一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置的制作方法

本发明涉及芯片加工技术领域，具体为一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置。

背景技术：

在芯片加工的过程中，通过对晶圆的表面进行镀铜，再将多余的铜进行清洗磨削，实现将电路连通的效果，现在的晶圆磨削装置在磨削的过程中会遇到磨盘两侧高度不一致情况，导致晶圆表面一侧被过度磨削，另一侧磨削不足的情况，且在磨削时需要另外加装冷却装置，增加设备的制造成本，且冷却的效果比较差。

为解决上述问题，发明者提供了一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，通过支撑杆的内部固定连接有滑槽，滑槽的内部滑动连接有活动腔，使得一侧被按压时，电磁杆与磁铁相互排斥，滑槽与活动腔相互滑动，使得支撑杆能够被支撑起来，且弹性腔与弹簧气囊相互连通，弹簧气囊的内部充满液体，从而达到了能够在一侧发生倾斜时给与支撑，使磨盘水平，防止打磨时不光滑的效果。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，具备能够在一侧发生倾斜时给与支撑，使磨盘水平，防止打磨时不光滑，且能够在晶圆加工的过程中对晶圆的表面进行冷却和清洗，实现一体化，减少成本，防止加工表面温度过高造成晶圆的其他部位损坏的优点，解决了晶圆磨削装置在磨削的过程中会遇到磨盘两侧高度不一致情况，导致晶圆表面一侧被过度磨削，另一侧磨削不足的情况，且在磨削时需要另外加装冷却装置，增加设备的制造成本，且冷却的效果比较差的问题。

(二)技术方案

为实现上述能够在一侧发生倾斜时给与支撑，使磨盘水平，防止打磨时不光滑，且能够在晶圆加工的过程中对晶圆的表面进行冷却和清洗，实现一体化，减少成本，防止加工表面温度过高造成晶圆的其他部位损坏的目的，本发明提供如下技术方案：一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，包括支撑架，所述支撑架的内部固定连接有安装架，所述安装架的内部开设有水槽，所述水槽的内部转动连接有扇叶，所述扇叶的下端固定连接有线圈，所述水槽靠近线圈的侧壁固定连接有永磁体，所述水槽的下端固定连接有弹性腔，所述弹性腔的内部固定连接有磁块，所述弹性腔的内部转动连接有活动连杆，所述活动连杆远离弹性腔的一端转动连接有挡板，所述弹性腔的侧面固定连接有软管，所述软管远离弹性腔的一端固定连接有支撑杆，所述支撑杆的侧面固定连接有弹簧气囊，所述弹簧气囊的内部固定连接有复位弹簧，所述支撑杆的内部固定连接有电磁杆，所述弹簧气囊的内部固定连接有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有活动腔，所述滑槽的内部固定连接有推杆，所述推杆的端部固定连接有金属触头，所述活动腔内部的侧壁固定连接有电阻条，所述活动腔端部的内部固定连接有磁铁，所述弹性腔的下端固定连接有水腔，所述水腔的内部滑动连接有滑板，所述水腔靠近滑板的侧面固定连接有压力开关，所述水腔的侧壁固定连接有脉冲喷头。

优选的，所述安装架的底部固定连接有打磨块，打磨块的内部开设有通孔，通孔的内部固定连接有脉冲喷头，脉冲喷头喷出的冷却液能够通过通孔流在晶圆的表面。

优选的，所述磁块有两个，分别固定连接在弹性腔内部的两端，且磁块位于同一水平面上，磁块的相近端为同名磁极，磁块能够使得弹性腔处于收缩的状态，使得挡板关闭状态。

优选的，所述永磁体环绕在水槽的内部，所述线圈位于永磁体的中间，线圈通过电线与内部电路连接，使得内部电路能够得电。

优选的，所述支撑杆的一端转动连接在支撑架的下表面，另一端转动连接在安装架的上表面，所述弹簧气囊与软管连通。

优选的，所述金属触头与内部电路连接，金属触头滑动连接在电阻条的表面，所述电阻条通过电线与电磁杆连接。

优选的，所述电磁杆与磁铁位于同一竖线上，且电磁杆与磁铁的相近端为同名磁极，所述压力开关通过电线与脉冲喷头连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，具备以下有益效果：

1、该避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，通过支撑杆的内部固定连接有滑槽，滑槽的内部滑动连接有活动腔，使得一侧被按压时，电磁杆与磁铁相互排斥，滑槽与活动腔相互滑动，使得支撑杆能够被支撑起来，且弹性腔与弹簧气囊相互连通，弹簧气囊的内部充满液体，从而达到了能够在一侧发生倾斜时给与支撑，使磨盘水平，防止打磨时不光滑的效果。

2、该避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，通过弹性腔间断输水进入水腔的内部，水腔内部的滑板能够间断的按压压力开关，压力开关与脉冲喷头连接，使得脉冲喷头开始工作对晶圆表面进行清洗和降温，从而达到了能够在晶圆加工的过程中对晶圆的表面进行冷却和清洗，实现一体化，减少成本，防止加工表面温度过高造成晶圆的其他部位损坏的效果。

