一种研磨机的下研磨盘的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及蓝宝石加工设备技术领域，具体涉及一种研磨机的下研磨盘。
【背景技术】
[0002] 蓝宝石晶片精研磨（单面研磨）的目的是为了进一步提高面形精度和降低表面粗 糙度、表面损伤层。目前，现有的研磨机存在两个问题：第一，因研磨液的磨粒采用W7金刚 石微粉，而蓝宝石的硬度又高达9,在研磨时会产生高热，如不能很好散热会使蓝宝石片发 生翘曲形变，长时间还会使研磨盘变形，严重影响蓝宝石片的平面度；第二，磨粒完好地嵌 入研磨盘中，研磨加工过程中磨粒对工件只实施延性切削作用，可以保证蓝宝石晶片表面 质量。为了能使磨粒嵌入顺利，推荐采用软材质研磨盘，但太软则容易使磨粒全部嵌入；同 时为了使研磨盘不至于很快变形和磨损，能持久维持其平面度，则推荐耐磨损的硬质材料， 因此研磨盘材质对于材料去除速率、表面粗糙度、平面度、研磨均匀性具有重要作用，存在 一个最优化的选择准则，通常使用铸铁十字槽形研磨盘、纯铜、合成锡三种研磨盘，但是这 三种研磨盘都存在缺陷。 【实用新型内容】
[0003] 本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种结构设计合理，能够极大改善蓝宝 石衬底表面的粗糙度和均匀性的研磨机的下研磨盘。
[0004] 本实用新型所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现：
[0005] 一种研磨机的下研磨盘，包括紧固螺钉、压板、陶瓷盘、蓝宝石片、研磨盘和水冷系 统，所述研磨盘固定在压板上，研磨盘上设置有陶瓷盘，陶瓷盘上安放有蓝宝石片，所述研 磨盘下方设置有水冷系统，水冷系统通过紧固螺钉与研磨盘连接。
[0006] 所述研磨盘选用树脂铜盘。
[0007] 所述研磨盘表面设置成螺纹状态，目的是利用螺纹槽贮存新的研磨液。
[0008] 本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单、设计合理，为了使研磨盘能良好 的散热，避免其很快变形和磨损，在其下方增加的水冷系统，能起到显著的效果。
【附图说明】
[0009] 图1为本实用新型结构示意图。
[0010] 其中：1-紧固螺钉；2-压板；3-陶瓷盘；4-蓝宝石片；5-研磨盘；6-水冷系统。
【具体实施方式】
[0011] 为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下 面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
[0012] 一种研磨机的下研磨盘，包括紧固螺钉1、压板2、陶瓷盘3、蓝宝石片4、研磨盘5 和水冷系统6,研磨盘5固定在压板2上，研磨盘5上设置有陶瓷盘3,陶瓷盘3上安放有蓝 宝石片4,研磨盘5下方设置有水冷系统6,水冷系统6通过紧固螺钉1与研磨盘5连接，研 磨盘5选用树脂铜盘，研磨盘5表面设置成螺纹状态，用于贮存新的研磨液。
[0013] 本实用新型是这样实现的，研磨盘5转动时把研磨液甩到盘面与工件之间，同时 使用过的研磨液通过螺旋槽排出。蜡贴上蓝宝石片4的陶瓷盘3与研磨盘5同时旋转，研 磨液在盘面与蓝宝石片工件之间产生研磨作用。为使研磨盘5能良好散热，一方面选用散 热性能好，耐磨性强的研磨盘，一方面在研磨盘5下方增加的水冷系统6能起到辅助散热的 作用。
[0014] 实验表明，不同的研磨盘材质精研磨晶片的指标也不相同，通过如下表格可以明 确显不：
[0015]
【主权项】
1. 一种研磨机的下研磨盘，包括紧固螺钉、压板、陶瓷盘、蓝宝石片、研磨盘和水冷系 统，所述研磨盘固定在压板上，研磨盘上设置有陶瓷盘，陶瓷盘上安放有蓝宝石片，所述研 磨盘下方设置有水冷系统，水冷系统通过紧固螺钉与研磨盘连接。
2. 根据权利要求1所述一种研磨机的下研磨盘，其特征在于：所述研磨盘选用树脂铜 盘。
3. 根据权利要求1所述一种研磨机的下研磨盘，其特征在于：所述研磨盘表面设置成 螺纹状态。
【专利摘要】一种研磨机的下研磨盘，属于蓝宝石加工设备技术领域，包括紧固螺钉、压板、陶瓷盘、蓝宝石片、研磨盘和水冷系统，所述研磨盘固定在压板上，研磨盘上设置有陶瓷盘，陶瓷盘上安放有蓝宝石片，所述研磨盘下方设置有水冷系统，水冷系统通过紧固螺钉与研磨盘连接，所述研磨盘选用树脂铜盘，所述研磨盘表面设置成螺纹状态，目的是利用螺纹槽贮存新的研磨液。本实用新型结构简单、设计合理，为了使研磨盘能良好的散热，避免其很快变形和磨损，在其下方增加的水冷系统，能起到显著的效果。
【IPC分类】B24B55-02, B24B37-16, B24B37-14
【公开号】CN204504985
【申请号】CN201520041799
【发明人】王海彤, 陈子荣, 周俊, 佘卫东, 强国
【申请人】铜陵市琨鹏光电科技有限公司
【公开日】2015年7月29日
【申请日】2015年1月21日