和板体212的系统特别有利，这是由于对于给定数量的坩祸它减小尺寸。而且，可限制加载室200的大小和接通在加载室200的附加泵222的泵送容量。
[0109]如图2B所示，设有热屏蔽装置，该热屏蔽装置插设于蒸发单元10的外壳11与加载室200之间。
[0110]更确切地，所述热屏蔽装置于此处包括连接凸缘(压板)17，以允许将外壳11的下壁Iic挂接在加载室200的上壁上。该连接凸缘17具有与插口 12同轴的连接开口 17A并且包括冷却液(水、氮气等)在其中循环的盘管网络17B。
[0111]该连接凸缘17尤其能热隔离蒸发室100与加载室200，且避免由蒸发单元10的不同加热装置16散发的热量破坏性地影响置于加载室200中的坩祸110、120，而是相反地不干扰蒸发期间坩祸110、120中的热梯度。
[0112]这样，在加热时将蒸发室100的第一坩祸110从“热”中取出是可能，而无需等待其冷却。在取出第一坩祸110时还可将第二坩祸120导入蒸发室100中，且可在设置温度上蒸发该第二坩祸120。
[0113]而且，由于热屏蔽装置17，尽管加热第一坩祸的蒸发装置131、132在散发热量，但在第一坩祸110的蒸发过程中将第二坩祸120加载于加载室200中是可能的。该散发的热量不会对加载室200中的第二坩祸120产生显著和有害的热效应。更具体地，呈现在第二坩祸120中的待蒸发材料7的温度保持小于材料7的蒸发温度。
[0114]为实施本发明的再加载方法，最后还设有用于闭塞蒸发单元10的插口 12的闭塞装置，该闭塞有利地在坩祸110、120接合蒸发室时实施。
[0115]在图2-8和10-12所示的示例中，所示闭塞装置包括沿坩祸110、120的侧向壁
111、121固定的环形垫圈(密封垫)117、127，该环形垫圈在坩祸110、120的侧向壁111、121的下部部分中接近坩祸110、120的底部115、125沿着该侧向壁固定。
[0116]垫圈117、127的外径成，在使用加载室200的活塞212A和板体212在将坩祸110、120插入蒸发室100中时，使垫圈117、127与蒸发室100的主体101相接触。
[0117]以这种方式，在坩祸110、120被加载到蒸发室100之内时，垫圈117、127能保证蒸发室100相对于加载室200的密封性。
[0118]换句话说，由于设置在坩祸110、120上的垫圈117、127，在坩祸110、120与蒸发室100相接合时，相对于蒸发室100隔离加载室200是可能的。
[0119]在示于图9A和9B的另外的实施例中，闭塞装置包括附接在板体212周缘上的垫圈 212B。
[0120]以与前述相同的方式，垫圈212B的外径选择成，在使用加载室200的活塞212A和板体212将坩祸(在图9A和9B的情况下为第一坩祸110)插入蒸发室100中时，该垫圈212B与蒸发室100的主体101接触以便密封地封闭蒸发单元10的插口 12。
[0121]如图10所示，还设有安置在蒸发单元10的注射管道14上的阀17。
[0122]有利地，阀17例如为带有两个开启和闭合位置的“全有或全无”型密闭阀，其在蒸发室100真空时处于闭合位置，以避免蒸汽流回流到蒸发室100并向前流到较冷的加载室200而由此在加载壳202的下壁上冷凝。
[0123]在变化形式中，可在注射管道上设置串联连接的两个阀:“全有或全无”型第一密闭阀和在第一密闭阀下游的第二调节阀。
[0124]尽管可借助于蒸发装置调节输出蒸发室的蒸汽流流量，该调节阀还能够更精确地调节材料7的蒸汽流量。
[0125]优选地，这些阀被安置在蒸发单元10的外壳11中，以在使用时被加热，进而避免这些阀出现冷凝问题。
[0126]现在将参照图2到8描述真空沉积设备I的蒸发单元10的再加载方法的一个实施例。
[0127]通过接下来的详细描述将理解这种再加载方法的优点，以减少真空沉积设备I的停机时间。
[0128]如图2A所示，于此处将考虑到真空沉积设备I在运行过程中以及:
[0129]-第一坩祸110与蒸发单元10的蒸发室100相接合且被蒸发装置131、132加热，以生成经过蒸发室100的输出开孔103的蒸汽流116，和
[0130]-其包含物已被蒸发的前一坩祸130位于加载室200之内。
[0131]此刻，如前所解释的，真空沉积室20、与真空沉积室20直接相连通的外壳11、和蒸发室100处于基本相同的压力，该压力接近于真空水平，并且在10_3到10 _8T0rr。
[0132]由于垫圈117，接合在蒸发单元10的蒸发室100中的第一坩祸110能够隔离加载室200与相邻的蒸发室100和真空沉积室20。
[0133]因此可对加载室200再充气而不影响真空沉积室20的真空。
