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多晶硅铸锭炉的加热装置的制作方法
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多晶硅铸锭炉的加热装置的制造方法
技术总结
本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的加热装置:炉体,炉体上设置有进气管,炉体内设置有保温护罩,保温护罩内设置有坩埚、对应坩埚的石墨护罩、对应石墨护罩的加热器及散热平台;所述侧部加热器通过卡套连接至所述顶部加热器,通过调节所述卡套在所述顶部加热器的水平位置以调节所述侧部加热器与石墨护罩的间距以满足不同的加热需求。
技术研发人员:
蒋兴贤
受保护的技术使用者:
常州兆晶光能有限公司
文档号码:
201621321601
技术研发日:
2016.12.02
技术公布日:
2017.09.05
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