单晶硅片磨削夹具的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅片技术领域，尤其涉及一种单晶硅片磨削夹具。


背景技术：

2.单晶硅片是制造半导体硅器件的原料，用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等，单晶硅片的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅，接着用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅，然后通过对单晶硅棒的切割得到单晶硅片，最后根据需要对单晶硅片进行磨削、倒角以及清洗工作。
3.其中，磨削的工序是指将切割成的单晶硅片的锐利角修整成圆弧形，防止晶片锐利角划伤外物及晶格缺陷产生。
4.目前，单晶硅片的磨削工序中单次只能加工一个工件，加工过程中，工人还需不断调整装夹位置，这一过程工序复杂，加工效率低，影响产品的质量。


技术实现要素：

5.本实用新型旨在至少在一定程度上解决上述技术中的技术问题之一。
6.为此，本实用新型的一个目的在于提出一种单晶硅片磨削夹具，能够同时加工多个工件，简化了加工工序，提高了加工效率，保证了产品质量。
7.为达到上述目的，本实用新型第一方面提出了一种单晶硅片磨削夹具，包括横板、两个竖板、夹持组件、两个挡板和两组压紧组件，其中，两个所述竖板对称设置在所述横板上，所述竖板上开设有通槽；所述夹持组件设置在两个所述竖板之间，所述夹持组件包括架体、多个夹持件、两个连接杆和两个限位板，其中，多个所述夹持件设置在架体上；两个所述连接杆对称设置在所述架体的两侧，所述连接杆的一端贯穿所述通槽；两个所述限位板分别与对应的两个所述连接杆连接；两个所述挡板分别可移动地设置在两个所述竖板相斥的一侧，所述挡板与所述限位板抵触；两组所述压紧组件分别设置在对应的两个所述竖板上，所述压紧组件与所述连接杆的外壁抵触。
8.本实用新型的单晶硅片磨削夹具，利用夹持组件对多个单晶硅片同时装夹，横板能够将多个单晶硅片码齐，同时，夹持组件可带动单晶硅片在竖板内转动，进而一次调整多个单晶硅片的磨削位置，简化了加工工序，提高了加工效率，挡板和压紧组件对夹持组件进行辅助固定，保证加工时单晶硅片的稳定性，保证了产品质量。
9.另外，根据本实用新型上述实施例提出的单晶硅片磨削夹具还可以具有如下附加的技术特征：
10.具体地，所述压紧组件包括手轮和螺杆，其中，所述螺杆的一端与所述手轮连接，所述螺杆与所述竖板螺纹连接，所述螺杆的另一端与所述连接杆的外壁抵触。
11.具体地，所述架体对称设有两个快接接头。
12.具体地，所述夹持件的端部设有防护垫，所述横板上固定有橡皮条，所述橡皮条位于所述夹持组件的下方。
13.具体地，所述横板上对称开设有两个固定槽。
14.具体地，所述横板的下表面对称安装有多个移动轮。
15.本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
16.本实用新型上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
17.图1为根据本实用新型一个实施例的单晶硅片磨削夹具结构示意图；
18.图2为根据本实用新型一个实施例的单晶硅片磨削夹具夹持组件示意图；
19.图3为根据本实用新型一个实施例的单晶硅片磨削夹具中利用横板对多个单晶硅片码齐示意图；
20.图4为根据本实用新型另一个实施例的单晶硅片磨削夹具结构示意图；
21.图5为根据本实用新型一个实施例的单晶硅片磨削夹具架体内部结构示意图。
22.附图标记：1、横板；2、竖板；20、通槽；3、夹持组件；31、架体；32、夹持件；33、连接杆；34、限位板；4、挡板；5、压紧组件；51、手轮；52、螺杆；61、快接接头；71、防护垫；72、橡皮条； 81、固定槽；91、移动轮。
具体实施方式
23.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
24.下面参照附图描述本实用新型实施例的单晶硅片磨削夹具。
25.本实用新型提供的单晶硅片磨削夹具，主要应用于单晶硅棒切割成单晶硅片后，将本装置置于砂轮机的台架上，对晶片进行夹持固定，进而完成对单晶硅片的磨削处理。
26.如图1和图2所示，本实用新型实施例的单晶硅片磨削夹具，可包括横板1、两个竖板2、夹持组件3、两个挡板4和两组压紧组件5。
27.其中，两个竖板2对称设置在横板1上，竖板2上开设有通槽 20，夹持组件3设置在两个竖板2之间，夹持组件3可包括架体31、多个夹持件32、两个连接杆33和两个限位板34。
