一种抛光盘及双面抛光机的制作方法

本发明涉及抛光设备，尤其涉及一种抛光盘及双面抛光机。

背景技术：

1、单双面抛光机主要用于碳化硅片、硅片、蓝宝石片、陶瓷片等硬脆材料的平行平面零件高精度加工。双面抛光机在加工过程中工件与抛盘工作面之间因机械摩擦和化学反应会产生热量，抛盘表面温度会随着加工的进行逐步产生温升，抛盘工作面的温度与背面的温度差逐步加大，导致盘面发生变形变得不平，进而影响工件的加工品质。因此必须严格控制抛光盘的温度变化和形变。

2、目前现有的双面抛光机有部分带有水冷结构，水冷结构包括冷却腔体以及导流筋，形成供冷却水流过的流道。现有的流道设计思想主要为：如何避免水走捷径，尽可能使水充满腔体，从而充分冷却。因此，现有的流道设计一般具有较长的路径。然而，当同一流道内的冷却水流经较长路径后再流出冷却腔时，由于充分吸收了工作面传导来的热量，因此，冷却水流至流道后段时，温度会越来越高，这使得冷却腔内同时存在具有温差的冷却水，当前后段的冷却水温差较大时，就会影响对抛光盘的整体冷却效果，不利于盘面均匀降温。

技术实现思路

1、本发明的第一个目的在于提出一种抛光盘，该抛光盘的冷却效果较好，在工作过程中，抛光盘的工作面能够均匀降温，提升抛光质量。

2、本发明的第二个目的在于提出一种双面抛光机，该双面抛光机的抛光板在攻错过程中能够均匀地实现降温，降低抛光盘的热变形，提升抛光质量。

3、为实现上述技术效果，本发明的技术方案如下：

4、本发明公开了一种抛光盘，包括依次连接的封装盘、冷却盘和工作盘，所述工作盘背离所述冷却盘的一侧形成为工作面，所述冷却盘朝向所述工作盘的一侧与所述工作盘限定出第一冷却腔，所述冷却盘朝向所述封装盘的一侧与所述封装盘限定出第二冷却腔，第一冷却腔和所述第二冷却腔独立设置，所述第一冷却腔内的冷却介质能够与所述第二冷却腔内的冷却介质换热。

5、在一些实施例中，所述第一冷却腔包括至少一层沿所述抛光盘的周向延伸的第一冷却流道，所述第二冷却腔包括多个沿所述抛光盘的径向延伸的第二冷却流道，多个所述第二冷却流道沿所述抛光盘的周向均匀间隔设置。

6、在一些具体的实施例中，所述第一冷却腔的径向内侧具有第一进口和第一出口，所述第一冷却腔内设有分隔件，所述分隔件用于分隔所述第一进口和所述第一出口，且将所述第一冷却腔分隔为两个所述第一冷却流道。

7、在一些更的实施例中，所述分隔件包括：分隔筋，所述分隔筋连接于所述第一冷却腔的径向内侧，且用于分隔所述第一进口和第一出口；u型筋，多个所述u型筋沿所述抛光盘的周向依次排布以将所述第一冷却腔分隔为两个所述第一冷却流道；分界导流筋，所述分界导流筋设在两个所述第一冷却流道的交接处，以将位于径向内侧的所述第一冷却流道的冷却介质导向位于径向外侧的所述第一冷却流道。

8、在一些可选的实施例中，所述分隔件包括：第一导流筋，所述第一导流筋连接于所述第一冷却流道的径向外侧壁上，且沿所述抛光盘的径向朝向两个所述u型筋的连接处延伸设置；第二导流筋，所述第二导流筋连接于所述u型筋背离所述第一导流筋的一侧，且与所述第一导流筋对应设置；第三导流筋，所述第三导流筋连接于所述第一冷却流道的径向内侧壁上，且沿所述抛光盘的径向朝向所述u型筋的波谷延伸设置。

9、在一些具体的实施例中，所述第二冷却腔还包括：进液槽，所述进液槽沿所述抛光盘的周向延伸设置，且所述进液槽具有第二进口；出液槽，所述出液槽沿所述抛光盘的周向延伸设置，且所述出液槽具有第二出口；其中：每个所述第二冷却流道沿所述抛光盘的径向的两端分别与所述进液槽和所述出液槽连通。

10、在一些具体的实施例中，所述第二冷却流道为特斯拉阀通道，所述特斯拉阀通道内冷却介质的正向流动方向为所述第二冷却流道的进口朝向第二冷却流道的出口方向。

11、在一些实施例中，所述封装盘背离所述冷却盘的一侧具有散热翅片。

12、在一些实施例中，所述冷却盘的相对设置的两侧均设有密封槽，所述密封槽成对设置，所述第一冷却腔和所述第二冷却腔均形成在成对设置的两个所述密封槽之间，所述密封槽内安装有密封件，以使得所述冷却盘与所述工作盘及所述封装盘密封连接。

