仅保持加工环境的整洁，而且防止碎屑刮花加工面。

优选地，进一步地，如图2，磨削加工系统40包括吸尘管41、磨削液输入管42和磨削砂轮43，磨削砂轮43布置在保护罩44内，磨削液输入管42的出液口布置在磨削砂轮43内部，吸尘管41吸尘口布置在磨削砂轮42下方。其中：磨削液输入管42位于磨削砂轮43中间，经固定件支撑，流经砂轮卡盘法兰48，最后流入开孔砂轮基体50。其中，利用吸尘管41将加工的碎屑吸走，不仅保持加工环境的整洁，而且防止碎屑刮花加工面，同时使用磨削液输入管42将磨削液输到砂轮上，冷却和润滑砂轮，降低热变形带来的误差，提高加工精度。

进一步地，吸尘管41包括上直角管411和下直角管412，上直角管411的管径大于下直角管412的管径，下直角管412插入上直角管411中，上直角管411的除尘管和下直角管412的吸尘管反向布置。其中：下直角管412的一直角边插入上直角管411的一直角边，上直角管411的另一直角边和下直角管412的另一直角边平行布置，且上直角管411的除尘管和下直角管412的吸尘管的管口布置方向相反。

进一步地，下直角管411的吸尘口布置在所述磨削砂轮42的碎屑出口处，下直角管411的吸尘口截面呈楔形。其中：下直角管411的吸尘口截面呈楔形，增大了吸尘口的面积，更容易将磨削砂轮打磨真空吸盘所产生的碎屑吸走。

进一步地，测距仪30为激光位移传感器，精密定位运动平台z轴23上安装第一紧固组件，第一紧固组件包括z轴连接板和螺钉，所述测距仪30本体上有螺钉沉头孔，z轴连接板上开设有螺纹孔，所述测距仪30通过螺钉、z轴连接板上的螺纹孔与测距仪本体上的螺钉沉头孔配合安装在z轴连接板上。

进一步地，精密定位运动平台z轴23上安装有第二紧固组件，第二紧固组件包括z轴连接板、支撑底座45、固定件支撑盘46和螺钉，z轴连接板上开设螺纹孔，支撑底座45开设有螺钉沉头孔，固定件支撑盘46开设螺钉沉头孔，加工系统40通过支撑底座45螺钉沉头孔、螺钉、z轴连接板上的螺纹孔与固定件支撑盘46的螺钉沉头孔配合安装在z轴连接板上。

进一步地，精密定位运动平台z轴23上安装有第三紧固组件，第三紧固组件包括z轴连接板、用于安装伺服电机的伺服电机安装座54、联轴器53、砂轮轴52和螺钉，z轴连接板上开设螺纹孔，伺服电机安装座54开设有螺钉孔和螺纹孔，伺服电机通过螺钉螺纹孔安装在伺服电机安装座54上，伺服电机通过联轴器53与所述磨削砂轮43的砂轮轴52连接，伺服电机安装座54通过螺钉、螺钉孔配合安装在z轴连接板上。

需要说明的是，本实施例中的第一紧固组件、第二紧固组件和第三紧固组件中的z轴连接板，均是同一结构件，为精密定位运动平台z轴23上自身所带，只需在板体上开设螺纹孔即可。

进一步地，磨削加工系统40还包括固定件支撑盘46、毛毡圈47、砂轮卡盘法兰48、锁紧螺母49、开孔砂轮基体50、砂轮卡盘基体51。其中：固定件支撑盘46固定在加工系统支撑底座上，固定件支撑盘45与毛毡圈47固定不动，砂轮卡盘法兰48与砂轮卡盘基体51一起随砂轮轴52旋转，联轴器53将砂轮轴42和伺服电机连接，并与伺服电机安装座54固定，驱动磨削砂轮43旋转。

本实施例的加工系统使用砂轮内冷却方式，可以降低磨削区的温度，改善加工质量和提高加工效率，有效地达到良好的冷却效果。同时吸尘管可以持续吸走磨削屑，防止刮花大幅面真空吸盘加工面，影响加工质量。本实施例结合测量系统、加工系统和除尘装置，操作简单、安全可靠、效率更高，成本较低。

优选地，驱动模块包括第一驱动单元和第二驱动单元；

第一驱动单元用于以所述大幅面真空吸盘的起始位置坐标点为原点，保持所述精密定位运动平台y轴在各坐标点不变，全程移动所述精密定位运动平台x轴，在移动路径过程中利用所述测距仪测得各个坐标点的距离数据作为第一距离数据；

第二驱动单元用于以所述大幅面真空吸盘的起始位置坐标点为原点，保持所述精密定位运动平台x轴在各坐标点不变，全程移动所述精密定位运动平台y轴，在移动路径过程种利用所述测距仪测得各个坐标点的距离数据作为第二距离数据。

