掩模组件及包括掩模组件的显示装置的制造装置的制作方法

本技术的实施例涉及装置，更具体地，涉及掩模组件及包括掩模组件的显示装置的制造装置。

背景技术：

1、基于移动性的电子设备正在被广泛地使用。近来，除了诸如移动电话的小型电子设备之外，平板pc也被广泛地用作移动电子设备。

2、为了支持各种功能，这种移动电子设备包括显示装置以向用户提供诸如图像或影像的视觉信息。近来，随着用于驱动显示装置的其它部件变得小型化，显示装置在电子设备中所占的比重正在逐渐增加，并且也正在开发能够从平坦状态弯曲成具有预定的角度的结构。这种显示装置可以使用掩模组件以形成薄膜。

技术实现思路

1、要解决的技术问题

2、通常，当使掩模组件和基板彼此紧贴并执行沉积时，会有基板由于掩模组件而损坏或基板的内部出现裂纹的情况。在这种情况下，不仅会导致最终产品的缺陷，而且会出现在使用最终产品时寿命缩短的问题。本实用新型的实施例提供防止基板损坏的掩模组件及包括掩模组件的显示装置的制造装置。

3、解决方法

4、本实用新型一实施例公开一种掩模组件，所述掩模组件包括：掩模框架，具有开口区域并且具有槽；多个掩模片，布置于所述开口区域；以及第一支承框架，所述掩模片布置在所述第一支承框架的上部，且所述第一支承框架布置成穿过所述开口区域，并且支承所述多个掩模片中的彼此相邻的所述掩模片，其中，当在平面上观察时，所述掩模片的末端和所述第一支承框架的末端布置于所述槽的内部。

5、在本实施例中，所述槽可以在所述多个掩模片所排列的第一方向上延伸。

6、在本实施例中，所述槽的侧表面中的至少一个可以是倾斜的。

7、在本实施例中，所述槽的侧表面中的倾斜的侧表面可以从所述槽的边沿越往所述槽的中央部分越低。

8、在本实施例中，所述掩模片的末端和所述第一支承框架的末端中的至少一个可以在远离所述掩模框架的方向上突出。

9、在本实施例中，所述掩模组件还可以包括：第二支承框架，穿过所述开口区域，并且以与所述第一支承框架交叉的方式布置于所述掩模框架。

10、本实用新型另一实施例公开一种显示装置的制造装置，所述装置包括：掩模组件，与基板相对地布置；以及沉积源，以所述掩模组件为基准布置在所述基板的对面，并且向所述基板供应沉积物质，其中，所述掩模组件包括：掩模框架，具有开口区域并且具有槽；多个掩模片，布置于所述开口区域；以及第一支承框架，所述掩模片布置在所述第一支承框架的上部，且所述第一支承框架布置成穿过所述开口区域，并且支承所述多个掩模片中的彼此相邻的所述掩模片，其中，当在平面上观察时，所述掩模片的末端和所述第一支承框架的末端布置于所述槽的内部。

11、在本实施例中，所述槽可以在所述多个掩模片所排列的第一方向上延伸。

12、在本实施例中，所述槽的侧表面中的至少一个可以是倾斜的。

13、在本实施例中，所述槽的侧表面中的倾斜的侧表面可以从所述槽的边沿越往所述槽的中央部分越低。

14、在本实施例中，所述掩模片的末端和所述第一支承框架的末端中的至少一个可以在远离所述掩模框架的方向上突出。

15、在本实施例中，所述掩模框架还可以包括：第二支承框架，穿过所述开口区域，并且以与所述第一支承框架交叉的方式布置于所述掩模框架。

16、在本实施例中，所述装置还可以包括：冷却板，以所述基板为中心布置在所述掩模组件的对面。

17、在本实施例中，所述装置还可以包括：磁力部，以所述基板为中心布置在所述掩模组件的对面。

18、除前述内容以外的其它方面、特征和优点将从以下的附图、本实用新型的详细说明中变得清楚。

19、可以使用系统、方法、计算机程序或系统、方法、计算机程序的某种组合来实施这些一般的和具体的方面。

20、有益效果

21、本实用新型的实施例所涉及的掩模组件、包括掩模组件的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法可以在制造显示装置时减少基板的损坏。另外，本实用新型的实施例所涉及的掩模组件、包括掩模组件的显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法可以在制造显示装置时降低缺陷率。

技术特征：

1.一种掩模组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的掩模组件，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的掩模组件，其特征在于，还包括：

7.一种显示装置的制造装置，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的显示装置的制造装置，其特征在于，

9.根据权利要求7所述的显示装置的制造装置，其特征在于，

10.根据权利要求9所述的显示装置的制造装置，其特征在于，

技术总结
本技术公开了掩模组件和包括掩模组件的显示装置的制造装置。本技术包括：掩模框架，具有开口区域并且具有槽；多个掩模片，布置于所述开口区域；以及第一支承框架，所述掩模片布置在所述第一支承框架的上部，且所述第一支承框架布置成穿过所述开口区域，并且支承所述多个掩模片中的彼此相邻的所述掩模片，其中，当在平面上观察时，所述掩模片的末端和所述第一支承框架的末端布置于所述槽的内部。

技术研发人员：李锺大,张原荣
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：20221013
技术公布日：2024/1/12