一种OLED蒸镀生产静电消除装置及方法与流程

一种oled蒸镀生产静电消除装置及方法
技术领域
1.本发明涉及oled生产技术领域，特别涉及一种oled蒸镀生产静电消除装置及方法。


背景技术：

2.oled，即有机发光二极管(organic light-emitting diode)主要采用蒸镀生产工艺，在高真空环境下材料受热汽化后沉积到玻璃基板上形成有机薄膜，实现oled器件发光。蒸镀生产过程中一般会涉及玻璃基板的传送、对位及成膜等动作，如此在传送过程其表面很可能积聚电荷，从而导致基板的电极化。玻璃基板上累计或者残留的静电可能造成电路炸伤、玻璃黏片以及镀膜过程中出现材料区域堆积等问题，最终造成面板显示不良，降低产品良率及增加破片风险。因此，有必要降低或消除基板静电问题。然而蒸镀机内均为高真空环境，且oled有机薄膜较难采用一般接触式或x-ray和紫外光等方式消除静电。


技术实现要素：

3.本发明要解决的技术问题，在于提供一种oled蒸镀生产静电消除装置及方法，实现在蒸镀真空环境中对oled器件的玻璃基板进行静电消除，提高产品良率。
4.第一方面，本发明提供了一种oled蒸镀生产静电消除装置，包括：
5.光罩；
6.至少一个遮挡区，设置于所述光罩的基材上，所述遮挡区与玻璃基板上oled镀膜区一一对应，且每一所述遮挡区的面积均不小于对应的oled镀膜区的面积；
7.定位区，设置于所述光罩的基材上，用于与感应装置配合对所述光罩进行定位；
8.静电消除光源，设置于所述光罩上方。
9.进一步地，所述光罩为柔性光罩，所述装置还包括：
10.一卷绕组件，所述光罩可卷绕地固定于所述卷绕组件上，通过所述卷绕组件实现光罩收缩或伸出切换不同的至少一个遮挡区作为子光罩，每个子光罩均设置有定位区。
11.所述柔性光罩的基材为聚酰亚胺。
12.进一步地，所述光罩包括一个以上硬性子光罩，所述装置还包括：
13.一承载部，用于承载至少一个所述子光罩；
14.一驱动部，用于驱动所述承载部进行位移，实现子光罩的切换。
15.所述硬性子光罩的基材为石英或者玻璃。
16.进一步地，所述定位区由磁性材料或者不透光材料制备得到。
17.进一步地，所述静电消除光源包括x射线光源或紫外线灯。
18.第二方面，本发明提供了一种oled蒸镀生产静电消除方法，需提供如第一方面所述的装置，所述方法包括：
19.步骤10、根据待蒸镀的oled产品，通过卷绕组件或者驱动部切换与待蒸镀的oled产品对应的子光罩；
20.步骤20、当oled产品玻璃基板传送至光罩下方时，通过定位区和感应装置使遮挡区与玻璃基板上的oled器件映射对应；
21.步骤30、开启静电消除光源，达到照射时间后关闭；
22.步骤40、将oled产品玻璃基板继续传送下一制程站点。
23.本发明实施例提供技术方案，至少具有如下优点：
24.本发明提供的一种oled蒸镀生产静电消除装置及方法，使带有oled镀膜的玻璃基板在真空环境下可以有效消除静电，实现简单且无需另增设专门除静电腔体，成本低，还可以对应多种oled产品，提高产品良率。
附图说明
25.下面参照附图结合实施例对本发明作进一步的说明。
26.图1为本发明实施例一的结构示意图；
27.图2为本发明实施例二的卷绕式光罩结构示意图；
28.图3为本发明实施例二的整体结构示意图；
29.图4为本发明实施例三的整体结构示意图之一；
30.图5为本发明实施例三的整体结构示意图之二；
31.图6为本发明实施例三的驱动部和承载部的结构示意图；
32.图7为本发明方法的执行流程图。
具体实施方式
33.本发明实施例通过提供一种oled蒸镀生产静电消除装置及方法，实现在蒸镀真空环境中对oled器件的玻璃基板进行静电消除，提高产品良率。
34.本发明实施例中的技术方案，总体思路如下：
35.针对玻璃基板在蒸镀机内真空环境中累积或残留的静电易造成电路炸伤、玻璃黏片以及镀膜过程中出现材料区域堆积等问题，提供一种oled蒸镀生产静电消除装置及方法，结合x射线或紫外光等光源，实现基板静电消除且不损伤oled有机膜层：光罩上设有遮挡区，遮挡区与玻璃基板上镀膜区一一映射，遮挡区涂层可阻挡x-ray或紫外光穿透光罩照射到oled有机薄膜，其他未有涂层区紫外光可穿透照射至玻璃基板上；光罩还可以设计多种遮挡区可对应多种产品静电消除，可更换以适用不用种类oled显示产品，以消除非镀膜区域静电，实现真空环境的玻璃基板静电消除且能同时保护oled产品不受损，成本低实现简单，且提高产品良率。