附图说明

图1为本发明打磨装置的正面剖视结构示意图；

图2为本发明支撑杆的正面剖视结构示意图；

图3为本发明图2的a处放大结构示意图；

图4为本发明水槽内部的正面剖视结构示意图；

图5为本发明弹性腔的正面剖视结构示意图。

图中：1、支撑架；2、安装架；3、水槽；4、扇叶；5、线圈；6、永磁体；7、弹性腔；8、磁块；9、活动连杆；10、挡板；11、软管；12、支撑杆；13、弹簧气囊；14、复位弹簧；15、电磁杆；16、滑槽；17、活动腔；18、推杆；19、金属触头；20、电阻条；21、磁铁；22、水腔；23、滑板；24、压力开关；25、脉冲喷头。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-5，一种避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，包括支撑架1，支撑架1的内部固定连接有安装架2，安装架2的底部固定连接有打磨块，打磨块的内部开设有通孔，通孔的内部固定连接有脉冲喷头25，脉冲喷头25喷出的冷却液能够通过通孔流在晶圆的表面，安装架2的内部开设有水槽3，水槽3的内部转动连接有扇叶4，扇叶4的下端固定连接有线圈5，水槽3靠近线圈5的侧壁固定连接有永磁体6，永磁体6环绕在水槽3的内部，线圈5位于永磁体6的中间，线圈5通过电线与内部电路连接，使得内部电路能够得电，水槽3的下端固定连接有弹性腔7，弹性腔7的内部固定连接有磁块8，磁块8有两个，分别固定连接在弹性腔7内部的两端，且磁块8位于同一水平面上，磁块8的相近端为同名磁极，磁块8能够使得弹性腔7处于收缩的状态，使得挡板10关闭状态，弹性腔7的内部转动连接有活动连杆9，活动连杆9远离弹性腔7的一端转动连接有挡板10，弹性腔7的侧面固定连接有软管11，软管11远离弹性腔7的一端固定连接有支撑杆12，支撑杆12的一端转动连接在支撑架1的下表面，另一端转动连接在安装架2的上表面，弹簧气囊13与软管11连通。

支撑杆12的侧面固定连接有弹簧气囊13，弹簧气囊13的内部固定连接有复位弹簧14，支撑杆12的内部固定连接有电磁杆15，电磁杆15与磁铁21位于同一竖线上，且电磁杆15与磁铁21的相近端为同名磁极，弹簧气囊13的内部固定连接有滑槽16，滑槽16的内部滑动连接有活动腔17，滑槽16的内部固定连接有推杆18，推杆18的端部固定连接有金属触头19，金属触头19与内部电路连接，金属触头19滑动连接在电阻条20的表面，电阻条20通过电线与电磁杆15连接，活动腔17内部的侧壁固定连接有电阻条20，活动腔17端部的内部固定连接有磁铁21，弹性腔7的下端固定连接有水腔22，水腔22的内部滑动连接有滑板23，水腔22靠近滑板23的侧面固定连接有压力开关24，压力开关24通过电线与脉冲喷头25连接，水腔22的侧壁固定连接有脉冲喷头25。

工作原理：当冷却液流入水槽3时，水槽3内部的扇叶4开始转动，扇叶4带动线圈5转动，线圈5的两侧活动连接有永磁体6，使得线圈5能够切割永磁体6产生感应电流，线圈5与内部电路连接；支撑架1与安装架2之间转动连接有支撑杆12，支撑杆12的内部开设有滑槽16，滑槽16的内部滑动连接有活动腔17，活动腔17的内部固定连接有电阻条20，且支撑杆12的内部固定连接有推杆18，推杆18的端部固定连接有金属触头19，当安装架2发生倾斜时能够带动金属触头19在电阻条20的表面滑动，电磁杆15内部的电阻发生变化，活动腔17的端部固定连接有磁铁21，且磁铁21电磁杆15的相近端为同名磁极，使得被压一侧电磁杆15与磁铁21的排斥力增强，安装架2能够维持在稳定的状态；

当弹性腔7内部的溶液充满时能够带动活动连杆9转动，活动连杆9带动挡板10打开，使得内部的溶液能够进入水腔22的内部，且弹性腔7内部的两侧固定连接有磁块8，使得弹性腔7内部溶液减少时能够自动关闭挡板10，实现了定量输水，且水腔22的内部滑动连接有滑板23，滑板23受水压的作用向侧面滑动，滑板23按压压力开关24，压力开关24控制脉冲喷头25工作，使得脉冲喷头25能够开始工作，对晶圆的表面进行冲洗和降温。

综上所述，该避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，通过支撑杆12的内部固定连接有滑槽16，滑槽16的内部滑动连接有活动腔17，使得一侧被按压时，电磁杆15与磁铁21相互排斥，滑槽16与活动腔17相互滑动，使得支撑杆12能够被支撑起来，且弹性腔7与弹簧气囊13相互连通，弹簧气囊13的内部充满液体，从而达到了能够在一侧发生倾斜时给与支撑，使磨盘水平，防止打磨时不光滑的效果。

该避免倾斜且能够降温清洁的晶圆打磨装置，通过弹性腔7间断输水进入水腔22的内部，水腔22内部的滑板23能够间断的按压压力开关24，压力开关24与脉冲喷头25连接，使得脉冲喷头25开始工作对晶圆表面进行清洗和降温，从而达到了能够在晶圆加工的过程中对晶圆的表面进行冷却和清洗，实现一体化，减少成本，防止加工表面温度过高造成晶圆的其他部位损坏的效果。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。