一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头的制作方法

本发明属于半导体加工制造技术领域，尤其涉及一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头。

背景技术：

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

抛光压头的型号多样，但抛光压头不能调整加工精度，市场亟需一种可以调整加工精度的抛光压头，现有技术存在的问题是：目前市场上有各种各样的抛光压头，而大部分抛光压头都是一次装配成型不可调整的，这样就会在加工的时候增加很多的不确定性，加工效果不可调整，在进行加工的时候，都需要人直观的去观察监视，才能确定已加工的数据，延长该设备调整使用的时间。

技术实现要素：

针对现有技术存在的问题，本发明提供了一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，具备有效的提高加工的精度和效率的优点，解决了现有目前市场上有各种各样的抛光压头，而大部分抛光压头都是一次装配成型不可调整的，这样就会在加工的时候增加很多的不确定性，加工效果不可调整，在进行加工的时候，都需要人直观的去观察监视，才能确定已加工的数据的问题。

本发明是这样实现的，一种可调整式带无线传输的、寸抛光压头，包括保持架，所述保持架的顶部设置有真空压头，所述真空压头的顶部设置有真空压头固定板，保持架的顶部固定连接有导向柱，所述导向柱的顶部依次贯穿有中间隔板和滑动套连接板，所述滑动套连接板顶部的前侧和后侧均固定连接有支撑杆，所述滑动套连接板的顶部固定连接有陶瓷滑套组件，所述中间隔板的顶部固定连接有陶瓷滑杆座，所述陶瓷滑杆座的顶部依次贯穿滑动套连接板和陶瓷滑杆座并固定连接有压簧旋钮，所述压簧旋钮的顶部设置有上保持架，所述支撑杆的顶部穿过上保持架并延伸至上保持架的顶部。

作为本发明优选的，所述真空压头、真空压头固定板、中间隔板、陶瓷滑杆座和压簧旋钮均穿过中间隔板套设在导向柱的表面。

作为本发明优选的，所述陶瓷滑杆座的表面活动连接有压簧，所述压簧的顶部与压簧旋钮的底部固定连接，所述压簧的底部与陶瓷滑套组件的顶部固定连接。

作为本发明优选的，所述真空压头呈双层，所述中间隔板的顶部固定连接有与真空压头配合使用的锁紧型测微头。

作为本发明优选的，所述压簧旋钮的顶部设置有砝码，所述砝码的数量为多个，且砝码垂直叠加套设在陶瓷滑套组件的表面。

作为本发明优选的，所述滑动套连接板顶部的右侧活动连接有无线发射盒。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本发明通过设置保持架、真空压头、真空压头固定板、中间隔板、滑动套连接板、导向柱、锁紧型测微头、支撑杆、陶瓷滑杆座、压簧、陶瓷滑套组件、压簧旋钮、上保持架、砝码和无线发射盒的配合使用，解决了现有目前市场上有各种各样的抛光压头，而大部分抛光压头都是一次装配成型不可调整的，这样就会在加工的时候增加很多的不确定性，加工效果不可调整，在进行加工的时候，都需要人直观的去观察监视，才能确定已加工的数据的问题，该可调整式带无线传输的、寸抛光压头，具备有效的提高加工的精度和效率的优点，值得推广。

2、本发明通过设置压簧旋钮，可以调节真空压头与保持架之间的距离，避免了真空压头与保持架之间的距离不能调节导致加工精度降低的问题。

3、本发明通过设置压簧，可以有效对压簧旋钮进行缓冲，提高了设备在使用过程中安全性和稳定性，通过调节压簧旋钮，可以调节真空压头与保持架的高度，在工件加工过程中可以通过观察千分表，确定已加工厚度。

4、本发明通过设置锁紧型测微头，可以调节真空压头与保持架的平行度，保证了再加工中，可以对工件的加工精度和厚度进行调整。

5、本发明通过设置砝码，通过增加不同数量的砝码，可以给被加工件增加加工压力，提高了对工件加工时加工压力的调节。

6、本发明通过设置无线发射盒，可有效的将千分表中的数据通过无线传输的方式反馈到，接收端控制器上，方便控制加工时间，有效的提高了加工效率，增加了带配重装置的无线发射盒，可以实时将加工中工件厚度变化传输到接收端分析仪上,无线发射盒采用高分子材料制作，轻便小巧，空间容量大，可以安放大容量电池，确保无线传输装置工作时间长，由于在加工过程中，真空抛光压头是一直旋转运动的，用导线连接到真空抛光压头上采集数据进行加工控制不现实，所以在原有的抛光压头上增加了无线接收装置，将千分表与无线发生器连接在一起，可有效的将千分表中的数据通过无线传输的方式反馈到，接收端控制器上，方便控制加工时间，有效的提高了加工效率。

