技术总结
本发明提供一种多孔掺杂类金刚石薄膜制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底上镀一层催化剂薄膜；（2）在镀有催化剂薄膜的衬底表面沉积掺硼金刚石薄膜，在沉积过程中，通入气体包括碳源、氢气和掺杂气体，所述碳源为甲烷、二甲醚和乙醇，其中乙醇为气态，甲烷、二甲醚和乙醇的体积比为3‑6：0.8‑2：0.5‑1；沉积时间为0.5‑1h；（3）将所得掺硼金刚石薄膜在空气氛围中进行煅烧，煅烧温度为700‑800℃，最终得到厚度为3‑6μm的多孔掺杂类金刚石薄膜。本发明一种多孔掺杂类金刚石薄膜制备方法，通过在衬底上镀上一程催化剂薄膜，以及碳源由三种原料组成，将沉积时间缩短为0.5‑1h，便能得到厚度为3‑6μm的多孔掺杂类金刚石薄膜，大大提高了沉积速率，有利于工业应用。
技术研发人员：朱雨;包国文;袁梅;严肃静;范永娴
受保护的技术使用者：惠州市三航无人机技术研究院
技术研发日：2019.11.22
技术公布日：2020.02.07