专利名称：一种有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及了还原炉油夹套，尤其涉及一种有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套。
背景技术：
目前，还原炉固相气态沉积法生产多晶硅的工艺应用越来越广泛，在生产的过程中，油夹套的气体分布形式和油夹套的温度是影响多晶硅生产的质量和产量的两个重要的因素。在原有的技术中，多晶硅生产采用的油夹套气体分形式多是两到三条长方形的气态分布口，油夹套的油也是下进上出的单循环方式，这不仅容易造成气体的分布不均和局部堆积，而且到多晶硅生产后期，还原炉内的多余热量难以完全带走，容易造成硅芯表面温度的不均匀，势必引起多晶硅的致密度不均和菜花状花料产生，引起多晶硅质量和产量的下降。本实用新型不仅采用气体分布均匀的进气中心管减少了气体在局部的堆积，而且增加了集油腔，油夹管采用便于温度快速传递的对流结构，可以有效的提高油的流量和热传导效率，有利于硅芯温度控制，提高了多晶硅产量。
发明内容本实用新型解决的目的是克服现有技术的不足，提供一种有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套。有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套包括进气管、油夹管出油管、油夹管进油管、出油集油腔、进油集油腔、进气中心管、油夹管、起吊环、气体分布孔、导流板、油进口连结管、油出口连接管和固定螺丝；进气中心管上部设有起吊环，进气中心管中部设有气体分布孔，进气中心管下部设有进气管和进油集油腔及出油集油腔，进油集油腔中部通过油进口连结管与油夹管下部相连，进油集油腔下部与油夹管进油管相连，出油集油腔下部通过油出口连接管与油夹管下部相连，出油集油腔下部与油夹管出油管相连；油夹管通过固定螺丝与进气中心管相连。所述的油夹管是一个圆筒结构，圆筒上的气体分布孔与进气中心管上的气体分布孔相对应；其圆筒壁是一个双层结构，中间由导流板隔开。本实用新型气体分布均匀，不会产生局部堆积，而且进油油路与出油油路增加了集油腔，油路采用对流形式，与背景技术相比，不但可以有效的提高油的流量，保持硅芯表面的温度和多晶硅的致密度，降低了花料的产生，以至于提高了生产质量，降低了生产成本。
附图为有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套结构示意图。
具体实施方式
[0008]如附图所示，有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套包括进气管I、油夹管出油管2、油夹管进油管3、出油集油腔4、进油集油腔5、进气中心管6、油夹管7、起吊环8、气体分布孔9、导流板10、油进口连结管11、油出口连接管12和固定螺丝13 ;进气中心管6上部设 有起吊环8，进气中心管6中部设有气体分布孔9，进气中心管6下部设有进气管I和进油集油腔5及出油集油腔4，进油集油腔5中部通过油进口连结管11与油夹管7下部相连，进油集油腔5下部与油夹管进油管3相连，出油集油腔4下部通过油出口连接管12与油夹管7下部相连，出油集油腔4下部与油夹管出油管2相连；油夹管7通过固定螺丝13与进气中心管6相连。所述的油夹管7是一个圆筒结构，圆筒上的气体分布孔9与进气中心管6上的气体分布孔相对应；其圆筒壁是一个双层结构，中间由导流板10隔开。所述的还原炉油夹套的油夹管7油温度为250 °g 350 °G，油压为0. 4MPa
I.4Mpa ;进气中心管6蒸汽压为0. 2MPa 0. 6Mpa。所述的还原炉油夹套的油夹管油走向采用低进低出的形式，油从进油集油腔出来后，油在油夹管内形成对流，并进行热交换，循环一圈后进入底部出油集油腔。本实用新型工作过程如下I)从油夹管进油管通入温度在250 350°C之间，油压力在0.4 I. 4Mpa之间的热油给还原炉硅芯加热；2)反应的气体物料从进气管进入进气中心管后，通过二十四个分布均匀的气体分布孔进入油夹管包围的硅芯，反应气体的压力为0. 2MPa 0. 6Mpa ；3)还原炉开始反应后，热油通过在油夹管内形成对流，并进行热交换，带走反应系统多余的热量。
权利要求1.一种有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套，其特征在于包括进气管(I)、油夹管出油管(2)、油夹管进油管(3)、出油集油腔(4)、进油集油腔(5)、进气中心管(6)、油夹管(7)、起吊环(8)、气体分布孔(9)、导流板(10)、油进口连结管(11)、油出口连接管(12)和固定螺丝(13);进气中心管(6)上部设有起吊环(8)，进气中心管(6)中部设有气体分布孔(9)，进气中心管(6)下部设有进气管(I)和进油集油腔(5)及出油集油腔(4)，进油集油腔(5)中部通过油进口连结管(11)与油夹管(7)下部相连，进油集油腔(5)下部与油夹管进油管(3)相连，出油集油腔(4)下部通过油出口连接管(12)与油夹管(7)下部相连，出油集油腔(4)下部与油夹管出油管(2)相连；油夹管(7)通过固定螺丝(13)与进气中心管(6)相连。
2.根据权利要求I所述的一种有效提高 多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套，其特征在于所述的油夹管(7)是一个圆筒结构，圆筒上的气体分布孔(9)与进气中心管(6)上的气体分布孔相对应；其圆筒壁是一个双层结构，中间由导流板(10)隔开。
专利摘要本实用新型公开一种有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套。进气中心管上部设有起吊环，进气中心管中部设有气体分布孔，进气中心管下部设有进气管和进油集油腔及出油集油腔，进油集油腔中部通过油进口连结管与油夹管下部相连，进油集油腔下部与油夹管进油管相连，出油集油腔下部通过油出口连接管与油夹管下部相连，出油集油腔下部与油夹管出油管相连；油夹管通过固定螺丝与进气中心管相连。本实用新型不仅采用气体分布均匀的进气中心管减少了气体在局部的堆积，而且增加了集油腔，油夹管采用便于温度快速传递的对流结构，可以有效的提高油的流量和热传导效率，有利于硅芯温度控制，降低了生产成本，提高了多晶硅产量。
文档编号C01B33/027GK202358927SQ201120514248
公开日2012年8月1日 申请日期2011年12月12日 优先权日2011年12月12日
发明者廖敏, 郑安雄, 陈德伟, 陈惠祥 申请人:浙江中宁硅业有限公司