[0134]而且，在该方法的加载步骤中，开启加载室200的舱门201，以取出先前排空的坩祸130。加载室200中的压力则显著大于真空沉积室20的压力，典型地接近I个大气压。
[0135]自蒸发单元10的外部、任选地从通常称为“手套箱”的减压室在中性气氛下将第二坩祸120通过舱门201导入加载室200之内，并将该第二坩祸120沉积在加载室200的循环输送装置211上。
[0136]在将第二坩祸120导入加载室200中的步骤之后，执行封闭该加载室的封闭步骤。
[0137]该封闭步骤用于使加载室200内的压力回到与在第一坩祸110蒸发期间的蒸发室100的压力相当的水平，即大约Kr3到ΙΟΛοΓΓο
[0138]在该封闭步骤期间，相对于蒸发单元10的外部密封地关闭加载室200的舱门201，并且借助于附加泵222，实施向加载室200之内的泵送以再次达到前述压力水平。
[0139]加载室200和蒸发室100中的压力水平由此差不多，从而可以无需较大作用力和无损坏风险地取出支承第一坩祸I1的板体212。
[0140]在加载和封闭步骤期间，可以理解，由电阻131和隔热屏132加热第一坩祸110生成的蒸汽流116不会中断，因此第一坩祸110中的材料7的水平面下降(在图3和4的情况)直至该第一坩祸110排空(图5的情况)或直至该第一坩祸110中的材料7的水平面低于预定的最小阈值。
[0141]由于将活塞212A向下致动时还可从蒸发室100释放第一坩祸110，这能使第一坩祸110被从蒸发室100向加载室200传送。
[0142]换句话说，在释放步骤中，通过蒸发单元10的插口 12而从蒸发室100取出第一坩祸110，插口 12连通加载室200与蒸发室100。
[0143]该情况在图6中示出，其中第一坩祸110是排空的，搁在处于较低位置的板体212上，且充满的第二坩祸120位于加载的循环输送装置211上。
[0144]通过循环输送装置211的旋转(见图7)，转换第一坩祸110与第二坩祸120是可能的，以将第二坩祸120定位在加载室200的板体212上。
[0145]然后可通过将活塞212A向上致动而将第二坩祸120与蒸发室100相接合。
[0146]第二坩祸120然后可通过插口 12插入蒸发室100中(见图8)。
[0147]此处注意到，由于附接在第二坩祸120的主体121上的垫圈127，第二坩祸的接合步骤能够以密封的方式闭塞插口 12，以便接合步骤致使加载室200与蒸发单元的蒸发室100相隔离，并与真空沉积设备I的真空沉积室20相隔离。
[0148]如前文针对第一坩祸110所解释的，一旦通过接合第二坩祸120而保证隔离，从加载室200卸载第一坩祸110是可能的，例如用于导出一个或多个新的充满的坩祸，进而再加载蒸发单元20。
[0149]一旦与蒸发室100相接合(参照图8)，由于蒸发装置而将第二坩祸120置于蒸发条件下，以生成通过蒸发室100输出开孔的材料蒸汽流126。
[0150]因此可以理解，根据本发明的再加载方法能减少中断材料蒸汽流的持续时间。事实上，通过第一坩祸I1的释放操作和将第二坩祸120接合并设置在蒸发条件下来限制该中断。坩祸110、120体积较小，由于限制了待加热的材料7的量，可快速将坩祸110、120置于蒸发条件下。
[0151]由此，可考虑根据本发明的蒸发单元10的再加载方法能够根据几乎连接的生产速率来运行真空沉积设备I。
[0152]有利地，还可以在接合第二坩祸120与蒸发室100之前准备安置于加载室200中的第二坩祸120，以进一步减少蒸汽流的中断持续时间。
[0153]该准备步骤旨在减少将第二坩祸120设置在蒸发条件下的步骤的持续时间。
[0154]更具体地，由于加载室200的加热装置206，于此处实施第二坩祸120的预加热，直到预设的预加热温度。
[0155]优选地，调节加热装置功率以使预加热温度小于被包含在第二坩祸120中的材料7的温度，以防止所述材料7开始蒸发。
[0156]尽管已描述的根据本发明的再加载方法仅带有在加载室中等待的单个坩祸，但也可容易地设置多个坩祸。
[0157]例如，在再加载步骤中，导入与循环输送装置可容纳的数量相同的坩祸是可能的。在该情况下，加载室舱门的开启和附加泵的使用频率减小且在加载室中的温度和压力环境更加稳定。每次更换空的坩祸时，将循环输送装置上的其余的充满的坩祸之一插入。直至循环输送装置上的所有坩祸均为空的(其中一个坩祸已在蒸发室中进行蒸发中)。
[0158]而且，如图12所示，根据本发明的再加载方法可实施于其蒸发单元10具有两个蒸发室100、300的真空沉积设备I上。
[0159]通过接下来的详细描述将理解到，通过蒸发单元连续生产材料蒸汽是可能的。
[0160]在此处描述的示例中，两个蒸发室