用于晶体片镀膜的镀膜机的制作方法

文档序号:29269179发布日期:2022-03-16 14:55阅读:226来源:国知局
用于晶体片镀膜的镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜机技术领域,特别是用于晶体片镀膜的镀膜机。


背景技术:

2.晶体片镀膜的真空镀膜机,包括底盘和罩盖,罩盖内形成真空腔室,在真空室内设有工件转架机构,工件转架机构的顶部设有晶体片镀膜工位,在工件转架机构上设有晶体片夹具,在工件转架机构内的底盘上方设有与晶体片镀膜工位配合的蒸镀机构。
3.该晶体片镀膜的镀膜机,在使用时,拆卸和安装真空罩比较费时费力,同时工作完成后,不能快速使外界的空气进入真空罩。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供用于晶体片镀膜的镀膜机,有效解决了现有技术的不足。
5.本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:用于晶体片镀膜的镀膜机,包括底座,所述底座的一侧固定连接有第一气缸,所述第一气缸的一侧固定连接有升降构件,所述升降构件包括移动板,所述移动板的一侧固定连接有密封环,所述密封环的一侧固定连接有硅胶垫,所述升降构件的一侧固定连接有真空罩,所述真空罩的一侧固定连接有过滤构件。
6.可选的,所述底座的一侧设置有密封槽,所述密封槽的直径大小和密封环的直径大小相适配,第一气缸产生推力,由于力具有传递性,推力可以通过移动板传递给密封环,在力的作用下,使密封环进行移动,通过密封环的设置,可以使真空罩与底座进行连接。
7.可选的,所述硅胶垫的数量为两个,两个所述硅胶垫对称分布在密封环的一侧,所述硅胶垫的直径大小和密封槽的直径大小相适配,移动板在第一气缸的作用下进行运动,带动密封环进行运动,最后带动硅胶垫进行运动,通过硅胶垫的设置,可以使整个装置密封性能更好。
8.可选的,所述第一气缸的数量为若干个,若干个所述第一气缸均匀分布在底座的一侧,所述移动板的形状与大小和底座的形状与大小相适配,开启第一气缸,空气会从无杆气腔输入,并进行压缩,从有杆腔排气,第一气缸的两腔的压力差作用在活塞上所形成的推力推动活塞运动,使活塞杆伸出,产生推力,通过第一气缸的设置,可以为移动板的运动提供动力。
9.可选的,所述底座的一侧开设有排气孔,所述排气孔的一侧固定连接有排气管,所述排气管的一侧固定连接有气泵,所述排气孔的直径大小和排气管的直径大小相等,开启气泵,气泵里的电机在电能的作用下进行转动,产生吸力,在吸力的作用下,使真空罩内部的空气通过排气管流向外界,通过气泵的设置,可以将真空罩内部的空气抽出,使真空罩内形成真空的环境。
10.可选的,所述过滤构件包括第二气缸,所述第二气缸的一侧固定连接有阀门,所述
阀门的一侧设置有进气孔,所述进气孔的数量为若干个,若干个所述进气孔线性阵列在第二气缸的一侧,开启第二气缸,第二气缸会产生推力,由于力具有传递性,可以将推力传递给阀门,由于力可以改变物体的运动状态,当力大于真空罩和外界的压强差时,可以使阀门进行运动,通过阀门的设置,可以在工作完成后,使外界的空气进入真空罩内。
11.可选的,所述阀门的一侧设置有活性炭板,所述活性炭板的一侧设置有防尘棉板,所述活性炭板的直径大小和防尘棉板的直径大小相适配,打开阀门,由于真空罩和外界存在压强差,在压强的作用下,使外界空气通过进气孔进入,在活性炭板和防尘棉板的作用下,使进入真空罩内的空气进行过滤,防止污染镀膜材料。
12.本实用新型具有以下优点:
13.1、该用于晶体片镀膜的镀膜机,通过第一气缸产生推力,由于力具有传递性,推力可以通过移动板传递给密封环,在力的作用下,使密封环进行移动,最后带动硅胶垫进行运动,可以使真空罩可以进行升降,方便上料,不必在工作时因为拆卸和安装真空罩而浪费过多的时间,同时能保证真空罩的气密性。
14.2、该用于晶体片镀膜的镀膜机,通过第二气缸会产生推力,由于力具有传递性,可以将推力传递给阀门,由于力可以改变物体的运动状态,当力大于真空罩和外界的压强差时,可以使阀门进行运动,使外界空气通过进气孔进入,在活性炭板和防尘棉板的作用下,使进入真空罩内的空气进行过滤,可以在工作完成后,快速释放空气,消除真空罩与外界的压强差,易于拆卸,空气进入时可以经过过滤,防止污染。
附图说明
15.图1为本实用新型装配体的结构示意图;
16.图2为本实用新型底座的结构示意图;
