一种CVD反应腔的可升降基座的制作方法

一种cvd反应腔的可升降基座
技术领域
1.本发明涉及cvd反应腔装置技术领域，更具体地说，它涉及一种cvd反应腔的可升降基座。


背景技术：

2.化学气相沉积(cvd)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。
3.目前，cvd反应腔内的基座大多是固定在某一个位置的，这就造成反应时若需要基座升降带来不便，虽然现在也有一些可升降的基座，但是这种基座在升降时，往往是突然升起，这就使得基座上的基盘发生抖动，造成基盘表面正在成型的薄膜破裂，从而降低成膜质量。


技术实现要素：

4.针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种cvd反应腔的可升降基座。
5.为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种cvd反应腔的可升降基座，包括：
6.反应腔体，反应腔体表面设置有控制装置，反应腔体内设置有纵块，纵块的表面设置有距离感应器，距离感应器与控制装置电连接，纵块表面开设有导向槽；
7.反应机构，反应机构设置于反应腔体的表面，反应机构与控制装置电连接；
8.驱动机构，驱动机构设置于反应腔体内，驱动机构与控制装置电连接，驱动机构与反应腔体固定连接；
9.升降机构，升降机构设置于驱动机构的表面，升降机构与控制装置电连接，升降机构用于升降基座。
10.作为本发明进一步的方案：反应机构包括反应组件和抽气组件，反应组件设置于反应腔体的表面，反应组件与控制装置电连接，抽气组件设置于反应腔体的表面，抽气组件与控制装置电连接，抽气组件用于对反应腔体抽真空。
11.作为本发明进一步的方案：反应组件包括进气管、进气阀门、排气管和排气阀门，进气管设置于反应腔体上，进气管与反应腔体固定连接，进气阀门设置于进气管上，进气阀门与控制装置电连接，排气管设置于反应腔体上，排气管与反应腔体固定连接，排气阀门设置于排气管上，排气阀门与控制装置电连接。
12.作为本发明进一步的方案：抽气组件包括抽气泵和抽气管，抽气泵设置于反应腔体的表面，抽气泵与反应腔体固定连接，抽气泵与控制装置电连接，抽气泵与抽气管连通，抽气管的另一端与反应腔体连通。
13.作为本发明进一步的方案：驱动机构包括固定组件和驱动组件，固定组件设置于反应腔体内，固定组件与反应腔体固定连接，固定组件与控制装置电连接，驱动组件设置于的固定组件的表面，驱动组件与固定组件配合。
14.作为本发明进一步的方案：固定组件包括固定块、固定板、电机支板、驱动电机和驱动齿轮，固定块设置于反应腔体的表面，固定块与反应腔体固定连接，固定板与固定块固定连接，固定板的中部设置有凸台，固定板表面开设有转动槽，固定板开设转动槽的相对侧表面设有电机支板，电机支板与固定板固定连接，驱动电机设置于的电机支板上，驱动电机与控制装置电连接，驱动电机的输出端与固定板转动连接，驱动电机的输出端与驱动齿轮固定连接。
15.作为本发明进一步的方案：驱动组件包括主齿轮、副齿轮、转动套、螺纹套和升降螺杆，主齿轮设置于凸台的表面，主齿轮与凸台转动连接，主齿轮与驱动齿轮啮合，转动套设置于副齿轮靠近转动槽一侧的表面，转动套与副齿轮固定连接，副齿轮与主齿轮啮合，转动套与转动槽转动连接，螺纹套与副齿轮固定连接，螺纹套表面设有环板，螺纹套通过环板与固定板转动连接，螺纹套与升降螺杆螺纹连接。
16.作为本发明进一步的方案：升降机构包括升降组件和缓冲组件，升降组件设置于驱动组件的表面，升降组件与驱动组件可拆卸式固定连接，缓冲组件设置于升降组件的表面，缓冲组件用于在升降组件下降时进行缓冲。
