一种半透过半反射防刮花镜面玻璃及制备工艺的制作方法

文档序号:12053620阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半透过半反射防刮花镜面玻璃,其特征在于,包括有玻璃基板(1),所述玻璃基板(1)的表面由下至上依次镀制有第一氧化铌层(2)、第一二氧化硅层(3)、第二氧化铌层(4)、第二二氧化硅层(5)、第三氧化铌层(6)和氮化碳层(7)。

2.如权利要求1所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃,其特征在于,所述第一氧化铌层(2)的厚度为20nm~22nm,所述第二氧化铌层(4)的厚度为70nm~74nm,所述第三氧化铌层(6)的厚度为56nm~60nm。

3.如权利要求1所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃,其特征在于,所述第一二氧化硅层(3)的厚度为23nm~27nm,所述第二二氧化硅层(5)的厚度为79nm~84nm。

4.如权利要求1所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃,其特征在于,所述氮化碳层(7)的厚度为8nm~12nm。

5.如权利要求1至4任一项所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃制备工艺,其特征在于,包括有如下步骤:

步骤S1,准备玻璃基板(1);

步骤S2,在玻璃基板(1)的表面镀制第一氧化铌层(2);

步骤S3,在第一氧化铌层(2)的表面镀制第一二氧化硅层(3);

步骤S4,在第一二氧化硅层(3)的表面镀制第二氧化铌层(4);

步骤S5,在第二氧化铌层(4)的表面镀制第二二氧化硅层(5);

步骤S6,在第二二氧化硅层(5)的表面镀制第三氧化铌层(6);

步骤S7,在第三氧化铌层(6)的表面镀制氮化碳层(7)。

6.如权利要求5所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃制备工艺,其特征在于,所述步骤S2至步骤S7均采用磁控溅射设备镀制第一氧化铌层(2)、第一二氧化硅层(3)、第二氧化铌层(4)、第二二氧化硅层(5)、第三氧化铌层(6)和氮化碳层(7)。

7.如权利要求6所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃制备工艺,其特征在于,所述磁控溅射设备为立式多箱体连续磁控反应溅射镀膜线,所述磁控溅射设备根据镀膜传送方向,按各膜层排列顺序依次布置靶位,根据对应膜层的厚度范围计算并配置使用阴极靶的数量,组成连续的镀膜阴极箱体,通过传送玻璃基板,使得玻璃基板逐一通过各靶位而完成各膜层的镀膜加工。

8.如权利要求7所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃制备工艺,其特征在于,镀制第三氧化铌层(6)的靶位与镀制氮化碳层(7)的靶位之间形成有氧气隔离墙。

9.如权利要求8所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃制备工艺,其特征在于,利用分子泵驱使氧气流动而形成所述氧气隔离墙。

10.如权利要求5所述的半透过半反射防刮花镜面玻璃制备工艺,其特征在于,所述第一氧化铌层(2)的厚度为20nm~22nm,所述第二氧化铌层(4)的厚度为70nm~74nm,所述第三氧化铌层(6)的厚度为56nm~60nm,所述第一二氧化硅层(3)的厚度为23nm~27nm,所述第二二氧化硅层(5)的厚度为79nm~84nm,所述氮化碳层(7)的厚度为8nm~12nm。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1