[0090]31截流阀/阀门装置
[0091]32供气装置
[0092]32'质量流调节器
[0093]33压力传感器
[0094]33r压力传感器
[0095]35节流阀
[0096]36真空泵
[0097]37气体净化装置/洗涤器
[0098]38过滤器/净化机构
[0099]Pf第一总压力
[0100]Pe处理室压力
[0101]Pt第二总压力
【主权项】
1.一种具有反应器(3)的设备，在彼此不同的处理步骤中能够向所述反应器(3)内输入彼此不同的处理气体，并且所述反应器(3)具有废气管道(5)，在彼此不同的处理步骤中通过所述废气管道(5)能够将彼此不同的废气导出所述反应器(3)，所述设备还具有第一废气装置(10)，所述第一废气装置(10)借助阀门装置(11、21)能够与所述废气管道(5)流动连接并与之断开，所述设备还具有第一净化机构(18)，用于处理在彼此不同的处理步骤的第一处理步骤中产生的废气，所述设备还具有布置在所述阀门装置(11、21)和所述第一净化机构(18)之间的第一供气装置(12)，用于供给第一补偿气体，所述设备还具有第一压力传感器(13)，用于获取所述第一废气装置(10)中的第一总压力(Pf)，并且所述设备还具有第二废气装置(20)，所述第二废气装置(20)借助所述阀门装置(11、21)能够与所述废气管道(5)流动连接并与之断开，所述设备还具有第二净化机构(28)，用于处理在彼此不同的处理步骤的第二处理步骤中产生的废气，所述设备还具有布置在所述阀门装置(11、21)和所述第二净化机构(28)之间的第二供气装置(22)，用于供给第二补偿气体，所述设备还具有第二压力传感器(23)，用于获取所述第二废气装置(20)中的第二总压力(Ρτ)，其中，设有控制装置(9)，所述控制装置(9)的调节量是第一废气装置(10)中的总压力(Pf)与第二废气装置(20)中的总压力(Pt)之间的压力差，并且如此设置所述控制装置(9)，使得至少在所述阀门装置(11、21)转换时将该压力差调整到零。2.—种运行反应器(3)的方法，尤其作为存储在数据存储器中的控制程序，在彼此不同的处理步骤中向所述反应器(3)内输入彼此不同的处理气体，并且其中，在彼此不同的处理步骤中通过废气管道(5)将彼此不同的废气导出所述反应器(3)，其中，在第一处理步骤中第一废气装置(10)借助阀门装置(11、21)与所述废气管道(5)流动连接，并且至少一个第二废气装置(20)与所述废气管道(5)断开，其中，第一废气通过第一废气装置(10)的第一净化机构(18)处理，并且借助尤其具有第一质量流调节器(12')的第一供气装置(12)在所述阀门装置(11、21)和所述第一净化机构(18)之间供给第一补偿气体，并且通过第一压力传感器(13)获取所述第一废气装置(10)中的总压力(Pf)，其中，在第二处理步骤中第二废气装置(20)借助阀门装置(11、21)与所述废气管道(5)流动连接，并且至少所述第一废气装置(10)与所述废气管道(5)断开，其中，第二废气通过第二废气装置(20)的第二净化机构(28)处理，并且借助尤其具有第二质量流调节器(22')的第二供气装置(22)在所述阀门装置(11、21)和所述第二净化机构(28)之间供给第二补偿气体，并且通过第二压力传感器(23)获取所述第二废气装置(20)中的总压力(Pt)，其中，借助控制装置(9)至少在所述阀门装置转换时将第一废气装置(10)中的总压力(Pf)与第二废气装置(20)中的总压力(Pt)之间的压力差调整到零。3.按照权利要求1所述的设备或权利要求3所述的方法，其特征在于，第一或第二补偿气体分别是惰性气体、尤其氮气。4.按照前述权利要求中任一项所述的方法或设备，其特征在于，所述控制装置(9)的执行机构是质量流调节器(12'、22')和/或一个或多个布置在泵(16、26)上游的节流阀(16,26)。5.按照前述权利要求中任一项所述的设备或前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一净化机构(18)是过滤器和/或所述第二净化机构(28)是冷却塔。6.按照前述权利要求中任一项所述的设备，其中所述设备具有用于控制方法流程的控制装置，或者按照前述权利要求中任一项所述的方法，其中该方法的特征在于，处理步骤、尤其第一处理步骤是基板覆层步骤，其中，向所述反应器(3)内输入尤其氢化物、尤其NH3。7.按照前述权利要求中任一项所述的设备，其中所述设备具有用于控制方法流程的控制装置，或者按照前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，处理步骤、尤其第二处理步骤是清洗步骤，其中，向所述反应器(3)内输入清洗气体、尤其是含有卤素、尤其(:12的气体。8.