研磨机研磨盘测量装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及测量装置，尤其涉及研磨盘测量装置。
【背景技术】
[0002]研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。研磨机的主要类型有圆盘式研磨机、转轴式研磨机和各种专用研磨机。圆盘式研磨机的研磨盘每天都要进行测量来保证盘面的平整度，目前测量盘面的工具一般采用刀尺和水平尺，测量时误差大、测量不准确，从而影响盘面的平整度。尤其是对于研磨晶片来说，晶片的平整度对于晶片的频率有着非常大的影响。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是解决研磨盘平整度测量误差大的问题，提供一种研磨盘测量装置。
[0004]本发明采用的技术方案是:研磨机研磨盘测量装置，包括“L”型底座，所述的“L”型底座侧边外侧固接有一个固定脚，所述的“L”型底座底边固接有两个固定脚，所述的“L”型底座底边内侧固接有三个千分表，所述的三个千分表的中心处于同一水平面。
[0005]作为本发明的进一步改进，所述的千分表通过螺栓与“L”型底座连接。
[0006]本发明采用的有益效果是:固定脚能够将测量装置和研磨盘固定，分布在“L”型底座的三个千分表同时工作测量研磨盘的平整度，确保测量研磨盘的精确度更高，可以精确到半丝以内。
【附图说明】
[0007]图1为本发明示意图。
[0008]图中所示:1 “L”型底座，2固定脚，3千分表。
【具体实施方式】
[0009]下面结合图1，对本发明做进一步的说明。
[0010]如图1所示，研磨机研磨盘测量装置，包括“L”型底座1，“L”型底座I侧边固接有一个固定脚2，“L”型底座I底边外侧固接有两个固定脚2，“L”型底座I底边内侧固接有三个千分表3，三个千分表3的中心处于同一水平面。利用三点构成一个平面的原理，分别设置三个固定脚和三个千分表。以确保测量的准确度。
[0011]千分表3通过螺栓与“L”型底座I连接，使得千分表能够在垂直高度能够进行微调，以保证三个千分表能够基本处于一个水平面。
[0012]采用了上述方案，使每天测量研磨盘的精确度更高，可以精确到半丝以内。相对于一般的测量方法只精确到5丝以内有了极大的提高，这样研磨出的晶片频率更准确、更集中，大大提高了产品品质与合格率，降低了生产成本。
【主权项】
1.研磨机研磨盘测量装置，其特征是包括“L”型底座(I)，所述的“L”型底座(I)侧边固接有一个固定脚(2)，所述的“L”型底座(I)底边外侧固接有两个固定脚(2)，所述的“L”型底座(I)底边内侧固接有三个千分表(3),所述的三个千分表(3)的中心处于同一水平面。
2.根据权利要求1所述的研磨机研磨盘测量装置，其特征是所述的千分表(3)通过螺栓与“L”型底座(I)连接。
【专利摘要】本发明公开了研磨机研磨盘测量装置，其特征是包括“L”型底座（1），所述的“L”型底座（1）侧边固接有一个固定脚（2），所述的“L”型底座（1）底边外侧固接有两个固定脚（2），所述的“L”型底座（1）底边内侧固接有三个千分表（3），所述的三个千分表（3）的中心处于同一水平面。采用了上述方案，使每天测量研磨盘的精确度更高，可以精确到半丝以内。相对于一般的测量方法只精确到5丝以内有了极大的提高，这样研磨出的晶片频率更准确、更集中，大大提高了产品品质与合格率，降低了生产成本。
【IPC分类】G01B5-28
【公开号】CN104654989
【申请号】CN201310597159
【发明人】程路平
【申请人】铜陵市精品工具模具有限责任公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2013年11月25日