一种应用于镀膜制程的叉车的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于光学镀膜领域，特别涉及一种安装有载盘的应用于镀膜制程的叉车，用于降低晶片的破损量和灰尘污染。
【背景技术】
[0002]目前，光学薄膜通常是在光学组件或独立基板上镀上一层或多层介电质膜或金属膜来改变光波传送特性，广泛应用于光学仪器。在光学镀膜过程中，为了制作高纯度的薄膜，镀膜制程须在高真空环境下完成，以电子枪或电阻式加热薄膜材料，将其由固态转化为气态或离子态，进而沉积在基板上逐渐形成薄膜。
[0003]在半导体元件制造中，需在晶片的背面镀上反射镜膜(如分布布拉格反射镜，英文缩写为DBR)改变晶片的出光方向。在进行光学镀膜前，首先需将待镀晶片固定在伞状镀锅上，然后将镀锅安装于光学镀膜机腔体内，进行光学镀膜；当镀膜完成后，需将镀锅从光学镀膜机卸下，进而将已镀晶片取下，在安装和卸下镀锅的过程中，由于镀锅体积和重量均较大，需借助叉车移动镀锅。现有技术中，叉车由底座、安装于底座上的竖直滑轨、沿滑轨升降的升降台以及安装于升降台首末端的4个支架组成，镀锅倒扣于工件盘上，工件盘放置于支架上，叉车通过升降工件盘移动镀锅位置。由于工件盘为环形结构以及升降台为框架结构，当叉车升降镀锅时，放置于镀锅上的晶片容易受升降台的震动而掉落至地面，尤其当镀锅处于较高位置时，掉落高度产生的地面冲击力较大容易产生晶片破损。同时，车间空气和地面上的灰尘也易污染晶片，导致镀膜不均匀。
【发明内容】
[0004]为了解决上述不足，本实用新型提供了一种应用于镀膜制程的叉车，用于移动镀锅，其包括:底座、固定于底座上的竖直滑轨、沿滑轨升降的水平升降台、安装于升降台首末端的支架、放置于所述支架上方的工件盘，其特征在于:在所述支架与所述工件盘之间设置实心的载盘。
[0005]优选的，所述支架上固定有固定件，所述载盘边缘具有多个开口和紧邻于开口的孔口，所述载盘通过所述固定件穿过所述孔口安装在所述叉车上。
[0006]优选的，所述载盘为透明有机玻璃板或透明陶瓷板或透明玻璃纤维板。
[0007]优选的，所述载盘形状为方形或圆形。
[0008]优选的，所述载盘的面积大于所述工件盘的面积，使其均处于所述载盘上。
[0009]优选的，所述载盘的厚度至少为8mm。
[0010]优选的，所述开口数目与所述支架数目一致，至少为4个；所述固定件和所述孔口数目一致，至少为4组，每组至少5个。
[0011]优选的，所述固定件为螺栓。
[0012]优选的，所述升降台为方形框架结构。
[0013]本实用新型提供的应用于镀膜制程的叉车，其通过在支架和工件盘中间设置载盘，当晶片由于震动掉落时，将掉落至载盘上而非地面，因此降低晶片掉落的高度，进而减少破损量，同时也可减少来自地面和空气中污染物对晶片的污染。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型之载盘俯视图。
[0015]图2为本实用新型之叉车俯视示意图。
[0016]图3为放置有镀锅的本实用新型之叉车侧视图。
[0017]附图标注:1:载盘；11:开口 ； 12:孔口 ；2:滑轨；3:升降台；4:支架；41:固定件；5:底座；6:工件盘；7:镀锅；71:晶片。
【具体实施方式】
[0018]下面结合附图和具体实施例，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
[0019]请参看图1至图3，载盘I放置于支架4上，用于在安装和卸下镀锅7的过程中承载工件盘6和放置有晶片71的镀锅7。镀膜前安装镀锅7时，为便于操作人员从升降台3下方操作叉车，使镀锅7与镀膜机腔体中的安装位置对准，因此载盘I需具有透明的特性；镀膜完成后，镀锅7刚卸下时温度为160°C，并且需放置于载盘I上，因此载盘I需具有至少耐160°C高温的特性；因此，载盘I可为透明有机玻璃板或透明陶瓷板或透明玻璃纤维板，本实用新型中优先选用透明有机玻璃板。而由于工件盘6和放置有晶片71的镀锅7重量较大，因此，承载晶片的载盘I需提供足够的承载力，载盘I的形状可为方形或圆形、厚度至少为8_以上，面积大于工件盘6的面积，本实施例中，优选与镀膜机腔体形状匹配的圆形载盘I，其厚度为8_，圆形载盘I的直径为1170mm。