36.实施例一
37.本发明实施例提供了一种oled蒸镀生产静电消除装置，如图1所示，包括：
38.光罩1；
39.至少一个遮挡区12，设置于所述光罩的基材11上，所述遮挡区12与玻璃基板21上oled镀膜区22一一对应，且每一所述遮挡区12的面积均不小于对应的oled镀膜区22的面积；
40.定位区13，设置于所述光罩1的基材11上，用于与感应装置6配合对所述光罩1进行定位，使遮挡区12与对应的oled镀膜区22的位置一一对应；所述定位区由磁性材料或者不
透光材料制备得到；
41.静电消除光源3，设置于所述光罩上方。
42.光罩1可布置于oled产品2的传送路径中，光罩基材11的材质需可经受静电消除光源3(比如x射线光源或紫外线灯)的照射。遮挡区12的薄膜材质包括但不限于金属以及非金属等无机材质，薄膜层厚度至少大于紫外光波长，紫外光不可穿透遮挡区薄膜。基材上设置定位区13，定位区13的薄膜可采用磁性材料或者不透光材料制备，对应的感应装置6可为磁感应式或光感应式。静电消除光源3位于光罩1上方，布置于蒸镀设备外。
43.通过光罩1对静电消除光源3的光进行选择性遮挡，实现真空环境的玻璃基板21静电消除且能同时保护oled器件不受损，成本低实现简单，且提高产品良率。
44.实施例二
45.为了实现对应不同oled产品的玻璃基板除静电，本发明实施例提供了一种oled蒸镀生产静电消除装置，如图2至图3所示，所述光罩1为柔性光罩，所述装置还包括：
46.一卷绕组件4，所述光罩1可卷绕地固定于所述卷绕组件4上，通过所述卷绕组件4实现光罩1收缩或伸出切换不同的至少一个遮挡区12作为子光罩，每个子光罩均设置有定位区13。
47.所述柔性光罩的基材为聚酰亚胺(pi)。
48.通过设计卷绕组件4，可实现光罩1的伸缩，光罩1收缩或伸出切换不同的遮挡区，同时利用定位区13以实现目标光罩的精确定位以达到子光罩切换，以对应不同oled产品2的玻璃基板静电消除需求。
49.实施例三
50.为了实现对应不同oled产品的玻璃基板除静电，且可以根据产品的设计进行光罩的部分更换，本发明实施例提供了一种oled蒸镀生产静电消除装置，如图4至图6所示，所述光罩1包括一个以上硬性子光罩，所述装置还包括：
51.一承载部51，用于承载至少一个所述子光罩；
52.一驱动部52，用于驱动所述承载部51进行位移，实现子光罩的切换。
53.所述硬性子光罩的基材为石英或者玻璃。
54.子光罩设置于承载部51上，如切换oled产品2，则驱动部52带动承载部51运动，将对应子光罩移动至玻璃基板21上方即可。
55.通过设计承载部51和驱动部52，可实现光罩1的移动从而切换硬性子光罩，以对应不同oled产品2的玻璃基板静电消除需求。
56.实施例四
57.本发明实施例提供了一种oled蒸镀生产静电消除方法，需提供如第一方面所述的装置，如图7所示，所述方法包括：
58.步骤10、根据待蒸镀的oled产品2，通过卷绕组件4或者驱动部52切换与待蒸镀的oled产品2对应的子光罩；
59.步骤20、当oled产品玻璃基板21传送至光罩1下方时，通过定位区13和感应装置6使遮挡区12与玻璃基板21上的oled器件映射对应；
60.步骤30、开启静电消除光源3，达到照射时间后关闭；
61.步骤40、将oled产品玻璃基板21继续传送下一制程站点。
62.本发明提供的一种oled蒸镀生产静电消除装置及方法，使带有oled镀膜的玻璃基板在真空环境下可以有效消除静电，实现简单且无需另增设专门除静电腔体，成本低，还可以对应多种oled产品，提高产品良率。
63.虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是熟悉本技术领域的技术人员应当理解，我们所描述的具体的实施例只是说明性的，而不是用于对本发明的范围的限定，熟悉本领域的技术人员在依照本发明的精神所作的等效的修饰以及变化，都应当涵盖在本发明的权利要求所保护的范围内。