28.其中，多个夹持件32设置在架体31上，两个连接杆33对称设置在架体31的两侧，连接杆33的一端贯穿通槽20，两个限位板34 分别与对应的两个连接杆33连接。
29.需要说明的是，参照图2，该实施例中所描述的连接杆33的外壁上开设有多个平面(图中未具体标识)，平面能够增加压紧组件5 与连接杆33之间的接触面积，进而保证压紧组件5抵触连接杆33时，架体31以及待加工单晶硅片的稳定性。
30.两个挡板4分别可移动地设置在两个竖板2相斥的一侧，挡板4 与限位板34抵触，两组压紧组件5分别设置在对应的两个竖板2上，压紧组件5与连接杆33的外壁抵触。
31.在本实用新型的一个实施例中，架体31对称设有两个快接接头 61。
32.应说明的是，该实施例中所描述的快接接头61与外部气泵连接。
33.具体地，将本装置放置在砂轮机的台架上，取多个待加工的单晶硅片依次放入架体31内，此时待加工的单晶硅片处于多个夹持件32 之间，待加工的单晶硅片略微倾斜，待加工的单晶硅片的底部与横板 1的上表面接触，进而将多个待加工的单晶硅片底部码齐。
34.然后，外部气泵启动，进而驱动多个夹持件32向临近的单晶硅片运动，在夹持件32的作用下，待加工的单晶硅片沿着横板1的上表面运动，直至呈竖直状态，此时多个夹持件32将待加工的单晶硅片固定完成。
35.工人抬升两个限位板34，进而将架体31和待加工的单晶硅片抬升，然后将挡板4移动至限位板34的下方，并将限位板34放置在挡板4上，此时，待加工的单晶硅片呈现悬空状态，避免加工过程中单晶硅片的底部与横板1之间发生摩擦。
36.旋动压紧组件5，压紧组件5将连接杆33和架体31压紧，这样能够避免磨削过程中单晶硅片发生晃动，保证单晶硅片加工的质量。
37.移动本装置，使得本装置与单晶硅片共同靠近砂轮机进行磨削，单晶硅片的一部分磨削完成后，工人移动本装置远离砂轮。
38.旋松压紧组件5，抬升限位板34并旋转一定角度(例如：90
°
或180
°
)，再次将限位板34放置在挡板4上，旋紧压紧组件5，进而对单晶硅片的另一个部分进行磨削。
39.重复上述步骤，直至将多个单晶硅片磨削完成。
40.可选地，若需要对单晶硅片上被架体31遮挡的部位进行磨削，此时需利用气泵对架体31的内部泄压，然后依次改变多个单晶硅片在架体31内的位置，将遮挡处移出后再进行磨削作业。
41.作为一种可能的情况，架体31的外部可安装多个快接接头61，每个待加工单晶硅片被独立控制夹持，进而方便工人按照顺序操作。
42.作为另一种可能的情况，快接接头61还可与外部供油装置连通，利用油压驱动夹持件32，使得夹持件32反应更加灵敏迅速。
43.在本实用新型的一个实施例中，如图3所示，压紧组件5可包括手轮51和螺杆52。
44.其中，螺杆52的一端与手轮51连接，螺杆52与竖板2螺纹连接，螺杆52的另一端与连接杆33的外壁抵触。
45.具体地，当需要压紧架体31时，工人仅需旋动手轮51，手轮51 带动螺杆52旋转，进而对连接杆33以及架体31压紧。
46.在本实用新型的一个实施例中，如图3所示，夹持件32的端部设有防护垫71，横板1上固定有橡皮条72，橡皮条72位于夹持组件 3的下方。
47.可以理解的是，在本实用新型的实施例中，防护垫71不仅可以增大夹持件32与单晶硅片之间的摩擦力，而且还能避免单晶硅片被划伤。橡皮条72可以在单晶硅片的底部与横板1接触或者滑动时损坏。
48.在本实用新型的一个实施例中，如图3所示，横板1上对称开设有两个固定槽81。
49.具体地，工人可利用固定件贯穿固定槽81，进而将本装置与砂轮机的台架连接，磨削作业时需移动砂轮。
50.在本实用新型的另一个实施例中，如图4所示，横板1的下表面对称安装有多个移动轮91。
51.具体地，使用时，工人推动本装置在砂轮机的台架上移动，使得多个单晶硅片靠近
砂轮。
52.作为一种可能的情况，砂轮机的台架上设有导向板，进而保证本装置沿直线运动。
53.本实用新型实施例的单晶硅片磨削夹具，利用夹持组件对多个单晶硅片同时装夹，横板能够将多个单晶硅片码齐，同时，夹持组件可带动单晶硅片在竖板内转动，进而一次调整多个单晶硅片的磨削位置，简化了加工工序，提高了加工效率，挡板和压紧组件对夹持组件进行辅助固定，保证加工时单晶硅片的稳定性，保证了产品质量。
54.综上，本实用新型实施例的单晶硅片磨削夹具，能够同时加工多个工件，简化了加工工序，提高了加工效率，保证了产品质量。
55.在本说明书的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
56.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
57.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。