17.图3为本实用新型底座的剖面结构示意图;
18.图4为本实用新型升降构件的结构示意图;
19.图5为本实用新型升降构件的剖面结构示意图。
20.图中:1-底座,2-第一气缸,3-升降构件,301-移动板,302-密封环,303-硅胶垫,4-真空罩,5-过滤构件,501-第二气缸,502-阀门,503-进气孔,504-活性炭板,505-防尘棉板,6-密封槽,7-排气孔,8-排气管,9-气泵。
具体实施方式
21.下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,但本实用新型的保护范围不局限于以下。
22.如图1至图5所示,用于晶体片镀膜的镀膜机,包括底座1,底座1的一侧固定连接有第一气缸2,第一气缸2的一侧固定连接有升降构件3,升降构件3包括移动板301,移动板301的一侧固定连接有密封环302,密封环302的一侧固定连接有硅胶垫303,升降构件3的一侧固定连接有真空罩4,真空罩4的一侧固定连接有过滤构件5。
23.作为本实用新型的一种可选技术方案:底座1的一侧设置有密封槽6,密封槽6的直径大小和密封环302的直径大小相适配,第一气缸2产生推力,由于力具有传递性,推力可以通过移动板301传递给密封环302,在力的作用下,使密封环302进行移动。
24.作为本实用新型的一种可选技术方案:硅胶垫303的数量为两个,两个硅胶垫303对称分布在密封环302的一侧,硅胶垫303的直径大小和密封槽6的直径大小相适配,移动板301在第一气缸2的作用下进行运动,带动密封环302进行运动,最后带动硅胶垫303进行运动。
25.作为本实用新型的一种可选技术方案:第一气缸2的数量为若干个,若干个第一气缸2均匀分布在底座1的一侧,移动板301的形状与大小和底座1的形状与大小相适配,开启第一气缸2,空气会从无杆气腔输入,并进行压缩,从有杆腔排气,第一气缸2的两腔的压力差作用在活塞上所形成的推力推动活塞运动,使活塞杆伸出,产生推力。
26.作为本实用新型的一种可选技术方案:底座1的一侧开设有排气孔7,排气孔7的一侧固定连接有排气管8,排气管8的一侧固定连接有气泵9,排气孔7的直径大小和排气管8的直径大小相等,开启气泵7,气泵7里的电机在电能的作用下进行转动,产生吸力,在吸力的作用下,使真空罩4内部的空气通过排气管8流向外界。
27.作为本实用新型的一种可选技术方案:过滤构件5包括第二气缸501,第二气缸501的一侧固定连接有阀门502,阀门502的一侧设置有进气孔503,进气孔503的数量为若干个,若干个进气孔503线性阵列在第二气缸501的一侧,开启第二气缸501,第二气缸501会产生推力,由于力具有传递性,可以将推力传递给阀门502,由于力可以改变物体的运动状态,当力大于真空罩4和外界的压强差时,可以使阀门502进行运动。
28.作为本实用新型的一种可选技术方案:阀门502的一侧设置有活性炭板504,活性炭板504的一侧设置有防尘棉板505,活性炭板504的直径大小和防尘棉板505的直径大小相适配,打开阀门502,由于真空罩4和外界存在压强差,在压强的作用下,使外界空气通过进气孔503进入,在活性炭板504和防尘棉板505的作用下,使进入真空罩4内的空气进行过滤。
29.本实用新型的工作过程如下:使用者使用时
30.s1:首先,开启第一气缸2,空气会从无杆气腔输入,并进行压缩,从有杆腔排气,第一气缸2的两腔的压力差作用在活塞上所形成的推力推动活塞运动,使活塞杆伸出,产生推力。
31.s2:其次,第一气缸2产生推力,由于力具有传递性,推力可以通过移动板301传递给密封环302,在力的作用下,使密封环302进行移动,移动板301在第一气缸2的作用下进行运动,带动密封环302进行运动,最后带动硅胶垫303进行运动。
32.s3:最后,开启第二气缸501,第二气缸501会产生推力,由于力具有传递性,可以将推力传递给阀门502,由于力可以改变物体的运动状态,当力大于真空罩4和外界的压强差时,可以使阀门502进行运动,由于真空罩4和外界存在压强差,在压强的作用下,使外界空气通过进气孔503进入,在活性炭板504和防尘棉板505的作用下,使进入真空罩4内的空气进行过滤。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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