专利名称：一种真空电子提纯炉的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及硅料提纯设备，尤其涉及一种真空电子提纯炉。
背景技术：
目前全球能源紧张，太阳能需求大幅度增加，制造太阳能电池的高纯度硅的需求量也大幅度增加。原始的的提纯方法主要是用硅含量大于99%的金属硅为原料，用气相蒸馏提纯法将其提纯，再经凝固处理而获得更高纯度的硅料。硅料主要用于半导体寒夜，而切片后所剩余的下脚料则可作为太阳能电池的材料使用，这样的下脚料数量有限，生产效率低下，无法满足现在的太阳能电池的需求
实用新型内容
本实用新型的发明目的在于提供一种提高生产效率的真空电子提纯炉。为了实现上述发明目的，本实用新型的技术方案是一种真空电子提纯炉，包括真空炉体、电子枪、抽真空系统、电控系统、加料装置、储料装置，电子枪竖直安装在真空炉体的顶面上，抽真空系统配置在真空炉体的后方，加料装置连接在真空炉体的侧面，储料装置安装在加料装置的顶面，真空炉体内部设置有至少两个坩埚，在各坩埚下方设置有对应的蒸发槽，电控系统集成在电控柜中，用于控制各部件动作。可选的，还包括送料装置，安装在真空炉体底部。本实用新型是在真空的环境下，利用电子枪产生的电子束加热硅材料使之熔化，从而使杂质蒸发，提纯后的硅溶液流入蒸发槽，通过保温等手段制成纯度更高的硅锭。在真空炉体内部设置至少两个坩埚，可以同时作业，提高了产量，提高了生产效率。本实用新型还在真空炉体的底部安装送料装置，便于制成好的硅锭送出，更加快了生产效率。
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型的不当限定，在附图中图I为本实用新型实施例I提供的整体结构示意图；图2为真空炉体内部结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。实施例I :如图I所示，本实施例公开了一种真空电子提纯炉，包括真空炉体100、电子枪(未图示)、抽真空系统400、电控系统(未图示)、加料装置200、储料装置300、送料装置500，电子枪(未图示)竖直安装在真空炉体100的顶面上，抽真空系统400配置在真空炉体100的后方，加料装置200连接在真空炉体100的侧面，储料装置300安装在加料装置200的顶面，送料装置500安装在真空炉体100底部，电控系统(未图示)集成在电控柜(未图示)中，用于控制各部件动作。如图2所示，真空炉体100内部设置有两个坩埚110，在各坩埚110下方设置有对应的蒸发槽120。送料装置200通过电机510控制蒸发槽120沿滑轨520方向滑动，使得硅锭可自动送出。电子枪(未图示)安装在真空炉体100上的电子枪口 130处。本实施例中的真空炉体为圆柱体，电子枪由电子发生器、聚焦线圈、偏转线圈组成，电子发生器由灯丝、阴极、阳极、光栅、聚束极组成，用以产生电子束。电子束在硅材料表
面扫描加热。电控系统包括高压电源，给电子枪提供电子束加压电压、灯丝电流、轰击电压。高压电源由加速电源、灯丝电源、轰击电源组成，高压点雨啊年功率为40-400KVA，加速电压为20-45KV。送料装置为垂直送料的方式。以上对本实用新型实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例，在具体实施方式
以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
权利要求1.一种真空电子提纯炉，其特征在于 包括真空炉体、电子枪、抽真空系统、电控系统、加料装置、储料装置，电子枪竖直安装在真空炉体的顶面上，抽真空系统配置在真空炉体的后方，加料装置连接在真空炉体的侧面，储料装置安装在加料装置的顶面，真空炉体内部设置有至少两个坩埚，在各坩埚下方设置有对应的蒸发槽，电控系统集成在电控柜中。
2.根据权利要求I所述的一种真空电子提纯炉，其特征在于 还包括送料装置，安装在真空炉体底部。
专利摘要本实用新型涉及硅料提纯设备，尤其涉及一种真空电子提纯炉，包括真空炉体、电子枪、抽真空系统、电控系统、加料装置、储料装置，电子枪竖直安装在真空炉体的顶面上，抽真空系统配置在真空炉体的后方，加料装置连接在真空炉体的侧面，储料装置安装在加料装置的顶面，真空炉体内部设置有至少两个坩埚，在各坩埚下方设置有对应的蒸发槽，电控系统集成在电控柜中，用于控制各部件动作。本实用新型是在真空的环境下，利用电子枪产生的电子束加热硅材料使之熔化，从而使杂质蒸发，提纯后的硅溶液流入蒸发槽，通过保温等手段制成纯度更高的硅锭。在真空炉体内部设置至少两个坩埚，可以同时作业，提高了产量，提高了生产效率。
文档编号C01B33/037GK202499717SQ201120490608
公开日2012年10月24日 申请日期2011年11月30日 优先权日2011年11月30日
发明者徐松林 申请人:南京威途真空技术有限公司