多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法与流程

1.本发明涉及半导体设备制备辅助设施技术领域，具体为多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法。


背景技术：

2.抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法，是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工，而抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫；按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和复合型抛光垫；按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型；
3.现有的抛光垫在使用的过程中，由于针对工件的不同部分进行打磨时，有些情况下会出现抛光垫的尺寸大于工件某部位所能容纳的直径，继而导致需要额外准备不同尺寸的抛光垫备用，继而加大了企业的生成成本。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于针对现有技术的不足之处，提供多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法，以解决背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：多孔聚氨酯抛光垫，包括大抛光垫，所述大抛光垫的内部活动连接有小抛光垫，所述小抛光垫的表面固定连接有立柱，所述立柱的表面套接有弹簧，所述立柱插接在对接口的内部，所述对接口开设在持装盒的表面，所述持装盒的表面开设有定位孔，所述持装盒的表面开设有滑槽，所述滑槽的内部插接有滑杆，所述滑杆的表面开设有插孔，所述插孔的内部插接有定位杆，所述滑杆的末端固定连接有转动座，所述转动座转动连接在底盘的表面，所述底盘的表面固定连接有限位座，所述限位座的内部固定连接有轴承，所述轴承的表面固定连接有限位夹具。
6.作为本发明的一种优选技术方案，所述轴承的外环外壁固定连接在限位座的上表面内部，而轴承的内化内壁则固定连接在限位夹具的末端固定轴的表面末端，最大限度加强了对整体装置的控制能力，保证了整体装置的实用性。
7.作为本发明的一种优选技术方案，所述限位座与限位夹具的数量相等，同时限位夹具的末端延伸靠近底盘的表面内部的圆心位置，有效的加强了对各个构件的稳定性，同时加强了对整体装置的支撑力度。
8.作为本发明的一种优选技术方案，所述滑杆的一端通过滑槽延伸出持装盒的外侧表面，另一端固定连接在转动座的表面中间位置，更好的保护了整体装置的使用不受影响，加强了对整体装置操纵的实际性。
9.作为本发明的一种优选技术方案，所述弹簧的一端安装在立柱的顶端下表面，另一端安装在持装盒的上表面圆心处，同时弹簧与对接口均处于同一垂直线上，更好的加强
了整体装置的平衡性，有效的增强了整体装置的使用灵活性。
10.作为本发明的一种优选技术方案，所述小抛光垫与大抛光垫的高度相等，同时小抛光垫的上表面圆心处于立柱的末端圆心处以固定方式进行连接，更有力的增强了整体装置的可操作性，保证了在使用过程的牢固与稳定性能。
11.作为本发明的一种优选技术方案，所述转动座的外观呈“工”字形，立柱的表面插接在底盘的圆心表面内部，最大程度的增加了工作人员对于整体装置的控制性，提高了整体装置使用的体验感，降低了工作人员的操座难度。
12.作为本发明的一种优选技术方案，所述大抛光垫的直径小于持装盒的口径，同时小抛光垫的直径小于大抛光垫的直径，更加明确直观的借助这部分的结构运行时的动能，将整体装置的运行进行串联，加强了整体装置的能动性。
13.作为本发明的一种优选技术方案，所述定位杆安装在滑杆的末端左侧表面，同时定位杆的直径小于定位孔的口径，有效的加强了整体装置的实用性能，拓展了整体装置的能动性。
14.多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法，具体如下：
15.s1、在使用时，首先需要工作人员手持持装盒对半导体器件设备的表面进行打磨，在打磨的过程中，当需要对较小的工件部位进行打磨时，只需要工作人员手动将立柱向下进行按压，即可使小抛光垫向外进行延伸，继而改变大抛光垫体积较大的缺陷；
16.s2、当工作人员将立柱向下按压时，立柱的顶端对弹簧进行压迫，将小抛光垫推出大抛光垫的内部表面，随后只需要工作人员手动将滑杆在滑槽的进行滑动，即可固定小抛光垫延伸出的长度；
17.s3、由于滑杆的末端安装在底盘的表面，当滑杆受到移动时，带动转动座在底盘的上表面进行转动连接，通过转动座的转动推动限位夹具的末端在转动座的圆心内部进行便宜，继而对立柱的表面进行夹持固定；
18.s4、随后再由工作人员手动将定位杆在插孔的内部进行拉动，使定位杆的内侧表面插接进定位孔的内部，继而对滑杆的位置进行固定，避免在使用的过程中出现夹持滑脱的情况。
19.本发明具备以下有益效果：