进一步地，控制设备还用于在加工后的真空吸盘冷却设定时间后，利用测距仪对真空吸盘平面度进行复测，以判断加工后所述大幅面真空吸盘平面度是否达到设定目标值。具体包括：将加工后所述大幅面真空吸盘的二维平面度曲线中的平面度最大值与平面度最小值做差；判断差值是否在设定的目标值范围内；若是，则所述大幅面真空吸盘平面度加工结束。

进一步地，控制设备的输出端还连接有显示器，用于显示真空吸盘的二维平面度曲线，加工前的最大平面度和最小平面度差值，加工后的最大平面度和最小平面度差值等，以便用户可直观清楚观察到真空吸盘打磨结果。

以下以一大幅面真空吸盘平面度具体加工过程为例进行说明：

1）在精密定位运动平台上安装大幅面真空吸盘；

2）在精密定位运动平台z轴上安装激光位移传感器和加工系统；

3）移动精密定位运动平台x轴和y轴，以真空吸盘左下角某处为开始位置点，记录此时测距仪的读数为h11，记录此时平台坐标（x1,y1)；

4）移动精密定位运动平台x轴，使平台移动距离a，重复步骤3），记录此时测距仪的读数为h21，记录此时平台坐标（x2,y1)；

5)保持y轴在y1坐标不动，全行程移动x轴，移动距离为a或a的整数倍，重复上述步骤4），分别采集在y轴坐标y1时，记录测距仪的读数为（h11,h21,…hm1），并记录在x轴不同位置时的平台坐标（x1,y1)、（x2,y1)、…（xm,y1)；

6）移动y轴距离b或b的整数倍，重复步骤3）、步骤4）、步骤5）；

通过步骤3）至步骤6)可以采集测得大幅面真空吸盘不同y轴位置时x轴的平面度，通过测距仪采集的距离，可以拟合并计算出真空吸盘x轴方向在y轴不同位置时的平面度。

7）回到坐标（x1,y1），重复步骤3）；

8)移动精密定位运动平台的y轴，让平台移动距离b，重复步骤3），记录此时测距仪的读数为h12，记录此时平台坐标（x1,y2)；

9）保持x轴在x1坐标不动，全行程移动y轴，移动距离为b或b的整数倍，重复上述步骤8），分别采集在x轴坐标为x1时，记录测距仪的读数为（h11,h12,…h1n），并记录y轴在不同位置时的平台坐标（x1,y1)、（x1,y2)、…（x1,yn)；

10）移动x轴距离a或a的整数倍，重复步骤8）、步骤9）；

通过步骤7）至步骤9)可以采集测得大幅面真空吸盘不同x轴位置时y轴的平面度，通过测距仪采集的距离，可以拟合并计算出真空吸盘y轴方向在x轴不同位置时的平面度；

11）根据步骤3）至步骤10）测距仪所采集的距离数据，拟合并计算出整个xy平面内大幅度真空吸盘二维的平面度。

12）依据真空吸盘平面度曲线图，记录测距仪在真空吸盘最高点的读数为h1，记录测距仪在真空吸盘最低点的读数为h2，真空吸盘整个平面度最大差值为h=h2-h1。

13）移动精密定位运动平台x轴和y轴，并移动z轴，使测距仪到达真空吸盘最高点h1位置点，磨削工具砂轮对位，准备磨削。

14）移动精密定位运动平台z轴，使用砂轮磨削真空吸盘h的厚度，利用精密定位运动平台z轴自动聚焦功能和测距仪实时测量功能，磨削真空吸盘直至测距仪读数为h2为止。

15）移动精密定位运动平台x轴和y轴到下一个真空吸盘平面度最高点，重复上述步骤13）和步骤14），使用砂轮磨削真空吸盘相应的厚度。

16）在大幅面真空吸盘整板范围内，重复上述步骤13）至步骤15），直至使用砂轮磨削整个吸盘相应的厚度，再使用测距仪采集加工后的大幅面真空吸盘的平面度值。

将以上步骤3）至步骤16）测距仪所采集的数值和其对应的xy坐标做统计分析，可得到大幅面真空吸盘加工前和加工后的整板平面度。

17）待第一次加工完成后，将大幅面真空吸盘空气冷却24小时，重复步骤3）和5），借助精密定位运动平台和测距仪测出大幅面真空吸盘整板的平面度，并绘制成二维曲线，记录每一个坐标点对应的平面度值。

18）若第一次真空吸盘加工的平面度未达到目标值，重复步骤3）至步骤16），使用砂轮磨削大幅面真空吸盘整板相应的厚度，再使用测距仪采集加工后大幅面真空吸盘整板的平面度值。

将以上步骤17）至步骤18）测距仪所采集的数值和其对应的xy坐标做统计分析，可得到空气冷却24小时后的大幅面真空吸盘的平面度值或第二次加工后大幅面真空吸盘的平面度值。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。