17.作为本发明进一步的方案：升降组件包括升降板、固定框、延时弹簧、滑动板、滑动杆、连接套、连接板、基盘和导向块，固定框设置于升降板靠近固定板一侧的表面，固定框与升降板固定连接，延时弹簧设置于固定框内，滑动板与延时弹簧固定连接，滑动板设置于固定框内，滑动板与固定框滑动连接，滑动杆与滑动板固定连接，滑动杆与固定框滑动连接，滑动杆靠近升降螺杆的一端与连接套固定连接，连接套与升降螺杆可拆卸式固定连接，连接板设置于升降板设有固定框的相对侧表面，连接板与升降板固定连接，连接板与基盘固定连接，导向块设置于基盘的侧面，导向块与导向槽滑动连接。
18.作为本发明进一步的方案：缓冲组件包括缓冲框、导向杆和缓冲弹簧，缓冲框设置于反应腔体表面，缓冲框与反应腔体固定连接，导向杆设置于基盘靠近缓冲框的表面，导向杆与基盘固定连接，导向杆与缓冲框滑动连接，缓冲弹簧套接于导向杆上，缓冲弹簧设置于基盘与缓冲框之间。
19.与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：
20.1、升降螺杆通过滑动杆、升降板和连接块推动基盘向上升起时，通过设置有延时弹簧，使得与升降螺杆向上升起时，先带动与滑动杆固定连接的滑动板在固定框内滑动对延时弹簧进行压缩，当滑动板将延时弹簧压缩到极限时，与升降板固定连接的连接板才推动基盘升起，进而对基盘的升降有延时的作用，避免了驱动电机突然启动，基盘突然向上升起而造成基盘抖动，造成基盘表面正在成型的薄膜破裂，从而降低成膜质量；
21.2、通过导向块与纵块表面的导向槽之间的配合，使得基盘在升降过程中不会因为装置在运转过程中产生的震动而发生偏移，进而提高了基盘的升降稳定性，同时也一定程度上提高了基盘升降距离的精确性；
22.3、基盘下降时当基盘下降到原位时，与主齿轮啮合的副齿轮由于指令时间延迟会继续转动短暂时间，从而使得升降螺杆继续转动，进而使得与连接板固定连接的基盘会继
续下降，通过设置有缓冲组件，基盘继续下降时对缓冲弹簧压缩，进而避免了基盘与缓冲框发生碰撞，造成基盘造成损坏，以及基盘发生碰撞后对其表面的成型的薄膜造成影响。
附图说明
23.为了更清楚的说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。
24.图1为cvd反应腔的可升降基座的结构示意图；
25.图2为cvd反应腔的可升降基座的部分结构示意图；
26.图3为图2的部分结构示意图；
27.图4为图1中的a处局部结构放大示意图；
28.图5为图3中的b处局部结构放大示意图；
29.图6为图1中的c处局部结构放大示意图；
30.1、反应腔体；2、控制装置；3、纵块；4、距离感应器；5、导向槽；6、反应组件；601、进气管；602、进气阀门；603、排气管；604、排气阀门；7、抽气组件；701、抽气泵；702、抽气管；8、固定组件；801、固定块；802、固定板；803、电机支板；804、驱动电机；805、驱动齿轮；806、凸台；807、转动槽；9、驱动组件；901、主齿轮；902、副齿轮；903、转动套；904、螺纹套；905、升降螺杆；906、环板；10、升降组件；1001、升降板；1002、固定框；1003、延时弹簧；1004、滑动板；1005、滑动杆；1006、连接套；1007、连接板；1008、基盘；1009、导向块；11、缓冲组件；1101、缓冲框；1102、导向杆；1103、缓冲弹簧。
具体实施方式
31.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
32.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
33.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
34.参照图1至图6对本发明一种cvd反应腔的可升降基座实施例做进一步说明。
35.一种cvd反应腔的可升降基座，包括：
36.反应腔体1，反应腔体1表面设置有控制装置2，反应腔体1内设置有纵块3，纵块3的
表面设置有距离感应器4，距离感应器4与控制装置2电连接，纵块3表面开设有导向槽5；
37.反应机构，反应机构设置于反应腔体1的表面，反应机构与控制装置2电连接；
