1.一种通过蚀刻和塌缩沉积管制备初级预制品的方法,所述方法包括以下步骤:
将沉积管安装至车床上并且将所述沉积管引入被安装至所述车床上的炉的中央腔孔中,其中所述炉和所述沉积管沿轴向相对于彼此可移动;
在所述炉内产生在一个以上周期内沿所述沉积管的长度往复平移的热区域,其中:
在至少一个周期内,通过将含氟蚀刻气体供给至在所述沉积管与所述炉的中央腔孔之间的环形区域,使所述沉积管的外侧的至少一部分蚀刻;和
在至少一个周期内,使所述沉积管塌缩;
从而获得初级预制品。
2.根据权利要求1所述的方法,其包括至少一个使所述沉积管的外侧蚀刻的蚀刻周期,接着至少一个使所述沉积管塌缩的塌缩周期。
3.根据权利要求1所述的方法,其包括至少一个使所述沉积管的外侧蚀刻并且同时塌缩的蚀刻塌缩周期。
4.根据前述权利要求任一项所述的方法,其包括至少两个周期,优选在3个和5个周期之间。
5.根据前述权利要求任一项所述的方法,其中,在至少一个周期的至少一部分期间、优选在全部周期内供给含氟气体。
6.根据前述权利要求任一项所述的方法,其中,含氟蚀刻气体选自C2F6、C4F8、CF4、CCl2F2、SF6、NF3、F2,并且优选为C2F6,和/或其中所述含氟气体不包含氧,更优选氧含量小于1ppm。
7.根据前述权利要求任一项所述的方法,其中,含氟气体混合有惰性气体、优选混合有氩气,和/或其中所述含氟气体和所述惰性气体不包含氧、更优选氧含量小于1ppm。
8.根据前述权利要求任一项所述的方法,其中,移动的平移速度在15mm/秒与45mm/秒之间、更优选在25mm/秒与35mm/秒之间。
9.根据前述权利要求任一项所述的方法,其中,所述沉积管通过管、优选玻璃管、更优选石英管的内部化学气相沉积来制备。
10.根据前述权利要求任一项所述的方法,其中,在使所述沉积管的外侧蚀刻的蚀刻周期内,所述热区域的温度为至少1400℃、优选至少1500℃。
11.根据权利要求2和4-10任一项所述的方法,其中,在使所述沉积管塌缩的塌缩周期内,所述热区域的温度为至少1700℃、优选至少1800℃、更优选至少1900℃。
12.根据权利要求3-10任一项所述的方法,其中,在使所述沉积管蚀刻和塌缩的蚀刻塌缩周期内,所述热区域的温度为至少1700℃、优选至少1800℃、更优选至少1900℃。
13.根据前述权利要求任一项所述的方法,其中,在所述周期内,所述环形区域不包含氧。
14.一种初级预制品,其通过根据前述权利要求任一项所述的方法获得或可获得。
15.一种光纤的制造方法,其通过以下来制造:由根据权利要求14所述的初级预制品制备最终预制品,并且随后将所述最终预制品拉伸为光纤。
16.一种光纤,其通过根据权利要求15所述的方法来获得。