专利名称：多晶硅还原炉喷嘴的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种多晶硅还原炉喷嘴，适用于多晶硅行业还原炉进料。
背景技术：
目前，多晶硅行业还原炉因进料不均勻、不稳定，易出现倒棒、硅粉沉积不平衡等现象，给企业造成不小的经济损失。因此，进料口的改进势在必行。
发明内容本实用新型的目的是提供一种新型还原炉进料喷嘴装置。本实用新型包括、喷头、 外套筒、炉底盘、螺旋式进气口与喷嘴丝口。炉底盘上焊接喷嘴底坐，喷嘴与喷嘴底坐螺丝连接，喷头置于外套筒中间上端，螺旋式进气口与喷嘴丝口沿外套筒螺旋式设置。本实用新型的有益效果是保证了喷出混合气的流量、气流速度，合理分布炉内混合气，增强混合气的拢动，降低夹层之间的温度，提高沉积速度，使多晶硅产品外观平整，喷嘴可拆卸，维修方便，可根据工艺需要进行调整。
附图1是本实用新型的结构纵向剖面示意图；图中1、喷头，2、外套筒，3、炉底盘，4、螺旋式进气口与喷嘴丝口。
具体实施方式
多晶硅还原炉喷嘴由喷头、外套筒、炉底盘、螺旋式进气口与喷嘴丝口组成。炉底盘上焊接喷嘴底坐，喷嘴与喷嘴底坐螺丝连接，喷头置于外套筒中间上端，螺旋式进气口与喷嘴丝口沿外套筒螺旋式设置。进气管、外套筒和喷头形成的口径递减式的气流通道，使工作气体能达到指定的高度，螺旋式进气口与喷嘴丝口的设置，使得气体流速降低，既保证了硅棒下端的气流更新又不会对硅棒下端造成冲击，提高了多晶硅的生产效率和产品质量。
权利要求1. 一种多晶硅还原炉喷嘴，其特征在于所述喷嘴由喷头、外套筒、炉底盘、螺旋式进气口与喷嘴丝口组成；炉底盘上焊接喷嘴底坐，喷嘴与喷嘴底坐螺丝连接，喷头置于外套筒中间上端，螺旋式进气口与喷嘴丝口沿外套筒螺旋式设置。
专利摘要一种多晶硅还原炉喷嘴由喷头、外套筒、炉底盘、螺旋式进气口与喷嘴丝口组成。炉底盘上焊接喷嘴底坐，喷嘴与喷嘴底坐螺丝连接，喷头置于外套筒中间上端，螺旋式进气口与喷嘴丝口沿外套筒螺旋式设置。该喷嘴保证了喷出混合气的流量、气流速度，合理分布炉内混合气，增强混合气的拢动，降低夹层之间的温度，提高沉积速度。
文档编号C01B33/021GK202246083SQ20112036863
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月30日 优先权日2011年9月30日
发明者陶刚义 申请人:江西晶大半导体材料有限公司