专利名称：多晶硅行业60对棒还原炉生产装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及到原生多晶硅规模化生产的装置。
背景技术：
目前原生多晶硅生产已进入规模化生产时代，现在国内流行的多为12对棒一24 对棒的还原炉。国外已做到了 48对棒.只有增加棒的对数才能平均电能，最终降低成本。 在市场竟争越来越来激烈的今天，60对棒的出现将大大降低生产成本，有利于规模化生产。
发明内容本实用新型的目的针对现有技术的不足，提供一种多晶硅行业60对棒还原炉生
产装置。本实用新型的结构包括还原炉冷却水出水口、还原炉炉体、还原炉观察视孔、还原炉冷却水夹套、还原炉冷却水进水口、还原炉上密封法兰、还原炉炉底盘、还原炉固定基础、还原炉原料进气口、还原炉尾气出口。还原炉冷却水出口设置在炉体的顶端，炉体下端设有还原炉冷却水进水口，炉体上设有9个用于观察和测量温度的视孔，底盘与炉体采用紧固件连接，底盘上配有原料进气口和尾气出口。本实用新型的有益效果是本装置能使多晶硅在还原炉中反应时的供料气体分布更均勻，反应更充分。从而能大大降低生产成本，有利于规模化生产。
附图1是本实用新型的结构示意图。1、还原炉冷却水出水口 2、还原炉炉体3、还原炉观察视孔4、还原炉冷却水夹套5、还原炉冷却水进水口 6、还原炉上密封法兰 7、还原炉炉底盘 8、还原炉固定基础9、还原炉原料进气口 10、还原炉尾气出口。
具体实施方式
本实用新型的装置包括还原炉冷却水出水口、还原炉炉体、还原炉观察视孔、还原炉冷却水夹套、还原炉冷却水进水口、还原炉上密封法兰、还原炉炉底盘、还原炉固定基础、还原炉原料进气口、还原炉尾气出口。还原炉冷却水出口设置在炉体的顶端，炉体下端设有还原炉冷却水进水口，炉体上设有9个用于观察和测量温度的视孔，底盘与炉体采用紧固件连接，底盘上配有原料进气口和尾气出口。还原炉生产时60对电极分别通入电源，20对做为一组接入三相电源(A、 B、C)的其中一相。通电后，从还原炉原料进气口通入提纯并达标的原料，反应尾气从尾气出气口出去进入下一道工序。
权利要求1. 一种多晶硅行业60对棒还原炉生产装置，其特征在于所述装置由还原炉冷却水出水口、还原炉炉体、还原炉观察视孔、还原炉冷却水夹套、还原炉冷却水进水口、还原炉上密封法兰、还原炉炉底盘、还原炉固定基础、还原炉原料进气口、还原炉尾气出口组成；还原炉冷却水出口设置在炉体的顶端，炉体下端设有还原炉冷却水进水口，炉体上设有9个用于观察和测量温度的视孔，底盘与炉体采用紧固件连接，底盘上配有原料进气口和尾气出口。
专利摘要一种多晶硅行业60对棒还原炉生产装置包括还原炉冷却水出水口、还原炉炉体、还原炉观察视孔、还原炉冷却水夹套、还原炉冷却水进水口、还原炉上密封法兰、还原炉炉底盘、还原炉固定基础、还原炉原料进气口、还原炉尾气出口。还原炉冷却水出口设置在炉体的顶端，炉体下端设有还原炉冷却水进水口，炉体上设有9个用于观察和测量温度的视孔，底盘与炉体采用紧固件连接，底盘上配有原料进气口和尾气出口。本装置能使多晶硅在还原炉中反应时的供料气体分布更均匀，反应更充分。从而能大大降低生产成本，有利于规模化生产。
文档编号C01B33/021GK202297147SQ20112036855
公开日2012年7月4日 申请日期2011年9月30日 优先权日2011年9月30日
发明者陶刚义 申请人:江西晶大半导体材料有限公司