附图说明

图1是本发明实施例提供的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的左视立体图；

图3是本发明实施例提供的主视图；

图4是本发明实施例提供滑动套连接板与无线发射盒的连接示意图。

图中：1、保持架、2、真空压头、3、真空压头固定板、4、中间隔板、5、滑动套连接板、6、导向柱、7、锁紧型测微头、8、支撑杆、9、陶瓷滑杆座、10、压簧、11、陶瓷滑套组件、12、压簧旋钮、13、上保持架、14、砝码、15、无线发射盒。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合附图对本发明的结构作详细的描述。

如图1至图4所示，本发明实施例提供的一种可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，包括保持架1，保持架1的顶部设置有真空压头2，真空压头2的顶部设置有真空压头固定板3，保持架1的顶部固定连接有导向柱6，导向柱6的顶部依次贯穿有中间隔板4和滑动套连接板5，滑动套连接板5顶部的前侧和后侧均固定连接有支撑杆8，滑动套连接板5的顶部固定连接有陶瓷滑套组件11，中间隔板4的顶部固定连接有陶瓷滑杆座9，陶瓷滑杆座9的顶部依次贯穿滑动套连接板5和陶瓷滑杆座9并固定连接有压簧旋钮12，压簧旋钮12的顶部设置有上保持架13，支撑杆8的顶部穿过上保持架13并延伸至上保持架13的顶部。

参考图1、图2、图3和图4，真空压头2、真空压头固定板3、中间隔板4、陶瓷滑杆座9和压簧旋钮12均穿过中间隔板4套设在导向柱6的表面。

采用上述方案：通过设置压簧旋钮12，可以调节真空压头2与保持架1之间的距离，避免了真空压头2与保持架1之间的距离不能调节导致加工精度降低的问题。

参考图3和图4，陶瓷滑杆座9的表面活动连接有压簧10，压簧10的顶部与压簧旋钮12的底部固定连接，压簧10的底部与陶瓷滑套组件11的顶部固定连接。

采用上述方案：通过设置压簧10，可以有效对压簧旋钮12进行缓冲，提高了设备在使用过程中安全性和稳定性，通过调节压簧旋钮12，可以调节真空压头2与保持架1的高度，在工件加工过程中可以通过观察千分表，确定已加工厚度。

参考图1、图3和图4，真空压头2呈双层，中间隔板4的顶部固定连接有与真空压头2配合使用的锁紧型测微头7。

采用上述方案：通过设置锁紧型测微头7，可以调节真空压头2与保持架1的平行度，保证了再加工中，可以对工件的加工精度和厚度进行调整。

参考图3和图4，压簧旋钮12的顶部设置有砝码14，砝码14的数量为多个，且砝码14垂直叠加套设在陶瓷滑套组件11的表面。

采用上述方案：通过设置砝码14，通过增加不同数量的砝码14，可以给被加工件增加加工压力，提高了对工件加工时加工压力的调节。

参考图1和图4，滑动套连接板5顶部的右侧活动连接有无线发射盒15。

采用上述方案：通过设置无线发射盒15，可有效的将千分表中的数据通过无线传输的方式反馈到，接收端控制器上，方便控制加工时间，有效的提高了加工效率，增加了带配重装置的无线发射盒15，可以实时将加工中工件厚度变化传输到接收端分析仪上,无线发射盒15采用高分子材料制作，轻便小巧，空间容量大，可以安放大容量电池，确保无线传输装置工作时间长，由于在加工过程中，真空抛光压头是一直旋转运动的，用导线连接到真空抛光压头上采集数据进行加工控制不现实，所以在原有的抛光压头上增加了无线接收装置，将千分表与无线发生器连接在一起，可有效的将千分表中的数据通过无线传输的方式反馈到，接收端控制器上，方便控制加工时间，有效的提高了加工效率。

本发明的工作原理：

在使用时，通过调节压簧旋钮12，可以调节真空压头2与保持架1之间的距离，在工件加工过程中可以通过观察千分表，确定已加工厚度，可调整式抛光压头，将真空压头2设计成双层，可调整真空压头2与保持架1的平行度，可明显减小工件在研磨时候的误差，可调整式抛光压头可分为真空压头2组件与保持架1组件，在z轴方向采用滑动式连接，两组件见安装有压簧10，通过调节压簧旋钮12，可以调节真空压头2与保持架1的高度，通过增加砝码14给被加工件增架加工压力。

综上所述：该可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，通过设置保持架1、真空压头2、真空压头固定板3、中间隔板4、滑动套连接板5、导向柱6、锁紧型测微头7、支撑杆8、陶瓷滑杆座9、压簧10、陶瓷滑套组件11、压簧旋钮12、上保持架13、砝码14和无线发射盒15的配合使用，解决了现有目前市场上有各种各样的抛光压头，而大部分抛光压头都是一次装配成型不可调整的，这样就会在加工的时候增加很多的不确定性，加工效果不可调整，在进行加工的时候，都需要人直观的去观察监视，才能确定已加工的数据的问题，该可调整式带无线传输的4、6寸抛光压头，具备有效的提高加工的精度和效率的优点，值得推广。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。