20.该多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法，通过立柱推动小抛光垫进行位移，滑杆带动转动座牵引限位夹具对立柱的位置机械能夹持固定，再通过定位杆插接在定位孔的内部对滑杆的位置进行固定，从而达到了灵活控制整体装置，加强了整体装置的实用性能，改善了现有的抛光垫在对半导体工件进行打磨时抛光垫的大小无法根据需要进行调节，需要准备多个不同尺寸的抛光垫以备用的效果。
附图说明
21.图1为本发明持装盒结构整体直视示意图；
22.图2为本发明图1中a处结构放大示意图；
23.图3为本发明立柱结构直视示意图；
24.图4为本发明转动座结构直视示意图；
25.图5为本发明限位夹具结构底面直视示意图；
26.图6为本发明滑杆结构末端直视示意图。
27.图中：1、大抛光垫；2、小抛光垫；3、立柱；4、弹簧；5、对接口；6、持装盒；7、定位孔；8、滑槽；9、滑杆；10、插孔；11、定位杆；12、转动座；13、底盘；14、限位座；15、限位夹具；16、轴承。
具体实施方式
28.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
29.请参阅图1，本实施方案中：多孔聚氨酯抛光垫，包括大抛光垫1，大抛光垫1的内部活动连接有小抛光垫2，加强了对整体装置的控制能力，小抛光垫2的表面固定连接有立柱3，加强了对各个构件的稳定性，立柱3的表面套接有弹簧4，加强了整体装置的灵活性，立柱3插接在对接口5的内部，加强了整体装置的使用效果，对接口5开设在持装盒6的表面，保护了整体装置的使用不受影响，持装盒6的表面开设有定位孔7，加强了整体装置的平衡性，持装盒6的表面开设有滑槽8，增强了整体装置的可操作性，滑槽8的内部插接有滑杆9，增加了工作人员对于整体装置的控制性，滑杆9的表面开设有插孔10，加强了整体装置的实用性能，插孔10的内部插接有定位杆11，稳定了所有结构共同运行时其位置与角度的范围，滑杆9的末端固定连接有转动座12，加强了整体装置在运行过程中的机械势能，转动座12转动连接在底盘13的表面，增强了整体装置的灵活性，底盘13的表面固定连接有限位座14，加强整体装置在使用过程中的协调性能，限位座14的内部固定连接有轴承16，加强了整体装置在使用的过程中的配合强度，轴承16的表面固定连接有限位夹具15，增加了使用的便捷性。
30.本实施例中，轴承16的外环外壁固定连接在限位座14的上表面内部，而轴承16的内化内壁则固定连接在限位夹具15的末端固定轴的表面末端，通过整体装置在使用过程中的匹配对整体装置的各个部件进行磨合，加强整体装置使用的协调性；限位座14与限位夹具15的数量相等，同时限位夹具15的末端延伸靠近底盘13的表面内部的圆心位置，更大程度上加强了整体装置在使用的过程中的配合强度，避免了整体装置在使用的过程中出现部件匹配不对称的情况；滑杆9的一端通过滑槽8延伸出持装盒6的外侧表面，另一端固定连接在转动座12的表面中间位置，根据现有结构共同对整体装置进行支撑，加强整体装置在使用过程中的协调性能，加强了整体装置使用时的耐久性；弹簧4的一端安装在立柱3的顶端下表面，另一端安装在持装盒6的上表面圆心处，同时弹簧4与对接口5均处于同一垂直线上，借助对整体装置的灵活控制能力的加强，继而削弱了在使用过程中整体装置出现故障的概率；小抛光垫2与大抛光垫1的高度相等，同时小抛光垫2的上表面圆心处于立柱3的末端圆心处以固定方式进行连接，更好的增强了整体装置的灵活性，保证了在拆卸后再次安装时仍然能够正常使用；转动座12的外观呈“工”字形，立柱3的表面插接在底盘13的圆心表面内部，利用这些结构共同进行机械运动，从而保证了整体装置在运行过程中最大限度的将可能发生的故障性降到最低；大抛光垫1的直径小于持装盒6的口径，同时小抛光垫2的直径小于大抛光垫1的直径，更有力度的加强了整体装置在运行过程中的机械势能，节约了整体装置在运行过程中所产生的力的损耗；定位杆11安装在滑杆9的末端左侧表面，同时定位
杆11的直径小于定位孔7的口径，严格明确的稳定了所有结构共同运行时其位置与角度的范围，避免了整体装置在运行的过程中发生互相阻挠的情况。
31.实施列一：
32.多孔聚氨酯抛光垫及其制备半导体器件的方法，具体如下：
33.s1、在使用时，首先需要工作人员手持持装盒6对半导体器件设备的表面进行打磨，在打磨的过程中，当需要对较小的工件部位进行打磨时，只需要工作人员手动将立柱3向下进行按压，即可使小抛光垫2向外进行延伸，继而改变大抛光垫1体积较大的缺陷；
34.s2、当工作人员将立柱3向下按压时，立柱3的顶端对弹簧4进行压迫，将小抛光垫2推出大抛光垫1的内部表面，随后只需要工作人员手动将滑杆9在滑槽8的进行滑动，即可固定小抛光垫2延伸出的长度；
35.s3、由于滑杆9的末端安装在底盘13的表面，当滑杆9受到移动时，带动转动座12在底盘13的上表面进行转动连接，通过转动座12的转动推动限位夹具15的末端在转动座12的圆心内部进行便宜，继而对立柱3的表面进行夹持固定；
36.s4、随后再由工作人员手动将定位杆11在插孔10的内部进行拉动，使定位杆11的内侧表面插接进定位孔7的内部，继而对滑杆9的位置进行固定，避免在使用的过程中出现夹持滑脱的情况。
37.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。