100、300与前面描述的蒸发室100相同(参照图2到11)，且相应蒸发装置131、132、311、312也是相同的。由于管道段141、142连接到所述蒸发室100、300的输出开孔103、303上而使蒸发室100、300分别被并行安装在注射管道14上。
[0161]在两个蒸发室100、300之间在蒸发单元10中安置有由诸如铝的耐火材料制成的隔热屏，以热隔离这两个蒸发室100、300。
[0162]蒸发单元10的外壳11具有的两个插口 12、12B，以便能接合和拆接坩祸。
[0163]因此，加载室200的封闭壳202在其上壁上包括面对插口 12、12B定位的两个开口，以在第一插口 12和第二插口 12B未被闭塞时，使加载室200分别通过第一插口 12和第二插口 12B与第一蒸发室100和第二蒸发室300相连通。
[0164]而且，除了循环输送装置211和第一板体212，加载室200还具有第二板体213，该第二板体与其活塞213A联接，其可将坩祸释放和插设于第二蒸发室300中。循环输送装置211布置在加载室200中，以能够将坩祸安置在其中一个板体212、213上。
[0165]现在将描述根据本发明的再加载方法和它如何允许实现连接生产。
[0166]此处考虑到蒸发单元的初始状态如图12所示:
[0167]-被置于蒸发室100中的、几乎排空的第一坩祸110正在进行蒸发并生成通过输出开孔103的材料7的蒸汽流116，该蒸汽流则通过管道段141和注射管道14被引向注射器13(未示出);
[0168]-被置于通过附加泵222形成真空的加载室200中的、充满的第二坩祸120在循环输送装置211上等待，并通过加载室200的加热装置206进行预热；
[0169]-与第二蒸发室300接合的、充满的第三坩祸330通过电阻311被渐渐置于蒸发条件下，该电阻通过隔热屏312和蒸发室300的主体301加热该第三坩祸330。
[0170]有利地，在第一坩祸110中剩余的待蒸发材料7的量小于预设的最小阈值时，与第二蒸发室300相接合的第三坩祸330开始蒸发，以保持被从注射管道14中引向注射器13的材料流的恒定流量。
[0171]还可将“全有或全无”密封阀和/或调节阈安装在注射管道14的段141、142上，以便调节注射管道内部的蒸汽流，或者防止从一个蒸发室输出的蒸汽流污染另一个蒸发室。
[0172]在第一坩祸110排空时或在第一坩祸110中剩余的待蒸发材料7的量小于预设的下限时(该下限小于前述最小阈值)，通过再加载蒸发单元10进行替换处理。此时，第二蒸发室300接力，使由第三坩祸330生成的蒸汽流被引向注射器13，以便不中断注射到真空沉积室20中的蒸汽流量。
[0173]在该再加载期间，第一坩祸110使用板体212通过第一插孔12从第一蒸发室100释放。
[0174]接下来，将第一坩祸110从板体212卸载到循环输送装置211上，并将该循环输送装置211的第二坩祸120加载到板体212上。
[0175]然后将第二坩祸120与第一蒸发室100相接合并逐渐将其置于蒸发条件下，以在待蒸发材料7的量保留在于第二蒸发室300中进行蒸发的第三坩祸110中时，使其小于预设最小阈值。
[0176]一旦第二坩祸120与第一蒸发室100相接合，加载室200就与两个蒸发室100、300
以及真空沉积室20相隔离。
[0177]现在开启加载室200的舱门201以取出第一坩祸110并引入第四坩祸(未示出)到再充气中的加载室200中，该加载室200中的压力显著大于真空沉积室20中的压力。
[0178]最后，可进行封闭加载室200的步骤，以使该加载室200内的压力与蒸发室100、300中的压力水平相当。
[0179]当第三坩祸330排空时，可根据本发明的再加载方法实施释放第三坩祸330的步骤，以及使第四坩祸与第二蒸发室300相接合并被置于蒸发条件中的步骤。
[0180]而且，通过利用具有至少两个蒸发室和与所述蒸发室相邻的加载室的蒸发单元来执行根据本发明的再加载方法，可以不再中断传送到注射器以便注射到真空沉积设备的真空沉积室中的材料的蒸汽流。因此提供连续的生产以及滚动面对所述注射器的基质是可能的。
[0181]为限制蒸发单元的再加载频率，可有利地在蒸发单元的外壳内设置具有大数量蒸发室的筒体(桶)，各个蒸发室分别设置有其各自的蒸发装置和其各自的在所述室输出端的阀系统。
[0182]可利用聚集与蒸发室的数量相对应的多个坩祸的“加载器”一次性加载该筒体，以便提供能同时接合所有坩祸及其各自的蒸发室的加载器。
[0183]该蒸发单元的再加载方法则包括:
[0184]-第二加载器的加载步骤，聚集每个都包含待蒸发材料的多个坩祸在预先与筒体的待蒸发室相邻的所述加载室中，所述加载室中的压力显著大于真空沉积室内的压力，
