中，所述网纹112为相互交叉的缝隙或者沟槽形成的菱形网纹，也就是说，增加了在所述圆柱111表面的可用于吸附沉积物50的缝隙，有利于吸附更多的沉积物50。
[0056]另外，本实施例中的网纹112的疏密程度在25?80TPI (Teeth per Inch)的范围内。这样的好处在于，在不增加网纹112的加工难度的情况下，进一步增加了网纹112对于沉积物的吸附能力。
[0057]需要说明的是，所述连接部110不仅限于文中提到的结构，还包括如螺纹孔等其他必要结构，本发明对此不做赘述也不作任何限制。
[0058]此外，参考图5，本发明还提供一种环件结构的制造方法，包括以下步骤:
[0059]步骤SI，提供环件；
[0060]步骤S2，形成圆柱状的连接部，所述连接部的侧壁形成有网纹；
[0061]步骤S3，将若干所述连接部固定于所述环件上。
[0062]通过上述步骤形成的环件结构能够尽量避免吸附的沉积物发生剥落的情况。
[0063]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合图6至图9对本发明的具体实施例作详细的说明。
[0064]执行步骤SI，提供环件。在本实施例中，所述环件为钽环件。钽为制作环件的常用金属，本发明对此不做赘述。
[0065]继续执行步骤S2，提供圆柱状的连接部，所述连接部的侧壁形成有网纹。在本实施例中，所述连接部也为钽连接部；
[0066]本步骤S2具体包括以下分步骤:
[0067]参考图6，执行分步骤S21，提供钽棒10 ；
[0068]参考图7，执行分步骤S22，去除所述钽棒10的端部的部分材料，以在所述钽棒的端部形成直径小于钽棒的圆柱111，所述圆柱111的侧壁用于形成所述网纹
[0069]参考图8，执行分步骤S23，对所述圆柱111进行滚花处理，以在圆柱111的侧壁形成所述网纹112 ；
[0070]在本实施例中，由于钽的质地较为坚硬，在本实施例中，滚花处理的滚花压降量在0.4?1.0毫米的范围内，以保证滚花后的网纹112的质量。
[0071]相应的，形成的网纹112的粗糙度在10?65微米的范围内，这样的好处在于在不增大加工难度的前提下，尽量增大圆柱111表面的粗糙度，有利于圆柱111吸附更多的沉积物。
[0072]另外，本实施例的网纹112的深度在0.1?0.8毫米的范围内，这样的好处在于，沉积物能够停留在网纹112的缝隙中，在溅射过程中，溅射原子不容易影响到网纹112中的沉积物，进一步避免了圆柱111上吸附的沉积物发生剥落现象。
[0073]参考图9，执行分步骤S24，去除部分钽棒10，剩余的钽棒10以及圆柱111形成所述连接部110。其中，剩余的部分钽棒10成为所述连接部110的环形凸台114，所述连接部110通过将所述环形凸台114与所述环件焊接，从而实现与环件的固定连接。
[0074]需要说明的是，以上分步骤仅为形成所述连接部110的部分步骤，在实际操作过程中，还要在所述连接部110上形成如螺纹孔等其它必要结构，这些步骤为本领域的常规步骤，本发明对此不作赘述。
[0075]执行步骤S3，将若干所述连接部110固定于所述环件上。本实施例中安装于所述环件上的连接部I1的数量为7个，但是本发明对此不作任何限定，根据实际环件的尺寸，所述连接部110的安装数量还可以如为5个等其它数量。
[0076]另外需要说明的是，本方法可以但不限于形成上述的环件结构。
[0077]虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
【主权项】
1.一种环件结构，其特征在于，包括: 环件； 固定于所述环件上的若干圆柱状的连接部，所述连接部的侧壁上设有滚花形成的网纹。
2.如权利要求1所述的环件结构，其特征在于，所述环件以及连接部的材料为钽。
3.如权利要求1所述的环件结构，其特征在于，所述环件以及连接部之间为焊接连接。
4.如权利要求1所述的环件结构，其特征在于，所述网纹的粗糙度在10?65微米的范围内。
5.如权利要求1所述的环件结构，其特征在于，所述网纹的深度在0.1?0.8毫米的范围内。
6.如权利要求1所述的环件结构，其特征在于，所述网纹为相互交叉的沟槽形成的菱形网纹。
7.如权利要求1或6所述的环件结构，其特征在于，所述网纹的疏密程度在25?80TPI的范围内。
8.—种环件结构的制造方法，其特征在于，包括: 提供环件； 形成圆柱状的连接部，所述连接部的侧壁形成有网纹； 将若干所述连接部固定于所述环件上。
9.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，提供环件的步骤包括:提供钽环件。
10.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，提供连接部的步骤包括:提供钽连接部。
11.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，形成连接部的步骤包括: 提供组棒； 去除所述钽棒的端部的部分材料，以在所述钽棒的端部形成直径小于钽棒的圆柱； 对所述圆柱进行滚花处理，以在圆柱的侧壁形成所述网纹； 去除部分钽棒，剩余的钽棒以及圆柱形成所述连接部。
12.如权利要求11所述的制造方法，其特征在于，进行滚花处理的步骤包括: 使形成的网纹的粗糙度在10?65微米的范围内。
13.如权利要求11所述的制造方法，其特征在于，进行滚花处理的步骤包括: 使形成的网纹的深度在0.1?0.8毫米的范围内。
14.如权利要求11所述的制造方法，其特征在于，进行滚花处理的步骤包括: 滚花处理的滚花压降量在0.4?1.0毫米的范围内。
15.如权利要求11所述的制造方法，其特征在于，进行滚花处理的步骤包括: 通过滚花处理在圆柱的侧壁上形成相互交叉的沟槽，使形成的网纹呈菱形。
16..如权利要求15所述的制造方法，其特征在于，所述的呈菱形的网纹的深度在0.1?0.8毫米的范围内。
17.如权利要求8所述的制造方法，其特征在于，将连接部固定于环件的步骤包括:通过焊接的方式将所述连接部固定于所述环件上。
【专利摘要】本发明提供一种环件结构及其制造方法，包括固定于所述环件上的若干圆柱状的连接部，所述连接部的侧壁上设有滚花形成的网纹。此外本发明还提供一种环件结构的制造方法，包括：提供环件；提供圆柱状的连接部，所述连接部的侧壁形成有网纹；将若干所述连接部固定于所述环件上。本发明的有益效果在于：通过对所述连接部滚花处理以形成网纹，增加了连接部表面的粗糙程度，所述的网纹能够驻留一定量的沉积物，也就是说，增加了吸附沉积物的能力，进而减小了连接部上发生剥落现象的几率。此外，网纹中驻留的沉积物不容易被溅射过程中的溅射原子影响，进一步避免了连接部上的沉积物发生剥落现象。
【IPC分类】C23C14-34
【公开号】CN104746021
【申请号】CN201310755011
【发明人】姚力军, 赵凯, 相原俊夫, 大岩一彦, 潘杰, 王学泽, 吴剑波
【申请人】宁波江丰电子材料股份有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年12月31日