专利名称：还原炉绝缘套的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种还原炉绝缘套，它属于多晶硅生产领域。
二背景技术：
传统的还原炉绝缘套是石英制造的，但是对于还原炉生长过程中目前国内普遍面临以下问题I、石英绝缘套造价高，并在运输过程中易破碎。2、石英绝缘套使用过程中损坏现象严重，重复利用性差，成本高。3、石英绝缘套再次使用时，清洗困难，耗时耗力。 三、实用新型的内容本实用新型的目的是提供一种新型的还原炉绝缘套，其具有优点一、本实用新型还原炉绝缘套成本低、运输方便、不易损坏；二、本实用新型还原炉绝缘套在生产过程中不易粘硅粉；三、本实用新型的还原炉绝缘套提高绝缘套的重复利用率，降低成本。本实用新型的目的是这样来实现的它由陶瓷绝缘底座、陶瓷绝缘环、石墨盖板构成，陶瓷绝缘底座与还原炉底盘之间设有四氟垫片，陶瓷绝缘底座的底部光滑，陶瓷绝缘底座的顶部设有圆槽，槽面上套入套筒，铜电极置于套筒中，陶瓷绝缘环置于陶瓷绝缘底座的外部，石墨盖板置于陶瓷绝缘环上部。本实用新型还原炉绝缘套，其具有以下优点其一陶瓷绝缘环和陶瓷绝缘底座都采用九九瓷材质，主要成分是氧化铝，也就是氧化铝含量在99 %的陶瓷材料，该材料具有耐高温、耐腐蚀、耐磨损、高绝缘等特性，石墨盖板采用石墨材质，在反复多次高压击穿硅芯的实验及还原炉硅棒沉积的生产中，新型还原炉绝缘套起到了良好的绝缘效果，可以替代石英材质。其二 新型绝缘套不似石英易碎，并且在还原炉运行沉积多晶硅的过程中，不易粘硅粉，粘上的少量硅粉可以通过腐蚀清洗设备清除，省时省力。其三新型绝缘盖板的外径较绝缘环外径多出25mm，可以更好的起到绝缘效果。
四
附图I为本实用新型还原炉绝缘套的结构示意图。其中1——陶瓷绝缘底座、2——陶瓷绝缘环、3——石墨盖板、4——铜电极、5套筒、6四氟垫片、7还原炉底盘
五具体实施方式
以下结合附图来对本实用新型具体实施方式
作进一步的说细描述参照附图，本实用新型还原炉绝缘套，它由陶瓷绝缘底座I、陶瓷绝缘环2、石墨盖板3构成，陶瓷绝缘底座I与还原炉底盘7之间设有四氟垫片6，陶瓷绝缘底座I的底部光滑，陶瓷绝缘底座I的顶部设有圆槽，槽面上套入套筒5，铜电极4置于套筒5中，陶瓷绝缘环2置于陶瓷绝缘底座I的外部，石墨盖板3置于陶瓷绝缘环2上部。
权利要求1 .一种还原炉绝缘套，它由陶瓷绝缘底座(I)、陶瓷绝缘环(2)、石墨盖板(3)构成，其特征在于陶瓷绝缘底座(I)与还原炉底盘(7)之间设有四氟垫片(6)，陶瓷绝缘底座(I)的底部光滑，陶瓷绝缘底座(I)的顶部设有圆槽，槽面上套入套筒(5)，铜电极(4)置于套筒(5)中，陶瓷绝缘环(2)置于陶瓷绝缘底座(I)的外部，石墨盖板(3)置于陶瓷绝缘环(2)上部。
专利摘要本实用新型涉及一种还原炉绝缘套，它属于多晶硅生产领域。它由石墨盖板、陶瓷绝缘环、陶瓷绝缘底座构成，陶瓷绝缘底座底部和还原炉底盘接触，接触面垫有四氟垫片，陶瓷绝缘底座外部再套上陶瓷绝缘环，石墨盖板置于陶瓷绝缘环上部。本实用新型其具有优点一、此实用新型还原炉绝缘套成本低、运输方便、不易损坏；二、新型的还原炉绝缘套在生产过程中不易粘硅粉；三、新型的还原炉绝缘套提高绝缘套的重复利用率，降低成本。
文档编号C01B33/035GK202717590SQ20122026709
公开日2013年2月6日 申请日期2012年5月30日 优先权日2012年5月30日
发明者刘建中, 叶军, 李波, 张玉泉, 柳荣, 曹德财, 苗宏周 申请人:陕西天宏硅材料有限责任公司