一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具的制作方法

本发明涉及半导体材料加工用工装，具体为一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具。

背景技术：

1、目前，磷化铟，是一种无机化合物，化学式为inp，为银灰色单晶，极微溶于无机酸，主要用作半导体材料，inp已经成为非常重要的半导体材料之一，主要应用于光电子技术和微波技术领域，而另一大有发展前途的应用领域是太阳能动力技术。磷化铟(inp)是由磷和铟组成的二元半导体材料，磷化铟和砷化镓及大部分的三五族半导体类似，具有闪锌矿晶体结构。磷化铟半导体材料具有电子极限漂移速度高、耐辐射性能好、导热性能优良等优点，与砷化镓半导体相比，它具有击穿场强、热导率、电子平均速度高的特点。磷化铟半导体具有宽禁带结构，并且电子在通过磷化铟材料时速度快，用这种材料制作的器件能够放大更高频率或者是更短波长的信号，因此利用磷化铟芯片制造的卫星信号接收机和放大器可以在极高频率下工作，并且受外界影响较小，稳定性很高。以磷化铟为衬底制作的发光二极管和pin探测器色散几乎为零，传输损耗低，在数据中心、5g光通讯等领域应用广泛。

2、现有技术中用于磷化铟单晶的工装夹具分为以下几种：1、夹板式，采用两个夹板夹紧固定磷化铟单晶，缺点是不可调整产品加工时的角度，定位困难，加持力不好掌握容易导致产品形变或破裂；2、圆孔式，采用一个圆孔来盛放磷化铟单晶，缺点是调整产品角度时磷化铟单晶的端面会与工装之间产生摩擦，而对晶体端面造成伤害，使得产品的质量下降，并且其夹持力不足，加工过程易松动脱落，针对以上问题，提出了一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具，解决了产品易破裂、调整定位困难的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具，包括工装主体和呈圆柱状的磷化铟单晶体，所述工装主体上开设有呈圆柱状的晶体夹持孔，所述晶体夹持孔的底部通过轴承转动安装有圆盘晶体夹持孔的部分贯穿所述工装主体形成拨动口，当所述磷化铟单晶体放置在晶体夹持孔的内部后通过拨动口能拨动所述磷化铟单晶体转动。

3、优选的，所述晶体夹持孔的一侧滑动安装有用于压紧所述磷化铟单晶体且呈方体状的滑动夹块，所述工装主体靠近所述滑动夹块的一侧螺纹安装有两个可推动所述滑动夹块的锁紧螺杆。

4、优选的，所述工装主体采用45#钢材质制成，其能吸附在平台磨床的磁性工作台上。

5、优选的，所述工装主体的背面与底面形成的夹角为90°。

6、优选的，所述圆盘和所述滑动夹块均采用聚乙烯材料制成。

7、与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

8、1、本发明通过晶体夹持孔、拨动口以及圆盘等结构的设置，采用一个具有断口的晶体夹持孔来夹持产品，操作者能通过一侧的拨动口与下方的圆盘来配合调整产品角度，从而实现与对准x光定向仪对准，且端面不会磨损，操作方便，对产品的保护作用强，提高了生产质量。

9、2、本发明通过滑动夹块、锁紧螺杆等结构的设置，利用锁紧螺杆推动滑动夹块，且滑动夹块采用聚乙烯材料制成，在实现稳定夹持的前提下，可避免夹持力度过大对产品造成伤害，进一步地起到了保护产品的作用；

10、工装主体采用了45#钢材质，硬度高不易形变，可与平面磨床的磁性工作台配合使用，工装的灵活性较强；

11、工装背面与底面角度完全垂直，磷化铟单晶体放入后保持垂直，工装为水平放置，这样保证在x光定向仪上与平面磨床上加工精度。

技术特征：

1.一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具，包括工装主体(1)和呈圆柱状的磷化铟单晶体(100)，其特征在于：所述工装主体(1)上开设有呈圆柱状的晶体夹持孔(2)，所述晶体夹持孔(2)的底部通过轴承(3)转动安装有圆盘(4)，晶体夹持孔(2)的部分贯穿所述工装主体(1)形成拨动口(2-1)，当所述磷化铟单晶体(100)放置在晶体夹持孔(2)的内部后通过拨动口(2-1)能拨动所述磷化铟单晶体(100)转动。

2.根据权利要求1所述的一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具，其特征在于：所述晶体夹持孔(2)的一侧滑动安装有用于压紧所述磷化铟单晶体(100)且呈方体状的滑动夹块(5)，所述工装主体(1)靠近所述滑动夹块(5)的一侧螺纹安装有两个可推动所述滑动夹块(5)的锁紧螺杆(6)。

3.根据权利要求1所述的一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具，其特征在于：所述工装主体(1)采用45#钢材质制成，其能吸附在平台磨床的磁性工作台上。

4.根据权利要求1所述的一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具，其特征在于：所述工装主体(1)的背面(1-1)与底面(1-2)形成的夹角为90°。

5.根据权利要求2所述的一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具，其特征在于：所述圆盘(4)和所述滑动夹块(5)均采用聚乙烯材料制成。

技术总结
本发明属于半导体材料加工用工装技术领域，具体涉及一种具有可旋转定位的磷化铟单晶参考边定向工装夹具，解决了现有技术中存在产品易破裂、调整定位困难的问题，包括工装主体和呈圆柱状的磷化铟单晶体，所述工装主体上开设有呈圆柱状的晶体夹持孔，所述晶体夹持孔的底部通过轴承转动安装有圆盘，晶体夹持孔的部分贯穿所述工装主体形成拨动口，通过晶体夹持孔、滑动夹块、拨动口以及圆盘等结构的设置，采用一个具有断口的晶体夹持孔来夹持产品，操作者能通过一侧的拨动口与下方的圆盘来配合调整产品角度，从而实现与X光定向仪对准定向，通过调节锁紧螺丝来移动滑动夹块夹持晶体，加快定向速度且晶体表面不被夹裂，端面不会磨损，操作方便，对产品的保护作用强，提高了生产质量。

技术研发人员：王明星
受保护的技术使用者：河南铭镓半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12