一种多功能离子镀轴承滚珠镀膜装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于一种镀膜装置，具体涉及一种多功能离子镀轴承滚珠镀膜装置。
【背景技术】
[0002]轴承是在机械传动过程中起固定和减小载荷摩擦系数的部件。它的主要功能是支撑机械旋转体，用以降低设备在传动过程中的机械载荷摩擦系数。轴承是装备制造业中重要的、关键的基础零部件，直接决定着重大装备和主机产品的性能、质量和可靠性，被誉为装备制造的“心脏”部件。
[0003]离子镀是在真空条件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离，并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下，将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。本装置所应用的多功能离子镀设备即包括磁控溅射离子镀和多弧离子镀两种功能。
[0004]在镀膜过程中，滚珠的镀膜一直是难点所在。整个球体在真空室内需要完整镀膜，不能有任何遗漏或厚度不均匀的部位。传统装置夹具都是将需要镀膜的工件固定住，这就势必导致工件的某些部位不能外露，就无法镀膜。因此普通装置夹具不能适应球体的镀膜需求，设计一种适合球体镀膜的装置是必要的。
【实用新型内容】
[0005]为了解决上述问题，设计本实用新型的目的在于:提供一种多功能离子镀轴承滚珠镀膜装置，实现滚珠镀膜的功能，保证镀膜完整均匀。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型包括:所述装置包括旋转平台，导电支撑柱，转动轴，支撑座，万向节，动力输入轴；
[0007]其中，需镀膜滚珠置于导电支撑柱之上，由周围柱头支撑，柱头高度不同，柱头内低外高，旋转平台上部有可拆卸的均匀布满圆孔的平板，孔径与导电支撑柱相同，导电支撑柱固定在旋转平台上，并随旋转平台转动；动力输入轴将动力从外部引入，并通过万向节将转矩传递给旋转平台；旋转平台与水平面呈20°?30°夹角。
[0008]进一步，最外圈导电支撑柱比次外圈高出至少2cm。
[0009]进一步，旋转平台上有相互垂直的立板，将旋转平台分割成四个区域，每个区域放置一个滚珠。
[0010]其中，滚珠由导电支撑柱支撑，能够将外部偏压从外部通过动力输入轴、旋转平台、导电支撑柱传给滚珠。导电支撑柱均匀固定在旋转平台上，并随旋转平台转动。动力输入轴将动力从外部引入，并通过万向节将转矩传递给旋转平台。
[0011 ] 所述导电支撑柱间距小于球体直径，间距为0.4?0.6 X球体直径，使镀膜球体能够卡在3?4个导电支撑柱尖上，且不会掉到导电支撑柱间的空隙。导电支撑柱高度不同，内圈导电支撑柱较低，外圈较高。最外圈导电支撑柱高度高出次外圈至少2cm，保证镀膜球体不会掉出旋转平台外。
[0012]所述旋转平台能够固定导电支撑柱，保证导电支撑柱垂直旋转平台表面，旋转平台与水平面呈20°?30°夹角，并沿中心轴转动。旋转平台上可以安装与旋转平台平面垂直的若干个立板，将旋转平台分隔成若干个区域，确保滚珠之间不会相互碰撞。
[0013]所述万向节可以将转矩从竖直的动力输入轴传递到倾斜的旋转转盘上。
[0014]滚珠镀膜后随机测量膜层厚度，厚度为2.2 μ m。本实用新型的有益技术效果在于:本实用新型能够满足轴承滚珠的真空离子镀膜要求，镀膜后表面粗糙度，圆度和膜层厚度都能得到保证，解决了滚珠镀膜不均匀，镀膜效果差的问题。
[0015]装置体积小巧，可在空间有限的镀膜设备真空室内放置多个镀膜装置，提高效率。
[0016]本实用新型可用于不同直径的滚珠轴承镀膜。更换旋转平台上布满圆孔的平板，重新调整孔间距，即可为不同滚珠镀膜，其余零件均无需更换。
【附图说明】
[0017]图1为本实用新型的整体示意图；
[0018]图2为本实用新型图1的A向视图；
[0019]其中附图1标记:1.滚珠2.导电支撑柱3.旋转平台4.支撑座5.万向节6.动力输入轴。
【具体实施方式】
[0020]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型的技术方案作进一步详细的描述，但不作为对本实用新型的限定。
[0021]本实用新型包括滚珠1，导电支撑柱2，旋转平台3，支撑座4，万向节5，动力输入轴6。其中，滚珠I由导电支撑柱2支撑。旋转平台3上部有可拆卸的均匀布满圆孔的平板，孔径与导电支撑柱相同，这样导电支撑柱2就可以均匀固定在旋转平台上，并随旋转平台3转动。动力输入轴6将动力从外部引入，并通过万向节5将转矩传递给旋转平台3。
[0022]在进行滚珠镀膜时，进行如下步骤:将滚珠I放置在旋转平台3下沿的导电支撑柱2上，使镀膜滚珠I能够由柱头平稳支撑。启动电机，动力输入轴6通过万向节5带动旋转平台3沿中心轴转动，滚珠I随旋转平台3旋转并升高。滚动滚珠I到一定高度以后，滚珠I的重心移动到支撑的导电支撑柱2外，滚珠I向下滚落到下沿，最外圈导电支撑柱2起保护作用，保证滚珠I不会滚落到旋转平台外。同时，旋转平台上垂直的立板又保证了将滚珠分离的作用，避免了钢球间相互碰撞放电的问题。滚珠I稳定后再次升高，滚落，不断循环，从而达到滚珠I整个球面完全镀膜的镀膜要求，并且保证滚珠I绕中心轴的公转和绕自身自转的复合运动，完成滚珠I表面的镀膜处理。
【主权项】
1.一种多功能离子镀轴承滚珠镀膜装置，其特征在于:所述装置包括旋转平台，导电支撑柱，转动轴，支撑座，万向节，动力输入轴； 其中，需镀膜滚珠置于导电支撑柱之上，由周围柱头支撑，柱头高度不同，柱头内低外高，旋转平台上部有可拆卸的均匀布满圆孔的平板，孔径与导电支撑柱相同，导电支撑柱固定在旋转平台上，并随旋转平台转动；动力输入轴将动力从外部引入，并通过万向节将转矩传递给旋转平台；旋转平台与水平面呈20°?30°夹角。
2.根据权利要求1所述一种多功能离子镀轴承滚珠镀膜装置，其特征在于:最外圈导电支撑柱比次外圈高出至少2cm。
3.根据权利要求1所述一种多功能离子镀轴承滚珠镀膜装置，其特征在于:旋转平台上安装与旋转平台平面垂直的若干个立板，将旋转平台分隔成若干个区域，每个区域放置一个滚珠。
【专利摘要】本实用新型为一种多功能离子镀轴承滚珠镀膜装置，满足轴承滚珠的镀膜要求。实用新型包括布满导电支撑柱的旋转平台，及传动、支撑机构。所述旋转平台特征在于:滚珠置于导电支撑柱之上，由周围柱头支撑，柱头高度不同，所述导电支撑柱由旋转平台固定，柱头朝上。旋转平台与水平面呈一定夹角。本实用新型优点是：滚珠整个球面可以均匀镀膜，结构简单，易于加工制造，实用性、通用性强，镀膜质量高，成品率好。
【IPC分类】C23C14-00
【公开号】CN204311127
【申请号】CN201420438542
【发明人】汪瑞军, 王亦奇, 李振东, 梁爱凤, 鲍曼雨
【申请人】北京金轮坤天科技发展有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年8月6日