[0020]为了使载盘I可牢固地安装于支架4上，载盘I边缘开设有多个开口 11和紧邻于开口的孔口 12，支架4上固定有固定件，载盘I通过固定件41穿过孔口 12固定安装于支架4上；为了使载盘I与支架14稳定固定，开口 11形状和大小与支架4匹配，开口数目与支架4数目一致，本实用新型优选4个开口，固定件41和孔口 12数目一致，至少为4组，每组至少为5个，本实施例优选固定件12为螺栓，孔口 12设为4组，每组5个。
[0021]在安装和卸下镀锅7的过程中，多个晶片71放置于镀锅7上，镀锅7倒扣于工件盘6上，工件盘6放置于载盘I上，载盘I通过固定件41穿过孔口 12固定于支架4上，并且开口 11形状与支架4匹配，其通过卡嵌加固载盘I。叉车通过升降升降台3进而整体升降镀锅7、工件盘6和载盘1，工件盘6为环形结构，升降台为方形框架结构。在升降过程中，当镀锅7发生震动时，其上晶片71穿过工件盘6掉落至载盘上I上，如此，相较于现有技术中，晶片71穿过环形的工件盘6和方形框架结构的升降台3掉落至地面上，载盘I对晶片的冲击力大大降低，从而减少了晶片的破损量；并且，载盘I减少了来着地面和周围空气中灰尘对晶片71的污染，进而提高了镀膜均匀性。
[0022]应当理解的是，上述具体实施方案为本实用新型的优选实施例，本实用新型的范围不限于该实施例，凡依本实用新型所做的任何变更，皆属本本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种应用于镀膜制程的叉车，包括:底座、固定于底座上的竖直滑轨、沿滑轨升降的水平升降台、安装于升降台首末端的支架、放置于所述支架上方的工件盘，其特征在于:在所述支架与所述工件盘之间设置实心的载盘。
2.根据权利要求1所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述支架上固定有固定件，所述载盘边缘具有多个开口和紧邻于开口的孔口，所述载盘通过所述固定件穿过所述孔口安装在所述叉车上。
3.根据权利要求1所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述载盘为透明有机玻璃板或透明陶瓷板或透明玻璃纤维板。
4.根据权利要求1所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述载盘形状为方形或圆形。
5.根据权利要求1所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述载盘的面积大于所述工件盘的面积，使其均处于所述载盘上。
6.根据权利要求1所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述载盘的厚度至少为8_。
7.根据权利要求2所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述载盘的开口数目与所述支架数目一致，至少为4个。
8.根据权利要求2所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述固定件和所述孔口数目一致，至少为4组，每组至少5个。
9.根据权利要求2所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述固定件为螺栓。
10.根据权利要求1所述的一种应用于镀膜制程的叉车，其特征在于:所述升降台为方形框架结构。
【专利摘要】一种应用于镀膜制程的叉车，包括：底座、固定于底座上的竖直滑轨、沿滑轨升降的水平升降台、安装于升降台首末端的支架、放置于所述支架上方的工件盘，其特征在于：在所述支架与所述工件盘之间设置实心的载盘。利用本实用新型提供的叉车，在镀膜制程中，可有效降低晶片的破损量和灰尘污染。
【IPC分类】C23C14-00
【公开号】CN204311128
【申请号】CN201420793223
【发明人】张佳佳, 郑烨, 尚林鹏, 朱发明, 叶华升, 邱智中, 余学志, 邱树添
【申请人】安徽三安光电有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年12月16日