电弧等离子体炬用引燃气体分配环的制作方法

文档序号:23292024发布日期:2020-12-15 08:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,具有上环体(100)、中环体(200)和下环体(300);所述上环体(100)的上表面呈具有凹凸结构的异形面(102),能够与绝缘套(6)的下端面匹配,所述下环体(300)的下表面具有与其外部阳极匹配压紧的圆锥面(302);所述中环体(200)上绕轴均匀开设有若干切向孔(201),所述切向孔(201)将流经分配环环体之外的气流导入分配环环体之内流出。

2.根据权利要求1所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述气体分配环为分体设计或一体成型设计,材质为绝缘胶木或者玻璃丝布板。

3.根据权利要求1所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述上环体(100)具有最小内径的内壁(101)能够与套装于其内部的电极间隙配合,所述下环体(300)具有最大外径的外壁(301)能够与套装于其外部的电极间隙配合。

4.根据权利要求1所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述异形面(102)的形态包括梯形面或者凹槽面。

5.根据权利要求1所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述切向孔(201)的开孔方向与该孔在所在圆上对应的半径方向呈70°-90°夹角;

所述切向孔(201)的数量为3-24个;

所述切向孔的直径为0.5-8.0mm。

6.根据权利要求5所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述切向孔(201)的开孔方向与该孔在所在圆上对应的半径方向呈90°夹角。

7.根据权利要求1所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述切向孔(201)是直孔,或者切向孔(201)的孔径沿气流方向由大变小。

8.根据权利要求1所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述切向孔(201)的孔道设置于同一水平面上,或者,

所述切向孔(201)的孔道轴线与分配环环体轴线呈一定的夹角。

9.根据权利要求8所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述切向孔(201)的孔道轴线与分配环环体轴线呈50°-90°的夹角。

10.根据权利要求1所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述分配环环体之外具有与切向孔(201)连通的进气导流道(8),所述进气导流道(8)呈环形;所述进气导流道(8)由上环体(100)和中环体(200)的外壁与第一阳极(7)的侧壁共同围合而成,或者,由上环体(100)和中环体(200)的外壁与下环体(300)向上延伸的部分凸起结构(303)共同围合而成。

11.根据权利要求1所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述分配环环体之内具有与切向孔(201)连通的出气导流道(9),所述出气导流道(9)呈环形;所述出气导流道(9)由阴极(5)和下环体(300)的内壁共同围合而成,下环体(300)的内壁结构为曲面、斜面、或者凹凸面。

12.根据权利要求11所述的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,其特征在于,所述下环体(300)的内壁结构为圆柱面。


技术总结
本实用新型的电弧等离子体炬用引燃气体分配环,具有上环体、中环体和下环体;所述上环体的上表面呈具有凹凸结构的异形面,能够与绝缘套的下端面匹配,所述下环体的下表面具有与其外部阳极匹配压紧的圆锥面;所述中环体上绕轴均匀开设有若干切向孔,所述切向孔将流经分配环环体之外的气流导入分配环环体之内流出。本实用新型独立于绝缘套并单独固定于绝缘套底部,能够为气体提供平稳的出气分配结构,形成长期稳定的旋转气流,提高了电弧和电压的稳定性,尤其适用于金刚石材料的沉积制备。

技术研发人员:杨卫正
受保护的技术使用者:杨卫正
技术研发日:2020.03.05
技术公布日:2020.12.15
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