一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构。


背景技术：

2.真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
3.在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括蒸镀源以及设置在蒸镀源上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，并且在蒸镀的过程中，为了镀膜的均匀性，一般伞状治具会进行，即伞状治具会真空蒸镀机的为伞架治具提供驱动力的部件连接，镀膜完成后伞状治具取出。但是，在现有技术中，要么为了伞状治具旋转时的牢固性，采用复杂的连接结构将伞架治具与提供驱动力的部件连接，那么伞状治具取出时不易取出；要么为了方便伞状治具取出，那么伞状治具旋转时存在安全隐患。
4.有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，结构简单、方便取出，并且实现双保险连接、安全性高。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，结构简单、方便取出，并且实现双保险连接、安全性高。
6.一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，真空蒸镀机的伞架治具1通过所述双保险连接结构2与真空蒸镀机的为伞架治具1提供驱动力的部件连接，伞架治具1包括伞架基架11和连接杆12，所述连接杆12固定在伞架基架11的中心的顶端，连接杆12包括固定部121和杆体部122，连接杆12通过固定部121与伞架基架11固定，杆体部122的上部具有凹槽123和水平通孔124，水平通孔124位于凹槽123的上方，所述双保险连接结构2包括：卡件21和保险销22，杆体部122穿过为伞架治具1提供驱动力的部件，将卡件21卡入杆体部122的凹槽123内，保险销22插入杆体部122的水平通孔124内，将伞架治具1与真空蒸镀机的为伞架治具1提供驱动力的部件进行双保险连接。
7.在一些实施方式中，伞架基架11包括通孔111，通孔111有多个，通孔111均匀分布在伞架基架11上。
8.在一些实施方式中，伞架治具1还包括：托盘13、压盖14、和压条15，托盘13为中空的薄片，将被镀膜工件放置在托盘13上，压盖14盖在被镀膜工件上，压条15压住压盖14，使得托盘13、被镀膜工件及压盖14与伞架基架11固定。
9.进一步的，托盘13的外直径大于等于通孔111的直径，托盘13的内直径小于被镀膜工件的直径，被镀膜工件的直径大于托盘13的内直径、并且小于等于托盘13的外直径，压盖
14压住被镀膜工件。
10.进一步的，托盘13与伞架基架11固定、或者分离、或者托盘13为伞架基架11的一部分。
11.进一步的，通孔111、托盘13、压盖14的形状与被镀膜工件的形状相对应。
12.进一步的，通孔111的形状为圆形、正方形、长方形、椭圆形中的一种，相对应的，托盘13的形状为中空的圆形薄片、中空的正方形薄片、中空的长方形薄片、中空的椭圆形薄片中的一种，压盖14的形状为圆形、正方形、长方形、椭圆形中的一种。
13.进一步的，一个压盖14设置有一个或者多个压条15，压条15的一端通过第一螺丝16与伞架基架11连接，压条15能够以第一螺丝16为中心进行旋转，压条15第一螺丝16固定的这端的水平面高于压条15的另一端，因此压条15的另一端放在压盖14上时，能够对压盖14产生压力，使得托盘13、被镀膜工件及压盖14与伞架基架11固定。
14.进一步的，连接杆12的固定部121通过第二螺丝17与伞架基架11固定。
15.进一步的，压盖14包括气孔141，气孔141用于被镀膜工件镀膜的时候，将被镀膜工件与压盖14之间的气体排出，气孔141有一个或者多个，优选的，气孔141的数量为1
‑
3个。
16.进一步的，气孔141的直径为2
‑
3mm，气孔141形状为圆形、正方形、长方形、椭圆形中的一种。
17.在一些实施方式中，凹槽123与杆体部122的顶端的距离为0.5
‑
2.5cm，凹槽123与水平通孔124之间的距离为0.2
‑
1cm。
18.在一些实施方式中，卡件21为金属薄片，卡件21包括第一卡片部211、第二卡片部212和连接部213，通过连接部213将第一卡片部211和第二卡片部212连接固定，卡件21还包括：长条镂空214、圆弧镂空215和梯形镂空216，长条镂空214、圆弧镂空215与梯形镂空216相通，长条镂空214的一端与连接部213连接、另一端与圆弧镂空215相通，因此第一卡片部211与第二卡片部212之间具有弹性，在外力作用下能够将卡件21的圆弧镂空215与连接杆12的凹槽123卡合，使得卡件21与连接杆12固定，为所述双保险连接结构2的第一道保险。
19.在一些实施方式中，保险销22为金属件，保险销22竖着插入连接杆12的水平通孔124中，将保险销22水平，使得保险销22与连接杆12固定。
