技术总结
本发明公开了一种承载头，包括承载盘、柔性膜、环状压盘、保持环和至少一个柔性膜固定圈；所述柔性膜具有边缘皱壁和至少一个内皱壁，所述边缘皱壁及内皱壁被环状压盘夹紧至承载盘以形成可调压腔室；所述保持环耦接至所述承载盘下方并包围所述柔性膜固定圈；所述柔性膜固定圈卡合于所述边缘皱壁的外侧和/或内侧，以保持所述边缘皱壁；所述柔性膜固定圈和所述保持环中分别配置磁动部，使得柔性膜圆周边缘可受控下压。边缘可受控下压。边缘可受控下压。
技术研发人员：赵德文 刘远航 路新春
受保护的技术使用者：清华大学
技术研发日：2019.09.26
技术公布日：2021/3/25