38.驱动机构，驱动机构设置于反应腔体1内，驱动机构与控制装置2电连接，驱动机构与反应腔体1固定连接；
39.升降机构，升降机构设置于驱动机构的表面，升降机构与控制装置2电连接，升降机构用于升降基座。
40.请参阅图1，优选的，反应机构包括反应组件6和抽气组件7，反应组件6设置于反应腔体1的表面，反应组件6与控制装置2电连接，抽气组件7设置于反应腔体1的表面，抽气组件7与控制装置2电连接，抽气组件7用于对反应腔体1抽真空。
41.请参阅图1，优选的，反应组件6包括进气管601、进气阀门602、排气管603和排气阀门604，进气管601设置于反应腔体1上，进气管601与反应腔体1固定连接，进气阀门602设置于进气管601上，进气阀门602与控制装置2电连接，排气管603设置于反应腔体1上，排气管603与反应腔体1固定连接，排气阀门604设置于排气管603上，排气阀门604与控制装置2电连接。
42.请参阅图1，优选的，抽气组件7包括抽气泵701和抽气管702，抽气泵701设置于反应腔体1的表面，抽气泵701与反应腔体1固定连接，抽气泵701与控制装置2电连接，抽气泵701与抽气管702连通，抽气管702的另一端与反应腔体1连通。
43.请参阅图1，图2、图3、图5和图6，优选的，驱动机构包括固定组件8和驱动组件9，固定组件8设置于反应腔体1内，固定组件8与反应腔体1固定连接，固定组件8与控制装置2电连接，驱动组件9设置于的固定组件8的表面，驱动组件9与固定组件8配合。
44.请参阅图1，图2、图3和图5，优选的，固定组件8包括固定块801、固定板802、电机支板803、驱动电机804和驱动齿轮805，固定块801设置于反应腔体1的表面，固定块801与反应腔体1固定连接，固定板802与固定块801固定连接，固定板802的中部设置有凸台806，固定板802表面开设有转动槽807，固定板802开设转动槽807的相对侧表面设有电机支板803，电机支板803与固定板802固定连接，驱动电机804设置于的电机支板803上，驱动电机804与控制装置2电连接，驱动电机804的输出端与固定板802转动连接，驱动电机804的输出端与驱动齿轮805固定连接。
45.请参阅图1，图2、图3、图5和图6，优选的，驱动组件9包括主齿轮901、副齿轮902、转动套903、螺纹套904和升降螺杆905，主齿轮901设置于凸台806的表面，主齿轮901与凸台806转动连接，主齿轮901与驱动齿轮805啮合，转动套903设置于副齿轮902靠近转动槽807一侧的表面，转动套903与副齿轮902固定连接，副齿轮902与主齿轮901啮合，转动套903与转动槽807转动连接，螺纹套904与副齿轮902固定连接，螺纹套904表面设有环板906，螺纹套904通过环板906与固定板802转动连接，螺纹套904与升降螺杆905螺纹连接。
46.请参阅图1和图4，优选的，升降机构包括升降组件10和缓冲组件11，升降组件10设置于驱动组件9的表面，升降组件10与驱动组件9可拆卸式固定连接，缓冲组件11设置于升降组件10的表面，缓冲组件11用于在升降组件10下降时进行缓冲。
47.请参阅图1和图4，优选的，升降组件10包括升降板1001、固定框1002、延时弹簧1003、滑动板1004、滑动杆1005、连接套1006、连接板1007、基盘1008和导向块1009，固定框1002设置于升降板1001靠近固定板802一侧的表面，固定框1002与升降板1001固定连接，延
时弹簧1003设置于固定框1002内，滑动板1004与延时弹簧1003固定连接，滑动板1004设置于固定框1002内，滑动板1004与固定框1002滑动连接，滑动杆1005与滑动板1004固定连接，滑动杆1005与固定框1002滑动连接，滑动杆1005靠近升降螺杆905的一端与连接套1006固定连接，连接套1006与升降螺杆905可拆卸式固定连接，连接板1007设置于升降板1001设有固定框1002的相对侧表面，连接板1007与升降板1001固定连接，连接板1007与基盘1008固定连接，导向块1009设置于基盘1008的侧面，导向块1009与导向槽5滑动连接。