20.进一步的，保险销22包括直形部221和波形部222，直形部221插入水平通孔124中，波形部222的中部为半圆弧状，将波形部222水平，波形部222正好卡住连接杆12，将保险销22与连接杆12固定，为所述双保险连接结构2的第二道保险。
附图说明
21.图1为本实用新型实施例1的伞架治具及双保险连接结构的立体图。
22.图2为本实用新型的连接杆和双保险连接结构的立体图。
23.图3为本实用新型的连接杆的立体图。
24.图4为本实用新型的卡件的立体图。
25.图5位本实用新型保险销的立体图。
26.主要元件符号说明：
27.伞架治具1、双保险连接结构2、伞架基架11、连接杆12、托盘13、压盖14、压条15、第一螺丝16、第二螺丝17、通孔111、气孔141、固定部121、杆体部122、凹槽123、水平通孔124、
卡件21、保险销22、第一卡片部211、第二卡片部212、连接部213、长条镂空214、圆弧镂空215、梯形镂空216、直形部221和波形部222。
具体实施方式
28.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
29.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
30.同时，附图内的组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
31.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
32.实施例1：
33.一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，如图1
‑
图5所示，真空蒸镀机的伞架治具1通过所述双保险连接结构2与真空蒸镀机的为伞架治具1提供驱动力的部件连接，伞架治具1包括伞架基架11和连接杆12，所述连接杆12固定在伞架基架11的中心的顶端，连接杆12包括固定部121和杆体部122，连接杆12通过固定部121与伞架基架11固定，杆体部122的上部具有凹槽123和水平通孔124，水平通孔124位于凹槽123的上方，所述双保险连接结构2包括：卡件21和保险销22，杆体部122穿过为伞架治具1提供驱动力的部件，将卡件21卡入杆体部122的凹槽123内，保险销22插入杆体部122的水平通孔124内，将伞架治具1与真空蒸镀机的为伞架治具1提供驱动力的部件进行双保险连接。
34.伞架基架11包括通孔111，通孔111有多个，通孔111均匀分布在伞架基架11上。伞架治具1还包括：托盘13、压盖14、和压条15，托盘13为中空的薄片，将被镀膜工件放置在托盘13上，压盖14盖在被镀膜工件上，压条15压住压盖14，使得托盘13、被镀膜工件及压盖14与伞架基架11固定。
35.托盘13的外直径大于等于通孔111的直径，托盘13的内直径小于被镀膜工件的直径，被镀膜工件的直径大于托盘13的内直径、并且小于等于托盘13的外直径，压盖14压住被镀膜工件，托盘13与伞架基架11分离。通孔111、托盘13、压盖14的形状与被镀膜工件的形状相对应。通孔111的形状为圆形，托盘13的形状为中空的圆形薄片，压盖14的形状为圆形。一个压盖14设置有3个压条15，压条15的一端通过第一螺丝16与伞架基架11连接，压条15能够
以第一螺丝16为中心进行旋转，压条15第一螺丝16固定的这端的水平面高于压条15的另一端，因此压条15的另一端放在压盖14上时，能够对压盖14产生压力，使得托盘13、被镀膜工件及压盖14与伞架基架11固定。连接杆12的固定部121通过第二螺丝17与伞架基架11固定。压盖14包括气孔141，气孔141用于被镀膜工件镀膜的时候，将被镀膜工件与压盖14之间的气体排出，气孔141有一个。气孔141的直径为2mm，气孔141形状为圆形。
36.凹槽123与杆体部122的顶端的距离为1.0cm，凹槽123与水平通孔124之间的距离为0.5cm。卡件21为金属薄片，卡件21包括第一卡片部211、第二卡片部212和连接部213，通过连接部213将第一卡片部211和第二卡片部212连接固定，卡件21还包括：长条镂空214、圆弧镂空215和梯形镂空216，长条镂空214、圆弧镂空215与梯形镂空216相通，长条镂空214的一端与连接部213连接、另一端与圆弧镂空215相通，因此第一卡片部211与第二卡片部212之间具有弹性，在外力作用下能够将卡件21的圆弧镂空215与连接杆12的凹槽123卡合，使得卡件21与连接杆12固定，为所述双保险连接结构2的第一道保险。保险销22为金属件，保险销22竖着插入连接杆12的水平通孔124中，将保险销22水平，使得保险销22与连接杆12固定。进一步的，保险销22包括直形部221和波形部222，直形部221插入水平通孔124中，波形部222的中部为半圆弧状，将波形部222水平，波形部222正好卡住连接杆12，将保险销22与连接杆12固定，为所述双保险连接结构2的第二道保险。
37.尽管本技术已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本技术公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本技术，本技术的实际保护范围以权利要求为准。