一种加工硅片的工装的制作方法

[0001]
本发明涉及硅片打磨技术领域，具体为一种加工硅片的工装。


背景技术：

[0002]
地壳中含量约四分之一的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，微电子技术正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭，小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的。
[0003]
在硅片的加工过程中包括对硅片的打磨，而在对硅片进行打磨之前，需要先对硅片进行固定，在传统的设备中，固定硅片的装置通常是与硅片相适配的，这就意味着在对不同直径的硅片进行打磨时，需要更换相应大小的固定装置，这样的操作较为繁琐，大大降低了工作人员的工作效率。
[0004]
在打磨硅片的时候，往往是将硅片固定好之后用打磨盘对硅片的上下两面进行打磨，在打磨过程中，硅片上被打磨下来的碎屑会到处洒落，在传统的打磨装置中，因为缺乏收集碎屑的设计，四处洒落的碎屑如果没有被及时处理，不仅对环境会造成污染，同时，若是落在一些设备的内部，还有可能造成设备的损坏，影响生产效率。


技术实现要素：

[0005]
针对现有技术的不足，本发明提供了一种加工硅片的工装，具备固定不同直径硅片、方面收集碎屑的优点，解决了上述背景技术中提到的问题。
[0006]
本发明提供如下技术方案：一种加工硅片的工装，包括双杆液压缸，所述双杆液压缸的底端和顶端分别固定安装有下底座和上底座，所述下底座顶部的右侧固定安装有第一密封管，所述上底座底部的右侧固定安装有第二密封管，所述下底座的顶部固定安装有位于第一密封管内部的驱动电机，所述驱动电机的顶端固定连接有传动轴，所述传动轴的顶端固定焊接有固定板，所述固定板的顶部固定安装有打磨盘，所述双杆液压缸右侧的中部固定安装有连接杆，所述连接杆的右端固定安装有固定环，所述固定环的内腔活动安装有硅片。
[0007]
优选的，所述固定环内腔的前后两侧均活动套接有限位杆，所述限位杆贯穿固定环并延伸至固定环的外部，所述限位杆位于固定环内腔的一端固定连接有弧形板，所述限位杆的外表面活动套接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的前端与弧形板的背部固定连接，所述伸缩弹簧的后端与固定环的内腔固定连接。
[0008]
优选的，所述第一密封管环形壁的内腔为空心，并且空心容积的大小大于第二密封管体积的大小。
[0009]
优选的，所述第一密封管和第二密封管的左侧均开设有凹槽，且凹槽宽度的大小与连接杆宽度的大小相同。
[0010]
优选的，所述弧形板弧度的大小大于固定环弧度的大小。
[0011]
与现有技术对比，本发明具备以下有益效果：
[0012]
1、该加工硅片的工装，通过在固定环的内腔活动套接两根限位杆，限位杆位于固定环内腔的一端安装有弧形板，同时限位杆的外表面活动套接有位于弧形板和固定环内腔之间的伸缩弹簧，同时向外抽动限位杆，改变两个弧形板之间的距离，从而实现了对不同直径大小硅片的固定，向外拉动限位杆后，伸缩弹簧会给弧形板一个向固定环圆心方向的作用力，保证硅片能够稳定固定在固定环的内腔当中，使得打磨效果更加显着。
[0013]
2、该加工硅片的工装，通过在下底座的顶部安装第一密封管，在上底座的底部安装第二密封管，第一密封管环形壁的内腔为空心，并且空心容积的大小大于第二密封管体积的大小，由于第一密封管和第二密封管的左侧开设有凹槽，且凹槽的宽度与连接杆的宽度相同，在双杆液压缸的作用下，第二密封管的底部与第一密封管的顶部相互卡合，形成密封的空腔，从而使得硅片在打磨过程中产生的碎屑可以被第一密封管收集，避免了因碎屑到处洒落给打扫工作带来困难。
附图说明
[0014]
图1为本发明结构示意图；
[0015]
图2为本发明结构固定环的俯视图；