按照前述权利要求中任一项所述的设备或按照前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，借助所述阀门装置(11、21)能够与所述废气管道(5)流动连接并与之断开的第三废气装置(30)，所述第三废气装置(30)具有第三净化机构(38)，所述第三废气装置(30)还具有尤其具备第三质量流调节器(32')的第三供气装置(32)，用于供给第三补偿气体，并且所述第三废气装置(30)还具有第三压力传感器(33)，用于获取所述第三废气装置(30)中的总压力，其中，所述控制装置(9)将所述第三废气装置(30)中的总压力调整到所述第一或第二废气装置(10、20)中的总压力。9.按照前述权利要求中任一项所述的设备或按照前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所有废气装置(10、20、30)分别具有节流阀(15、25、35)和/或至少一个废气装置(10,20,30)没有节流阀(15、25、35)。10.按照前述权利要求中任一项所述的设备或按照前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述阀门装置(11、21、31)具有两个或三个能够独立转换的单个阀门(11、21、31)，它们在上游与所述废气管道(5)相连接并且在下游与所述废气装置(10、20、30)相连接。11.按照前述权利要求中任一项所述的设备或按照前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述压力传感器(13、23、33)布置在所述净化机构(18、28、38)的上游并且尤其布置在供气装置(12、22、32)和净化机构(18、28、38)之间。12.按照前述权利要求中任一项所述的设备或按照前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，布置在所述净化机构(18、28、38)下游的另外的压力传感器(13'、23'、33r )，用于获取废气装置(10、20、30)中的总压力。13.按照前述权利要求中任一项所述的设备或按照前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，每个废气装置(10、20、30)均具有沿流动方向布置在各自的真空泵(16、26,36)后面的气体净化装置(17、27、37)。14.按照前述权利要求中任一项所述的设备，其中所述设备具有用于控制方法流程的控制装置，或者按照前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，当进行第一处理步骤时，由控制装置(9)尤其通过改变节流阀(15)的阀位，将由压力传感器⑷获取的处理室压力(Pk)保持在额定值上，在从第一处理步骤向第二处理步骤转换之前，将所述第一废气装置(10)的总压力(Pf)和所述第二废气装置(20)的总压力(Pt)分别调整到同一个额定值上，在这两个废气装置(10、20)中的总压力(PF、PT)稳定之后，首先打开所述阀门装置的使所述第二废气装置(20)与所述废气管道(5)相连接的截止阀(21)，并且随后关闭所述阀门装置的使所述第一废气装置(10)与所述废气管道(5)相连接的截止阀(11)，并且之后，所述控制装置(9)通过改变节流阀(25)的阀位，将由压力传感器(4)获取的处理室压力(Pk)调整到额定值上。15.一种设备或方法，其特征在于前述权利要求中任一项所述的一个或多个特征。
【专利摘要】本发明涉及一种具有反应器(3)的设备，在不同的处理步骤中向反应器(3)内输入不同的处理气体，反应器(3)具有废气管道(5)，在不同的处理步骤中通过废气管道(5)将不同的废气导出反应器(3)，具有第一和第二废气装置(10、20)，它们借助阀门装置(11、21)可选地与废气管道(5)流动连接并与之断开，具有净化机构(18、28)，用于处理在不同的处理步骤中产生的废气，具有布置在阀门装置(11、21)和相应净化机构(18、28)之间的供气装置(12、22)，用于供给补偿气体，具有压力传感器(13、23)，用于获取相应废气装置(10、20)的总压力(PF、PT)，设有控制装置(9)，其调节量是两个废气装置(10、20)的总压力之间的压力差，并且设置控制装置(9)，使得至少在阀门装置(11、21)转换时将该压力差调整到零。
【IPC分类】C23C16/44
【公开号】CN104975270
【申请号】CN201510334210
【发明人】P·弗兰肯, M·德费尔
【申请人】艾克斯特朗欧洲公司
【公开日】2015年10月14日
【申请日】2015年4月14日
【公告号】DE102014105294A1, US20150292083