划片设备的制作方法

文档序号:11765859阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
提供根据本发明的示例性实施例的一种划片设备,用以减少运送和对准基板所需的时间和空间,并防止在对准基板的处理期间对基板的损坏,该划片设备包括:基板支撑单元,其支撑由基板供应单元供应的基板,且形成供基板穿过的开口;装载台,其设置在基板支撑单元之下;划片单元,其设置在装载台的一侧并在基板上形成划片线;基板运送单元,其将放置在装载台上的基板运送到划片单元;基板传递单元,其包括以非接触方式支撑基板的至少一个抽吸头,并将基板从基板支撑单元传递到装载台;以及定位单元,其通过按压由基板传递单元以非接触方式支撑的基板的侧表面来定位和对准基板。

技术研发人员:崔汉铉;李钟赫;刘在春;崔钟喆;安宇荣;金相泳
受保护的技术使用者:塔工程有限公司
技术研发日:2016.10.11
技术公布日:2017.10.20
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1