多晶硅生产中的二氧化硅回收装置制造方法

文档序号:3451819阅读:222来源:国知局
多晶硅生产中的二氧化硅回收装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了多晶硅生产中的二氧化硅回收装置,包括:一过滤器,所述过滤器出口通过第一气动开关阀、第二气动开关阀连接一位于漏斗型料斗上端的进口,一喷射器,所述喷射器喷嘴对准漏斗型料斗底部,一存储料仓,用于承载落入的二氧化硅粉末,所述漏斗型料斗一底部出口通过第三气动开关阀连接存储料仓。本实用新型不仅带动了多晶硅生产中含有氯硅烷废气废液的连续处理,还能够回收二氧化硅,作为副产品出售,实现“安全化”、“无害化”和“资源化”,提高了整个系统硅的利用率,降低环境污染,实现节能减排,降低处理成本。
【专利说明】多晶硅生产中的二氧化硅回收装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及多晶硅制造【技术领域】,具体涉及多晶硅生产中的二氧化硅回收装置。
【背景技术】
[0002]多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等产品的关键基础材料,是发展信息产业和光伏新能源产业的重要基石,但多晶硅在生产过程中不可避免的要产生废气、废水排放,而由此产生严重的环境污染问题,这已成为多晶硅产业能否生存与健康发展的关键之
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[0003]在现阶段,利用燃烧干法回收技术处理含有氯硅烷的废气废液,会产生大量副产物二氧化硅,由于燃烧干法产生的二氧化硅较细,属于纳米级颗粒,比表面积大,较难沉降,往往跟随烟气排出环境中。如果将这些未经除尘的烟气直接进行排放,一方面会大量浪费二氧化硅资源,另一方面也会对环境造成严重污染,威胁人身安全。
实用新型内容
[0004]本实用新型要解决的技术问题是提供多晶硅生产中的二氧化硅回收装置,不但带动了多晶硅生产中含有氯硅烷废气废液的连续处理,还能够回收二氧化硅,作为副产品出售,实现“安全化”、“无害化”和“资源化”,提高了整个系统硅的利用率,降低环境污染,实现节能减排,降低处理成本。
[0005]为达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:·[0006]多晶硅生产中的二氧化硅回收装置,包括:
[0007]—过滤器,所述过滤器出口通过第一气动开关阀、第二气动开关阀连接一位于漏斗型料斗上端的进口,
[0008]一喷射器,所述喷射器喷嘴对准漏斗型料斗底部,
[0009]一存储料仓,用于承载落入的二氧化硅粉末,所述漏斗型料斗一底部出口通过第三气动开关阀连接存储料仓。
[0010]在本实用新型的一个优选实施例中,所述存储料仓最上端为一袋式除尘器,袋式除尘器拦截下来的物料粘附在布袋表面。
[0011]在本实用新型的一个优选实施例中,所述第一气动开关阀、第二气动开关阀和第三气动开关阀选用不锈钢球阀。
[0012]通过上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
[0013]通过料斗底部的喷射器,利用压缩空气风送的办法将漏斗型料斗中的二氧化硅通过输送管道,输送至二氧化硅的料仓存储;
[0014]对多晶硅生产中排放含氯硅烷废气、废液的达标处理,防止环境污染,实现节能减排,有较大的社会经济效益。【专利附图】

【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示,进一步阐述本实用新型。
[0018]参照图1,多晶硅生产中的二氧化硅回收装置,包括:
[0019]一过滤器100,过滤器100出口 101通过第一气动开关阀102、第二气动开关阀103连接一位于漏斗型料斗200上端的进口 201,
[0020]一喷射器300,喷射器喷嘴301对准漏斗型料斗200底部,
[0021]一存储料仓400,用于承载落入的二氧化硅粉末,所述漏斗型料斗200 —底部出口302通过第三气动开关阀303连接料仓存储仓400。其中第一气动开关阀102、第二气动开关阀103和第三气动开关阀303选用不锈钢球阀,阀门和管道间采用法兰连接提高了灵活性,便于维护和更换。
[0022]存储料仓400最上端为一袋式除尘器401,袋式除尘器401拦截下来的物料粘附在布袋表面。
[0023]经过拦截的二氧化硅,在过滤器反吹和沉降的作用下,进入底部的漏斗型料斗,然后在喷射器风送的带动下,在漏斗型料斗底部喷嘴处会形成微负压,从而通过负压将漏斗型料斗中的二氧化硅送入风送系统,随着输送气体一道进入二氧化硅的存储料仓。
[0024]经权威机构检测,回收二氧化硅(俗名白炭黑)的纯度在99.5%以上,比表面积在100?150m2/g,之间,处于国家标准的中等水品,在橡胶补强、塑料充填方面具有较广泛的应用前景。
[0025]回收气相二氧化硅,既能有效处理含氯硅烷的废气废液,又能回收二氧化硅作为副产品,降低了生产成本,产生了经济和社会的双重效益。按照燃烧炉平均废液的处理量81kg/h,回收率按80%计算,每月能够回收二氧化硅18.43吨,二氧化硅的单价以0.6万元/吨计算,每月为公司带来11万的经济效益。
[0026]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.多晶硅生产中的二氧化硅回收装置,其特征在于,包括: 一过滤器,所述过滤器出口通过第一气动开关阀、第二气动开关阀连接一位于漏斗型料斗上端的进口, 一喷射器,所述喷射器喷嘴对准漏斗型料斗底部, 一存储料仓,用于承载落入的二氧化硅粉末,所述漏斗型料斗一底部出口通过第三气动开关阀连接存储料仓。
2.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的二氧化硅回收装置,其特征在于:所述存储料仓最上端为一袋式除尘器,袋式除尘器拦截下来的物料粘附在布袋表面。
3.根据权利要求1所述的多晶硅生产中的二氧化硅回收装置,其特征在于:所述第一气动开关阀、第二气动开关阀和第三气动开关阀选用不锈钢球阀。
【文档编号】C01B33/12GK203428923SQ201320573858
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2013年9月16日 优先权日:2013年9月16日
【发明者】王忠群, 涂夏明, 唐明元, 王绍祖, 张羽超, 刘宝林 申请人:陕西天宏硅材料有限责任公司
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