1.一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置,包括支撑架(1),其特征在于:所述支撑架(1)的内部固定连接有安装架(2),所述安装架(2)的内部开设有水槽(3),所述水槽(3)的内部转动连接有扇叶(4),所述扇叶(4)的下端固定连接有线圈(5),所述水槽(3)靠近线圈(5)的侧壁固定连接有永磁体(6),所述水槽(3)的下端固定连接有弹性腔(7),所述弹性腔(7)的内部固定连接有磁块(8),所述弹性腔(7)的内部转动连接有活动连杆(9),所述活动连杆(9)远离弹性腔(7)的一端转动连接有挡板(10),所述弹性腔(7)的侧面固定连接有软管(11),所述软管(11)远离弹性腔(7)的一端固定连接有支撑杆(12),所述支撑杆(12)的侧面固定连接有弹簧气囊(13),所述弹簧气囊(13)的内部固定连接有复位弹簧(14),所述支撑杆(12)的内部固定连接有电磁杆(15),所述弹簧气囊(13)的内部固定连接有滑槽(16),所述滑槽(16)的内部滑动连接有活动腔(17),所述滑槽(16)的内部固定连接有推杆(18),所述推杆(18)的端部固定连接有金属触头(19),所述活动腔(17)内部的侧壁固定连接有电阻条(20),所述活动腔(17)端部的内部固定连接有磁铁(21),所述弹性腔(7)的下端固定连接有水腔(22),所述水腔(22)的内部滑动连接有滑板(23),所述水腔(22)靠近滑板(23)的侧面固定连接有压力开关(24),所述水腔(22)的侧壁固定连接有脉冲喷头(25)。
2.根据权利要求1所述的一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置,其特征在于:所述安装架(2)的底部固定连接有打磨块,打磨块的内部开设有通孔,通孔的内部固定连接有脉冲喷头(25)。
3.根据权利要求1所述的一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置,其特征在于:所述磁块(8)有两个,分别固定连接在弹性腔(7)内部的两端,且磁块(8)位于同一水平面上,磁块(8)的相近端为同名磁极。
4.根据权利要求1所述的一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置,其特征在于:所述永磁体(6)环绕在水槽(3)的内部,所述线圈(5)位于永磁体(6)的中间,线圈(5)通过电线与内部电路连接。
5.根据权利要求1所述的一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置,其特征在于:所述支撑杆(12)的一端转动连接在支撑架(1)的下表面,另一端转动连接在安装架(2)的上表面,所述弹簧气囊(13)与软管(11)连通。
6.根据权利要求1所述的一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置,其特征在于:所述金属触头(19)与内部电路连接,金属触头(19)滑动连接在电阻条(20)的表面,所述电阻条(20)通过电线与电磁杆(15)连接。
7.根据权利要求1所述的一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置,其特征在于:所述电磁杆(15)与磁铁(21)位于同一竖线上,且电磁杆(15)与磁铁(21)的相近端为同名磁极,所述压力开关(24)通过电线与脉冲喷头(25)连接。