[0016]
图3为本发明结构第二密封管的仰视图；
[0017]
图4为本发明结构第一密封管的俯视图。
[0018]
图中：1、双杆液压缸；2、下底座；3、第一密封管；4、驱动电机；5、传动轴；6、固定板；7、打磨盘；8、连接杆；9、固定环；10、硅片；11、限位杆；12、弧形板；13、伸缩弹簧；14、上底座；15、第二密封管。
具体实施方式
[0019]
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0020]
请参阅图1-4，一种加工硅片的工装，包括双杆液压缸1，双杆液压缸1的底端和顶端分别固定安装有下底座2和上底座14，下底座2顶部的右侧固定安装有第一密封管3，上底座14底部的右侧固定安装有第二密封管15，下底座2的顶部固定安装有位于第一密封管3内部的驱动电机4，驱动电机4的顶端固定连接有传动轴5，传动轴5的顶端固定焊接有固定板6，固定板6的顶部固定安装有打磨盘7，打磨盘7长时间使用会被消耗，打磨效果降低，可以通过在固定板6上更换新的打磨盘7，从而达到更好的打磨效果，双杆液压缸1右侧的中部固定安装有连接杆8，连接杆8的右端固定安装有固定环9，固定环9的内腔活动安装有硅片10。
[0021]
其中，固定环9内腔的前后两侧均活动套接有限位杆11，限位杆11贯穿固定环9并延伸至固定环9的外部，限位杆11位于固定环9内腔的一端固定连接有弧形板12，限位杆11的外表面活动套接有伸缩弹簧13，伸缩弹簧13的前端与弧形板12的背部固定连接，伸缩弹簧13的后端与固定环9的内腔固定连接，向外抽动限位杆11，改变两个弧形板12之间的距
离，从而实现了对不同直径大小硅片10的固定，向外拉动限位杆11后，伸缩弹簧13会给弧形板12一个向固定环9圆心方向的作用力，保证硅片10能够稳定固定在固定环9的内腔当中。
[0022]
其中，第一密封管3环形壁的内腔为空心，并且空心容积的大小大于第二密封管15体积的大小，当第一密封管3和第二密封管15在双杆液压缸1的作用下相互靠近时，由于第一密封管3的环形壁有空腔，第二密封管15能够套接在第一密封管内。
[0023]
其中，第一密封管3和第二密封管15的左侧均开设有凹槽，且凹槽宽度的大小与连接杆8宽度的大小相同，在第一密封管3与第二密封管15相互靠近的过程中，第一密封管3和第二密封管15左侧的凹槽会与连接杆8卡合，从而保证了第二密封管15能够与第一密封管3顺利套接早一起，形成密闭的空间，防止碎屑四处洒落。
[0024]
其中，弧形板12弧度的大小大于固定环9弧度的大小，这样在需要对直径较大的硅片10进行固定时，两个弧形板12能够有效的将硅片10稳定固定。
[0025]
工作原理：向外拉动限位杆11，将硅片10放在两个弧形板12中间的位置，然后松开限位杆11，将硅片10固定，向外抽动限位杆11，改变两个弧形板12之间的距离，从而实现了对不同直径大小硅片10的固定，向外拉动限位杆11后，伸缩弹簧13会给弧形板12一个向固定环9圆心方向的作用力，保证硅片10能够稳定固定在固定环9的内腔当中，启动驱动电机4，双杆液压缸1的两端向中间收缩，随后打磨盘7对硅片10的两侧进行打磨，下底座2的顶部安装第一密封管3，在上底座14的底部安装第二密封管15，第一密封管3环形壁的内腔为空心，并且空心容积的大小大于第二密封管15体积的大小，由于第一密封管3和第二密封管15的左侧开设有凹槽，且凹槽的宽度与连接杆8的宽度相同，在双杆液压缸1的作用下，第二密封管15的底部与第一密封管3的顶部相互卡合，形成密封的空腔，从而使得硅片10在打磨过程中产生的碎屑可以被第一密封管3收集。
[0026]
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0027]
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。