网板工装的制作方法

本技术属于真空镀膜加工，适用于细长工件的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，具体涉及一种网板工装。

背景技术：

1、真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法，例如，真空镀铝、真空镀铬等；

2、派瑞林是一种新型敷形涂层材料，常用作镀膜材料用于对元件进行真空镀膜，parylene用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面；

3、经检索，申请号为cn202221439703.0，授权公告号为cn217556285u的中国实用新型专利公开了“真空镀膜机”，其包括结构本体、料架、电极、镀膜原料发生装置和真空发生装置，所述结构本体具有一镀膜腔室，所述料架和电极各安装于所述镀膜腔室内，所述料架呈托盘式结构，所述料架适于承载一个工件，所述镀膜原料发生装置适于往所述镀膜腔室输送工艺气体，所述真空发生装置与所述镀膜腔室连通并用于使所述镀膜腔室形成真空环境。本实用新型的真空镀膜机具有生产灵活，且加工经济环保的优点；

4、然而，在应用传统真空镀膜机进行真空镀膜加工过程中，我们发现，传统设备通常直接将镀膜原料通入镀膜腔室中与工件结合，对于细长工件的镀膜加工，很难保证镀膜原料与细长工件充分结合，从而导致镀膜均匀性较差，而对于多个细长工件同时镀膜的情况，还存在工件之间相互粘连的情况；

5、为解决上述问题，本申请中提出一种网板工装。

6、在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本实用新型的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

1、为解决现有技术中存在的上述问题，本实用新型提供了一种网板工装，具有使用方便、安全性高、镀膜效率高以及镀膜充分均匀的特点。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：网板工装，包括细长工件，还包括安装网板、伺服电机和旋转轴；

3、两个所述安装网板间隔分布并安装在所述旋转轴上，所述旋转轴固定在所述伺服电机的输出轴上用于通过伺服电机驱动所述旋转轴和所述安装网板旋转，所述安装网板包括具有中心孔的内转盘、外圈、连接杆和网状部，多个所述连接杆沿圆周方向等间隔固定在所述外圈与所述内转盘之间，所述网状部固定在所述内转盘的外壁、所述外圈的内壁以及两个相邻连接杆组成的空间内，所述细长工件的两端分别贯穿两个所述安装网板的网状部。

4、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述网状部为尼龙编织网。

5、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述连接杆以及所述网状部均沿圆周方向等间隔分布有四个。

6、作为本实用新型的一种优选技术方案，在所述内转盘的内壁固定有导向滑块，在所述旋转轴的外壁开设有供所述导向滑块嵌入的导向滑槽；还包括调整杆和调整螺母，在所述内转盘内开设有供所述调整杆贯穿的通孔，在所述调整杆的两端均加工有外螺纹，所述调整螺母通过螺纹旋合方式安装在所述调整杆上，且在所述内转盘的两侧均分布有调整螺母。

7、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导向滑块以及所述导向滑槽均沿圆周方向等间隔分布有四个。

8、作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导向滑块的宽度等于所述导向滑槽的槽宽。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的网板工装，适用于细长工件的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，细长工件穿插在网状部上并跟随安装网板旋转，使得工件与派瑞林充分接触，以及涂覆均匀的效果，并且使得细长工件之间相互隔离，避免细长工件之间相互粘连的问题；网状部采用尼龙编织网，使得工件不易粘连，翻转时在网孔内部可发生翻转位移，便于与派瑞林原料充分接触。

10、本申请其他附加的优点和有益效果将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

技术特征：

1.网板工装，包括细长工件(1)，其特征在于：还包括安装网板(2)、伺服电机(3)和旋转轴(4)；

2.根据权利要求1所述的网板工装，其特征在于：所述网状部(24)为尼龙编织网。

3.根据权利要求1所述的网板工装，其特征在于：所述连接杆(23)以及所述网状部(24)均沿圆周方向等间隔分布有四个。

4.根据权利要求1所述的网板工装，其特征在于：在所述内转盘(21)的内壁固定有导向滑块(211)，在所述旋转轴(4)的外壁开设有供所述导向滑块(211)嵌入的导向滑槽(41)；还包括调整杆(5)和调整螺母(7)，在所述内转盘(21)内开设有供所述调整杆(5)贯穿的通孔(212)，在所述调整杆(5)的两端均加工有外螺纹(6)，所述调整螺母(7)通过螺纹旋合方式安装在所述调整杆(5)上，且在所述内转盘(21)的两侧均分布有调整螺母(7)。

5.根据权利要求4所述的网板工装，其特征在于：所述导向滑块(211)以及所述导向滑槽(41)均沿圆周方向等间隔分布有四个。

6.根据权利要求5所述的网板工装，其特征在于：所述导向滑块(211)的宽度等于所述导向滑槽(41)的槽宽。

技术总结
本技术属于真空镀膜加工技术领域，尤其为网板工装，包括细长工件，还包括安装网板、伺服电机和旋转轴；两个所述安装网板间隔分布并安装在所述旋转轴上，所述旋转轴固定在所述伺服电机的输出轴上，所述安装网板包括具有中心孔的内转盘、外圈、连接杆和网状部；本技术的网板工装，适用于细长工件的真空镀膜加工，用于安装在真空镀膜机的真空镀膜腔室内，细长工件穿插在网状部上并跟随安装网板旋转，使得工件与派瑞林充分接触，以及涂覆均匀的效果，并且使得细长工件之间相互隔离，避免细长工件之间相互粘连的问题；网状部采用尼龙编织网，使得工件不易粘连，翻转时在网孔内部可发生翻转位移，便于与派瑞林原料充分接触。

技术研发人员：浦晓峰
受保护的技术使用者：苏州派华纳米科技有限公司
技术研发日：20221223
技术公布日：2024/1/12