专利名称：大功率激光阻挡器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种大功率激光阻挡器可在激光诱导化学气相沉积(LICVD)法合成超细微粉等领域中使用。
目前世界上制备超细微粉的方法有若干种，激光诱导化学气相沉积(LICVD)法制备超细微粉，是近几年兴起的方法，并已进入规模生产阶段。
LICVD法合成超细微粉装置的工作过程是激光束通过封闭真空反应室一侧的激光入射窗口射入真空反应室，对反应气体分子流进行照射，引起反应气体分子激光光解，激光热解，激光光敏化和激光诱导化学合成反应，在一定工艺条件下，获得超细粒子空间成核和生长。然后，激光束的去向是一个需要解决的问题，尤其是大功率能伤人的激光束。现在的做法有两种一是再在真空反应室的另一侧开一个激光射出窗口，让激光束射出真空室，再以耐高温不反射材料阻挡；二是在激光束路径上设置水冷铜板，简单地加以阻挡。
第一种方法的缺点是激光窗口通常是用昂贵的晶体材料制成，且在激光化学气相反应中，需要大量的惰性保护气体吹拂窗口在真空室内的一面，以防晶体破裂而造成事故，如毒气外泄，自燃性气体爆炸等。所以，增加一个激光窗口就增加了设备运行费用，也增加了危险性。
第二种方法的缺点是未能对激光束进行有效的阻挡。金属一般对激光有较强的反射，水冷铜板只能简单地将激光束漫反射回真空室中，使其在真空室内杂乱地反射，最终被真空室壁吸收，并有很大的可能，使仍然较强的激光通过观察窗口外泄伤人，或通过激光入射窗口射出引起事故。
本实用新型的目的是提供一种将激光束有效地阻挡终止在一定的区域里，从而克服了现有方法的缺陷，且制作简单、成本低、效率高、安全可靠的大功率激光阻挡器。
大功率激光阻挡器(见附图1)，主要由激光束导管(2)，激光束反射光屏闭管(3)，阻挡并反射激光束用水冷板(4)，冷却水套(7)组成。
以下结合附图1，对本装置详细说明之附图1是本实用新型的结构图。
用金属做成的封闭形园柱体为冷却水套(7)的外壳，其一侧封死，另一侧有一园孔，即激光射出口(1)在园周侧壁上，相对开有两个园孔，一为进水口(5)，一为出水口(6)。在冷却水套(7)中，设置两根粗细不同的金属管，细管为激光束导管(2)，其两头开放，半径与冷却水套(7)一侧的激光射出口(1)同心等园，其一端即固定在激光射出口(1)的园周上；粗管为激光束反射光屏闭管(3)，其一端由倾斜放置的阻挡并反射激光用的水冷板(4)封死，另一端固定在冷却水套(7)上开有激光射出口(1)的侧壁上，半径为细管的3～4倍。而导管(2)与屏闭管(3)的组合，正处于同心园的位置。
由屏闭管(3)和水冷板(4)构成的封闭体内为真空，通过导管(2)一端的激光射出口(1)与真空反应室相连；封闭体外浸在冷却水套(7)的冷却水中。
本装置的工作过程为参与过诱导反应气体分子的化学反应后，激光束经激光射出口(1)沿激光束导管(2)的中心线射入激光束导管(2)，射在倾斜放置的水冷板(4)上，由于水冷板(4)对激光束的阻挡并反射，使激光反射到水冷空腔(8)内，并径激光束反射光屏闭管(3)和管壁和激光束导管(2)的管壁反复多次反射，吸收，最终绝大部份终止在水冷空腔(8)中。循环冷却水由进水口(5)注入，充满冷却水套(7)后由出水口(6)流出，环流的冷却水可使激光束的处理过程在较低的温度下进行，并能对水冷板(4)，激光束反射光屏闭管(3)起到保护作用。
本装置克服了现有装置的种种缺陷，且制作简单、成本低、效率高、安全可靠。
1.激光射出口；2.激光束导管；3.激光束反射光屏闭管；4.水冷板；5.进水口；6.出水口；7.冷却水套；8.水冷空腔。
权利要求1.一种大功率激光阻挡器，其特征在于用金属做成的封闭形园柱体为冷却水套(7)的外壳，其一侧封死，另一侧开一园孔，即激光射出口(1)；在园周侧壁上，相对开有两个园孔，一为进水口(5)，一为出水口(6)。在冷却水套(7)中，设置两根粗细不同的金属管，细管为激光束导管(2)，其两头开放，半径与冷却水套(7)一侧的激光射出口(1)同心等园，其一端即固定在激光射出口(1)的园周上；粗管为激光束反射光屏闭管(3)，其一端由倾斜放置的阻挡并反射激光用的水冷板(4)封死，另一端固定在冷却水套(7)上开有激光射出口(1)的侧壁上，半径为细管的3～4倍，而导管(2)与屏闭管(3)的组合，正处于同心园的位置。
2.根据权利要求1所述的阻挡器，其特征在于由屏闭管(3)和水冷板(4)构成的封闭体内为真空，通过导管(2)一端的激光射出口(1)与真空反应室相连；封闭体外浸在冷却水套(7)的冷却水中。
专利摘要本实用新型涉及一种激光光学装置，可在激光诱导化学气相沉积(LICVD)法合成超细微粉等领域中使用。本装置(见附图1)主要由激光束导管(2)，激光束反射光屏闭管(3)，倾斜放置的阻挡激光束用水冷板(4)和冷却水套(7)组成。经过本装置处理的激光束，在反复多次反射，吸收后，绝大部分最终终止在水冷空腔(8)中。
文档编号B22F9/16GK2258103SQ9524062
公开日1997年7月23日 申请日期1995年10月6日 优先权日1995年10月6日
发明者王颖 申请人:中国科学院固体物理研究所