本技术属于金属绑定，特别涉及一种靶材绑定定位器。
背景技术：
1、目前溅射靶材应用广泛，涉及电子及信息产业和玻璃镀膜领域等领域。溅射机台里，在真空的状态下，通过轰击靶材表面，把高纯度的金属原子沉积到硅片上。靶材不可直接装机镀膜使用，需要采用金属焊料将靶坯和背板相互焊合连接。通过绑定可防止靶材因为受热不均而发生破裂，也可以节约成本防止靶材变形。
2、溅射靶材的要求较传统材料行业高，一般要求如尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量等。现有的靶材绑定方法为：背板与靶坯涂布好后，操作人员带着高温手套从靶坯的绑定面托起靶坯放置在背板上面。现有的绑定方法存在以下问题：（1）定位难度大，绑定过程容易出现靶坯与背板错位；（2）因在绑定过程中手套接触到绑定面，将手套纤维留在绑定层，或者手套带走部分绑定铟，不能满足溅射靶材对平整度、纯度、各项杂志含量的要求，最终使得靶材绑定失败，增加成本；（3）操作者在定位过程中存在烫伤风险。
技术实现思路
1、为了解决以上问题，本实用新型提供一种靶材绑定定位器，降低靶材的定位难度，提高定位质量，且定位操作安全。
2、一种靶材绑定定位器，所述定位器包括依次连接的固定器、可伸缩的伸缩杆、操作手柄；所述伸缩杆与固定器铰接或滑动连接。本方案中，将固定器进行固定，与固定器连接的伸缩杆可于固定器转动或滑动；通过操作手柄支撑涂布好的靶坯，移动操作手柄使靶坯与背板贴合，直至完全贴合后取出操作手柄。本方案通过伸缩杆的伸缩完成操作手柄的纵向移动，通过伸缩杆于固定器转动或滑动带动操作手柄实现横向位移，如此确保操作手柄将靶坯绑定于背板的活动范围，完成定位动作。本方案采用固定器进行固定，使得操作手柄有所支撑，降低了现有技术因人工手套操作失误导致靶坯与背板错位的风险；采用免接触式定位器替代人工手套操作，避免手套纤维留在绑定层，提高了定位质量，且降低了操作者烫伤风险，操作安全。
3、进一步地，所述伸缩杆与操作手柄铰接，操作手柄可转动。
4、进一步地，所述操作手柄包括滚轴、与伸缩杆连接的滚筒；所述滚筒上设有轴承，所述轴承与滚轴的一端连接。本方案中，由滚轴的一端进行定位，定位过程中，滚轴可滚动前进。
5、进一步地，所述滚轴另一端为锥形。
6、进一步地，所述固定器为圆柱形，高度高于靶材的靶坯厚度。
7、进一步地，所述伸缩杆包括依次套设的多个伸缩轴，里层的伸缩轴可沿外层伸缩轴内滑动；最外层的伸缩轴的一端与固定器连接，最内层的伸缩轴的一端与滚筒连接。
8、进一步地，所述定位器的材质为304不锈钢。
9、进一步地，所述定位器包括两个伸缩杆、两个操作手柄；所述固定器分别与两个伸缩杆连接，每个伸缩杆分别连接一个操作手柄。
10、进一步地，所述定位器用于将靶材绑定于背板上，所述固定器固定于背板上。
11、进一步地，所述固定器与背板粘接或螺纹连接。
12、与现有技术相比，上述技术方案之一或多个技术方案能达到至少以下有益效果之一：
13、（1）通过本免接触式定位器替代现有绑定方法，可有效降低操作人员被高温烫伤的风险，且减少了接触面绑定铟的丢失，更加避免了高温手套的纤维掉在绑定面。
14、（2）由滚轴支撑涂布好的靶坯，支撑涂布好的靶坯，过程直接于靶坯绑定面接触，避免工作过程滚轴接触区带走铟；另外，滚轴是滚动前进，且为有一定的角度整体呈圆锥形状，使得滚轴在滚动前进时与靶坯绑定面时线面接触，大幅度的降低了靶坯与滚轴的接触面，有效减少了滚轴带走绑定面上面绑定铟的概率；且滚轴呈圆锥形方便在靶坯与背板接触时取出。
15、（3）通过固定器减小了背板与靶坯的定位难度。
16、（4）利用多套伸缩杆既可以方便设备的存放也可用于大小尺寸不同的靶材绑定，提高了设备利用率。
1.一种靶材绑定定位器，其特征在于，所述定位器包括依次连接的固定器、可伸缩的伸缩杆、操作手柄；所述操作手柄包括滚轴、与伸缩杆连接的滚筒；所述滚筒上设有轴承，所述轴承与滚轴的一端连接；所述伸缩杆与固定器铰接或滑动连接。
2.根据权利要求1所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述伸缩杆与操作手柄铰接。
3.根据权利要求2所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述滚轴另一端为锥形。
4.根据权利要求3所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述固定器为圆柱形，高度高于靶材的靶坯厚度。
5.根据权利要求1所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述伸缩杆包括依次套设的多个伸缩轴，里层的伸缩轴可沿外层伸缩轴内滑动；最外层的伸缩轴的一端与固定器连接，最内层的伸缩轴的一端与滚筒连接。
6.根据权利要求1所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述定位器的材质为304不锈钢。
7.根据权利要求1至6任意一项所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述定位器包括两个伸缩杆、两个操作手柄；所述固定器分别与两个伸缩杆连接，每下个伸缩杆分别连接一个操作手柄。
8.根据权利要求7所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述定位器用于将靶材绑定于背板上，所述固定器固定于背板上。
9.根据权利要求8所述的靶材绑定定位器，其特征在于，所述固定器与背板粘接或螺纹连接。