48.工作时，控制装置2控制驱动电机804启动，驱动电机804输出端带动了与其固定连接的驱动齿轮805转动，通过驱动齿轮805与主齿轮901的啮合，带动了与凸台806转动连接的主齿轮901转动，通过主齿轮901与副齿轮902的啮合，进而带动了副齿轮902转动，使得与副齿轮902固定连接的螺纹套904转动，通过螺纹套904与升降螺杆905的螺纹传动配合，使得升降螺杆905向上移动，带动了连接套1006固定连接的滑动杆1005推动滑动板1004在固定框1002内滑动，进而使延时弹簧1003被压缩，当延时弹簧1003被压缩到一定的程度后，与固定框1002固定连接的固定板802向上移动，使得与固定板802固定连接的连接板1007推动基盘1008向上升起；
49.通过导向块1009与纵块3表面的导向槽5之间的配合，使得基盘1008在升降过程中不会因为装置在运转过程中产生的震动而发生偏移，进而提高了基盘1008的升降稳定性，同时也一定程度上提高了基盘1008升降距离的精确性。
50.升降螺杆905通过滑动杆1005、升降板1001和连接块推动基盘1008向上升起时，通过设置有延时弹簧1003，使得与升降螺杆905向上升起时，先带动与滑动杆1005固定连接的滑动板1004在固定框1002内滑动对延时弹簧1003进行压缩，当滑动板1004将延时弹簧1003压缩到极限时，与升降板1001固定连接的连接板1007才推动基盘1008升起，进而对基盘1008的升降有延时的作用，避免了驱动电机804突然启动，基盘1008突然向上升起而造成基盘1008抖动，造成基盘1008表面正在成型的薄膜破裂，从而降低成膜质量。
51.请参阅图1，优选的，缓冲组件11包括缓冲框1101、导向杆1102和缓冲弹簧1103，缓冲框1101设置于反应腔体1表面，缓冲框1101与反应腔体1固定连接，导向杆1102设置于基盘1008靠近缓冲框1101的表面，导向杆1102与基盘1008固定连接，导向杆1102与缓冲框1101滑动连接，缓冲弹簧1103套接于导向杆1102上，缓冲弹簧1103设置于基盘1008与缓冲框1101之间。
52.基盘1008下降时当基盘1008下降到原位时，与主齿轮901啮合的副齿轮902由于指令时间延迟会继续转动短暂时间，从而使得升降螺杆905继续转动，进而使得与连接板1007固定连接的基盘1008会继续下降，通过设置有缓冲组件11，基盘1008继续下降时对缓冲弹簧1103压缩，进而避免了基盘1008与缓冲框1101发生碰撞，造成基盘1008造成损坏，以及基盘1008发生碰撞后对其表面的成型的薄膜造成影响。
53.工作原理：工作时，控制装置2控制驱动电机804启动，驱动电机804输出端带动了与其固定连接的驱动齿轮805转动，通过驱动齿轮805与主齿轮901的啮合，带动了与凸台806转动连接的主齿轮901转动，通过主齿轮901与副齿轮902的啮合，进而带动了副齿轮902转动，使得与副齿轮902固定连接的螺纹套904转动，通过螺纹套904与升降螺杆905的螺纹传动配合，使得升降螺杆905向上移动，带动了连接套1006固定连接的滑动杆1005推动滑动板1004在固定框1002内滑动，进而使延时弹簧1003被压缩，当延时弹簧1003被压缩到一定
的程度后，与固定框1002固定连接的固定板802向上移动，使得与固定板802固定连接的连接板1007推动基盘1008向上升起，设置在纵块3表面的距离感应器4对与基盘1008固定连接的导向块1009升起的高度进行实时的测量并记录，并将测量记录的数据传递给控制装置2，控制装置2将升起的高度数据与预设的高度数据进行对比，当二者相等时，控制装置2控制驱动电机804关闭，此时即将基盘1008升至反应所需的高度。
54.以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。