[0185]-在所述引导步骤之后，封闭所述加载室的封闭步骤，用于将所述加载室内部的压力再次置于与筒体的蒸发室中的压力相当的水平，
[0186]-在所述封闭步骤之后，在所述筒体将第一加载器向所述加载室传送时，释放所述第一加载器与所述筒体的步骤，
[0187]-在所述释放第一加载器的步骤之后，接合所述第二加载器与所述蒸发室的筒体的步骤，和
[0188]-在接合所述第二坩祸的所述步骤之后，将所述第二加载器的所述坩祸设置在蒸发条件下。
【主权项】
1.用于蒸发单元(10)的再加载方法，该蒸发单元用于蒸发待沉积到基质(2)上的材料(7)，该基质被安置于真空沉积室(20)中，使包含所述待蒸发材料(7)的第一坩祸(110)与所述蒸发单元(10)的蒸发室(100)相接合，设置蒸发装置(101，131，132)以将所述第一坩祸(110)置于蒸发条件下，以生成经过所述蒸发室(100)的输出开孔(103)的材料蒸汽流(116)，所述输出开孔(103)附接在注射器(13)上，以将所述蒸汽注射到所述真空沉积室(20)中， 所述再加载方法包括: -向加载室(200)中加载含有待蒸发材料的第二坩祸(120)的步骤，该加载室是预先与所述相邻蒸发室(100)隔离的，所述加载室(200)中的压力显著大于该真空沉积室(20)中的压力， -在所述引入步骤之后，封闭所述加载室(200)的封闭步骤，用于使所述加载室(200)内的压力回到与所述第一坩祸(110)蒸发时所述蒸发室(100)中的压力相当的水平， -在所述封闭步骤之后，从所述蒸发室(100)释放所述第一坩祸(110)的步骤，在该释放步骤期间所述第一坩祸(110)被从所述蒸发室(100)转移到所述加载室(200)， -在释放所述第一坩祸(110)的所述步骤之后，使所述第二坩祸(120)与所述蒸发室(100)接合的步骤，和 -在接合所述第二坩祸(120)的所述步骤之后，将所述第二坩祸(120)置于蒸发条件下的步骤，用以生成经过该蒸发室(100)的所述输出开孔(103)的材料(7)的蒸汽流(126)， 其特征在于，在接合所述第二坩祸(120)的所述步骤中，使所述加载室(200)与所述蒸发室(100)以及与所述真空沉积室(20)相隔离。2.根据权利要求1所述的再加载方法，其特征在于，在加载所述第二坩祸(120)的所述步骤中，开启所述加载室(200)的舱门(201)，并从所述蒸发单元(10)的外部将所述第二坩祸(120)经过所述舱门(201)引入所述加载室(200)中。3.根据权利要求2所述的再加载方法，其特征在于，在所述封闭步骤中，关闭所述舱门(201)以便相对于所述蒸发单元(10)的外部密封，并在所述加载室(200)内进行泵送。4.根据权利要求1至3之一所述的再加载方法，其特征在于: -在释放第一坩祸(110)的所述步骤中，通过使之穿过插口(12)来将所述第一坩祸(110)从所述蒸发室(100)取出，该插口使所述加载室(200)与所述蒸发室(100)相连通；以及 -在所述第二坩祸(120)的所述接合步骤中，通过使之穿过所述插口(12)来将第二坩祸(120)插入所述蒸发室(100)中，密封地闭塞所述插口(12)以隔离所述加载室(200)和所述蒸发室(100)。5.根据权利要求1至4之一所述的再加载方法，其特征在于，在使所述第二坩祸(120)与所述蒸发室(100)接合的所述步骤之前，该方法包括在所述加载室(200)中准备所述第二坩祸(120)的步骤，用以减少将所述第二坩祸(120)置于蒸发条件下的所述步骤的持续时间。6.根据权利要求5所述的再加载方法，其特征在于，所述准备步骤包括在所述加载室(200)中预加热所述第二坩祸(120)直至预设的预加热温度的步骤。
【专利摘要】本发明涉及用于将材料(7)蒸发到安放在真空沉积室中的基质上的蒸发单元(10)的再加载方法，使包含待蒸发材料的第一坩埚(110)与该蒸发单元的蒸发室(100)接合，设置蒸发装置(101，131，132)以将第一坩埚置于蒸发条件下以便生成材料蒸汽流(116)。该再加载方法包括：将含有待蒸发材料的第二坩埚(120)加载入与相邻蒸发室预先隔离的加载室(200)中的步骤，该加载室中的压力显著大于真空沉积室中的压力；在所述引入步骤之后的封闭步骤，用于使加载室内的压力回到与蒸发第一坩埚时蒸发室的压力相当的水平；释放步骤，在该步骤中第一坩埚被从蒸发室转移到加载室；接合第二坩埚与蒸发室的步骤；和将第二坩埚置于蒸发条件下的步骤。
【IPC分类】C23C14/24
【公开号】CN104911545
【申请号】CN201510164034
【发明人】D·埃斯特韦, F·施特梅伦, C·德奥利维拉
【申请人】瑞必尔
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2015年3月3日
【公告号】EP2915897A1, US20150247234