13、本发明还公开了一种双面抛光机，包括驱动装置和前文所述的抛光盘，所述驱动装置与所述抛光盘相连以驱动所述抛光盘转动。

14、本发明的抛光盘的有益效果：在实际工作过程中，工作盘的温度会升高，冷却盘朝向工作盘的一侧设有第一冷却腔，第一冷却腔能够对工作盘进行快速冷却，并且由于冷却盘还设有与第一冷却腔独立设置的第二冷却腔，第二冷却腔内的冷却介质能够与第一冷却腔内的冷却介质换热，使得第一冷却腔内温度升高的冷却介质迅速降温，可以降低第一冷却腔内冷却水的温差，使得第一冷却腔各处的冷却效率尽量保持一致，从而使得工作盘的工作面能够均匀降温，提升抛光质量。

15、本发明的双面抛光机的有益效果：该双面抛光机的抛光板在工作过程中能够均匀地实现降温，降低抛光盘的热变形，提升抛光质量。

16、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种抛光盘，其特征在于，包括依次连接的封装盘(100)、冷却盘(200)和工作盘(300)，所述工作盘(300)背离所述冷却盘(200)的一侧形成为工作面(310)，所述冷却盘(200)朝向所述工作盘(300)的一侧与所述工作盘(300)限定出第一冷却腔(210)，所述冷却盘(200)朝向所述封装盘(100)的一侧与所述封装盘(100)限定出第二冷却腔(220)，所述第一冷却腔(210)和所述第二冷却腔(220)独立设置，所述第一冷却腔(210)内的冷却介质能够与所述第二冷却腔(220)内的冷却介质换热。

2.根据权利要求1所述的抛光盘，其特征在于，所述第一冷却腔(210)包括至少一层沿所述抛光盘的周向延伸的第一冷却流道(211)，所述第二冷却腔(220)包括多个沿所述抛光盘的径向延伸的第二冷却流道(221)，且多个所述第二冷却流道(221)沿所述抛光盘的周向均匀间隔设置。

3.根据权利要求2所述的抛光盘，其特征在于，所述第一冷却腔(210)的径向内侧具有第一进口(218)和第一出口(219)，所述第一冷却腔(210)内设有分隔件，所述分隔件用于分隔所述第一进口(218)和所述第一出口(219)，且将所述第一冷却腔(210)分隔为两个所述第一冷却流道(211)。

4.根据权利要求3所述的抛光盘，其特征在于，所述分隔件包括：

5.根据权利要求4所述的抛光盘，其特征在于，所述分隔件包括：

6.根据权利要求2所述的抛光盘，其特征在于，所述第二冷却腔(220)还包括：

7.根据权利要求2所述的抛光盘，其特征在于，所述第二冷却流道(221)为特斯拉阀通道，所述特斯拉阀通道内冷却介质的正向流动方向为所述第二冷却流道(221)的进口朝向第二冷却流道(221)的出口方向。

8.根据权利要求1所述的抛光盘，其特征在于，所述封装盘(100)背离所述冷却盘(200)的一侧具有散热翅片。

9.根据权利要求1所述的抛光盘，其特征在于，所述冷却盘(200)的相对设置的两侧均设有密封槽(230)，所述密封槽(230)成对设置，所述第一冷却腔(210)和所述第二冷却腔(220)均形成在成对设置的两个所述密封槽(230)之间，所述密封槽(230)内安装有密封件(400)，以使得所述冷却盘(200)与所述工作盘(300)及所述封装盘(100)密封连接。

10.一种双面抛光机，其特征在于，包括驱动装置和如权利要求1-9中任一项所述的抛光盘，所述驱动装置与所述抛光盘相连以驱动所述抛光盘转动。

技术总结
本发明公开了一种抛光盘及双面抛光机，抛光盘包括依次连接的封装盘、冷却盘和工作盘，工作盘背离冷却盘的一侧形成为工作面，冷却盘朝向工作盘的一侧与工作盘限定出第一冷却腔，冷却盘朝向封装盘的一侧与封装盘限定出第二冷却腔，第一冷却腔和第二冷却腔独立设置，第一冷却腔内的冷却介质能够与第二冷却腔内的冷却介质换热。该抛光盘的冷却效果较好，在工作过程中，抛光盘的工作面能够均匀降温，提升抛光质量。

技术研发人员：任明元,梁春,刘文平,张景斌
受保护的技术使用者：苏州博宏源机械制造有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15